一种真空烤盘炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空烤盘炉，本实用新型专利技术涉及烤炉盘技术领域，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，炉体包括有外壳和内腔，外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，内腔的前、后端均开设有通风孔，内腔中设置有加热组件；本实用新型专利技术通过上述相关结构的配合使用，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制旋片式真空泵或罗茨真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，度热电偶可以对炉体内的温度进行检测，然后将炉体内的温度信息依次传递给温度仪和PLC，然后PLC将温度信息传递给炉体外部的触摸屏，然后触摸屏控制PLC对炉体内的温度进行调控。

A kind of vacuum oven

【技术实现步骤摘要】
一种真空烤盘炉
本技术涉及烤炉盘
，具体为一种真空烤盘炉。
技术介绍
真空烤盘炉设备为LED制造行业的一种新型的真空设备，与MOCVO设备配套使用，炉内抽真空，被处理工作当旨在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体为氮气或者氢气)，主要用于有效清除MOCVO承受起(SiC图层石墨盘或者石英盘)上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁效果，提高制品质量的目的。但是传统的真空烤盘炉在使用时，不能够均匀的对炉体内的温度进行调控，且抽真空时，效果不佳，为此我们有必要设计一种真空烤盘炉来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空烤盘炉，解决了
技术介绍
中提到的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种真空烤盘炉，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器；所述炉体包括有外壳和内腔，所述外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，所述内腔的前、后端均开设有通风孔，所述内腔中设置有加热组件，所述加热组件包括由外部电源供电的多个加热棒，且两两所述加热棒形成一个加热组，两两所述加热组的中部通过连接座连接，且连接座安装在内腔的内壁上，一个所述加热组内的两个加热棒端部通过连杆连接，多个所述加热组之间通过连接座和连杆形成一个环形的加热框，所述后炉门的外侧固定有风机，所述风机的输出端连接有通风管，所述通风管穿过所述后炉门并延伸到所述内腔后端通风孔处；所述温度检测和控制系统包括有测温元件和与控制器电连接的温控仪，所述测温元件设置于内腔中，所述温控仪一方面与所述测温元件电连接，另一方面分别与加热组件和风机电连接，所述测温元件还电连接有指示灯和蜂鸣器；所述真空系统包括有第一真空泵、第二真空泵、气阀和真空检测元件，所述第一真空泵、第二真空泵相串联后连接有通向内腔的管道，所述气阀安装在所述管道中，所述控制器一方面与所述真空检测元件电连接，另一方面分别与第一真空泵、第二真空泵、气阀电连接。优选的，所述控制器采用PLC，所述真空检测元件采用电阻真空计。优选的，所述测温元件为分度热电偶。优选的，所述加热棒为石墨棒。优选的，所述第一真空泵为旋片式真空泵、所述第二真空泵为罗茨真空泵。优选的，所述前炉门的外侧固定安装有气缸，所述气缸的输出端延伸入炉体内并固定连接有对靠近气缸的通风孔进行封堵的封堵板。优选的，所述后炉门的外侧还固定安装有摆缸，所述摆缸的输出端出入后炉门并固定连接有均风罩，且均风罩位于通风管的前方。优选的，所述控制器电连接有触摸屏。本技术与现有技术相比具备以下有益效果：(1)、该一种真空烤盘炉，炉体内需要真空状态时，打开气阀，PLC可以控制第一真空泵或第二真空泵对炉体内的空气进行抽离，直到将炉体抽至真空状态，使得炉体内的抽真空效果更好，进而对工件的处理效果更好。(2)、该一种真空烤盘炉，测温元件可以对炉体内的温度进行检测，然后将炉体内的温度信息依次传递给温度仪和PLC，然后PLC将温度信息传递给炉体外部的触摸屏，然后触摸屏控制PLC对炉体内的温度进行调控。(3)、该一种真空烤盘炉，炉体内的温度需要升高时，PLC控制由外部电源供电的加热组件工作，对炉体内的温度进行提高，且加热框呈环形模块化设置，可以使得对炉体内的加热更加均匀，同时便于组装和拆卸。(4)、该一种真空烤盘炉，炉体内的温度需要降低时，PLC控制由外部电源供电的风机工作，对炉体内进行降温，且外框与内腔之间形成供气体进行流通的通道可以使得风机吹出的冷风在炉体内进行循环，进而使得对炉体的降温效果更好，更加均匀。附图说明图1为本技术炉体正视图的的局部剖视图；图2为本技术后炉门正视图的局部剖视图；图3为本技术后炉门的结构示意图；图4为本技术加热组件的展开图；图5为本技术加热组件的结构示意图；图6为本技术前门的结构示意图；图7为本技术的控制原理框图。图中：1-炉体、2-前炉门、3-后炉门、4-控制器、5-外壳、6-内腔、7-通道、8-通风孔、9-加热棒、10-连接座、11-连杆、12-测温元件、13-温控仪、14-固态继电器、15-风机、16-通风管、17-指示灯、18-蜂鸣器、19-第一真空泵、20-第二真空泵、21-气阀、22-真空检测元件、23-气缸、24-封堵板、25-摆缸、26-均风罩、27-触摸屏。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-7，本技术提供一种技术方案：一种真空烤盘炉，包括有炉体1、前炉门2、后炉门3、温度检测和控制系统、真空系统、控制器4：炉体1包括有外壳5和内腔6，外壳5与内腔6之间以及前炉门2、后炉门3与内腔6之间形成供气体流通的通道7，内腔6的前、后端均开设有通风孔8，内腔6中设置有加热组件，加热组件包括由外部电源供电的多个加热棒9，且两两加热棒9形成一个加热组，两两加热组的中部通过连接座10连接，且连接座10安装在内腔6的内壁上，一个加热组内的两个加热棒9端部通过连杆11连接，多个加热组之间通过连接座10和连杆11形成一个环形的加热框，后炉门3的外侧固定有风机15，风机15的输出端连接有通风管16，通风管16穿过后炉门3并延伸到内腔6后端通风孔8处；温度检测和控制系统包括有测温元件12和与控制器4电连接的温控仪13，测温元件12设置于内腔6中，温控仪13一方面与测温元件12电连接，另一方面分别与加热组件和风机15电连接，测温元件12还电连接有指示灯17和蜂鸣器18；真空系统包括有第一真空泵19、第二真空泵20、气阀21和真空检测元件22，第一真空泵19、第二真空泵20相串联后连接有通向内腔6的管道，气阀21安装在管道中，控制器4一方面与真空检测元件22电连接，另一方面分别与第一真空泵19、第二真空泵20、气阀21电连接。控制器4采用PLC，真空检测元件22采用电阻真空计。测温元件12为分度热电偶。加热棒9为石墨棒。第一真空泵19为旋片式真空泵、第二真空泵20为罗茨真空泵。前炉门2的外侧固定安装有气缸23，气缸23的输出端延伸入炉体1内并固定连接有对靠近气缸23的通风孔8进行封堵的封堵板24。后炉门3的外侧还固定安装有摆缸25，摆缸25的输出端出入后炉门3并固定连接有均风罩26，且均风罩26位于通风管16的前方。控制器4电连接有触摸屏27。工作时，炉体1内需要真空状态时，打开气阀21，外接触摸屏27输入中空抽离指令(通过炉体1外侧设置的触摸屏27本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空烤盘炉，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，其特征在于：/n所述炉体包括有外壳和内腔，所述外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，所述内腔的前、后端均开设有通风孔，所述内腔中设置有加热组件，所述加热组件包括由外部电源供电的多个加热棒，且两两所述加热棒形成一个加热组，两两所述加热组的中部通过连接座连接，且连接座安装在内腔的内壁上，一个所述加热组内的两个加热棒端部通过连杆连接，多个所述加热组之间通过连接座和连杆形成一个环形的加热框，所述后炉门的外侧固定有风机，所述风机的输出端连接有通风管，所述通风管穿过所述后炉门并延伸到所述内腔后端通风孔处；/n所述温度检测和控制系统包括有测温元件和与控制器电连接的温控仪，所述测温元件设置于内腔中，所述温控仪一方面与所述测温元件电连接，另一方面分别与加热组件和风机电连接，所述测温元件还电连接有指示灯和蜂鸣器；/n所述真空系统包括有第一真空泵、第二真空泵、气阀和真空检测元件，所述第一真空泵、第二真空泵相串联后连接有通向内腔的管道，所述气阀安装在所述管道中，所述控制器一方面与所述真空检测元件电连接，另一方面分别与第一真空泵、第二真空泵、气阀电连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种真空烤盘炉，包括有炉体、前炉门、后炉门、温度检测和控制系统、真空系统、控制器，其特征在于：
所述炉体包括有外壳和内腔，所述外壳与内腔之间以及前炉门、后炉门与内腔之间形成供气体流通的通道，所述内腔的前、后端均开设有通风孔，所述内腔中设置有加热组件，所述加热组件包括由外部电源供电的多个加热棒，且两两所述加热棒形成一个加热组，两两所述加热组的中部通过连接座连接，且连接座安装在内腔的内壁上，一个所述加热组内的两个加热棒端部通过连杆连接，多个所述加热组之间通过连接座和连杆形成一个环形的加热框，所述后炉门的外侧固定有风机，所述风机的输出端连接有通风管，所述通风管穿过所述后炉门并延伸到所述内腔后端通风孔处；
所述温度检测和控制系统包括有测温元件和与控制器电连接的温控仪，所述测温元件设置于内腔中，所述温控仪一方面与所述测温元件电连接，另一方面分别与加热组件和风机电连接，所述测温元件还电连接有指示灯和蜂鸣器；
所述真空系统包括有第一真空泵、第二真空泵、气阀和真空检测元件，所述第一真空泵、第二真空泵相串联后连接有通向内腔的管道，所述气阀安装在所述管道中，所述控制器一方面...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈善瑾，丁道路，刘汉东，郑宇鹏，陶毅，
申请(专利权)人：合肥真萍电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34