一种真空存储柜的真空系统技术方案

本发明专利技术公开了一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路，粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路，另一方面分别对应连接有粗、精抽泵；控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明专利技术满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。高的电子产品的存储需求。高的电子产品的存储需求。

【技术实现步骤摘要】
一种真空存储柜的真空系统


[0001]本专利技术涉及真空存储柜领域，具体是一种真空存储柜的真空系统。

技术介绍

[0002]在电子产品生产领域，真空存储柜是常见的生产加工设备之一，适用于半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件等电子产品的真空存贮，以达到防潮、防氧化的目的。
[0003]现有的大部分真空存储柜，其存储腔室通常为一个整体的密闭腔室，将不同的电子产品放置在此腔室内进行统一存储，当需要取出部分电子产品而开启柜门时，极易窜入空气，破坏柜内的真空环境，给其他电子产品的正常存储造成干扰，甚至会影响一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的防潮、防氧化效果。
[0004]虽然也有部分的真空存储柜，将其存储腔室划分成了相互独立的若干个密闭腔室，以达到独立存储，避免相互干扰的目的。但是，在放入电子产品后，通常对所有的密闭腔室进行统一的抽真空，使得每个密闭腔室内的真空度保持一致，然而不同的电子产品对所处密闭腔室的真空环境的要求并不相同，例如一些较为精密的电子产品对真空环境的要求较高，显然，此种真空存储柜不能满足对不同电子产品进行存储的需要。另外，对于此种真空存储柜，无论腔室内是否有存储有电子产品，均与存储有电子产品的其他密闭腔室同时进行抽真空，造成了资源的浪费。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种真空存储柜的真空系统，在能够进行独立存储、避免相互干扰的前提下，来满足不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，来避免因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，并满足一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体和设置于箱体内的控制器，其特征在于：所述箱体内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，所述的二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品的光电开关和用于检测腔室内真空度的真空计；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口和第二抽真空接口，所述的第一抽真空接口和第二抽真空接口分别对应连接有第一高真空挡板阀和第二高真空挡板阀；
[0008]所述的箱体内分别设置有粗抽真空管路和精抽真空管路，所述的粗抽真空管路一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀之间分别对应连接有第一抽气管路，另一方面连接有粗抽泵，所述的精抽真空管路一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀之间分别对应连接有第二抽气管路，另一方面连接有精抽泵；
[0009]所述的控制器一方面分别与所述光电开关和真空计电连接，另一方面分别与所述
第一高真空挡板阀、第二高真空挡板阀、粗抽泵和精抽泵电连接。
[0010]进一步的，所述的若干个腔室中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。
[0011]进一步的，所述的密封门通过把手式压紧锁安装在所在腔室的前侧，密封门的内侧在与所在腔室的敞口端相接触的部位连接有环形密封条。
[0012]进一步的，所述的箱体内在所述若干个腔室的后方固定有支撑架，所述的粗抽真空管路和精抽真空管路均呈横向设置并固定在所述支撑架上。
[0013]进一步的，所述的第一抽气管路包括有相连接的第一不锈钢波纹管和第一不锈钢管，所述的第一不锈钢波纹管与相对应的第一高真空挡板阀相连接，所述的第一不锈钢管与所述粗抽真空管路相连接；所述的第二抽气管路包括有相连接的第二不锈钢波纹管和第二不锈钢管，所述的第二不锈钢波纹管与相对应的第二高真空挡板阀相连接，所述的第二不锈钢管与所述精抽真空管路相连接。
[0014]进一步的，所述的粗抽泵采用涡旋泵，所述的精抽泵采用分子泵。
[0015]进一步的，所述粗抽泵和精抽泵的供电回路中均连接有继电器，所述的控制器与所述继电器电连接。
[0016]进一步的，所述的继电器采用常开型继电器。
[0017]进一步的，所述的控制器采用PLC。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0019]1、本专利技术设置相互独立的若干个腔室，在能够进行独立存储、避免相互干扰的前提下，每个腔体可独立的进行抽真空，使得各腔室能够达到不同的真空度，能够提供不同的真空环境，满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求。
[0020]2、本专利技术设置光电开关，能够检测所在腔室内有无电子产品，且进一步通过控制器与真空泵(粗抽泵和精抽泵)实现联动，避免了因某个或某些腔室内无电子产品而仍与其他腔室进行抽真空所造成的资源浪费。
[0021]3、本专利技术采用粗抽泵、精抽泵以及相应的高真空挡板阀和管路对腔室进行抽真空处理，在粗抽使得腔室内的真空度达到10Pa后立即开始精抽，在真空度达到10-3
Pa后停止粗抽而继续进行精抽，使得腔室内的最终真空度可达10-5
Pa，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
附图说明
[0022]图1为本专利技术外部结构示意图。
[0023]图2为本专利技术内部结构示意图。
[0024]图3为本专利技术中单个腔室的抽真空部分结构示意图。
[0025]图4为本专利技术电气控制原理框图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]参见图1-4，一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体1和设置于箱体1内的控制器2，箱体1内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室3，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门4，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品(主要包括半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件，下同)的光电开关5和用于检测腔室内真空度的真空计6；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口7和第二抽真空接口8，第一抽真空接口7和第二抽真空接口8 分别对应连接有第一高真空挡板阀9和第二高真空挡板阀10；
[0028]箱体1内分别设置有粗抽真空管路11和精抽真空管路12，粗抽真空管路11一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀9之间分别对应连接有第一抽气管路13，另一方面连接有粗抽泵14，精抽真空管路12一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀10之间分别对应连接有第二抽气管路15，另一方面连接有精抽泵16；
[0029]控制器2一方面分别与光电开关5和真空计6电连接，另一方面分别与第一高真空挡板阀9、第二高真空挡板阀10、粗抽泵14和精抽泵16电连接。
[0030]本专利技术中，若干个腔室3中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。
[0031]需要说明的是，若干个腔室3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体和设置于箱体内的控制器，其特征在于：所述箱体内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，所述的二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品的光电开关和用于检测腔室内真空度的真空计；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口和第二抽真空接口，所述的第一抽真空接口和第二抽真空接口分别对应连接有第一高真空挡板阀和第二高真空挡板阀；所述的箱体内分别设置有粗抽真空管路和精抽真空管路，所述的粗抽真空管路一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀之间分别对应连接有第一抽气管路，另一方面连接有粗抽泵，所述的精抽真空管路一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀之间分别对应连接有第二抽气管路，另一方面连接有精抽泵；所述的控制器一方面分别与所述光电开关和真空计电连接，另一方面分别与所述第一高真空挡板阀、第二高真空挡板阀、粗抽泵和精抽泵电连接。2.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的若干个腔室中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。3.根据权利要求1所述的一种真空存储柜的真空系统，其特征在于：所述的密封门通过把手式压紧锁安装在所在腔室的前侧，密...

【专利技术属性】
技术研发人员：安小敏，刘汉东，陈善瑾，丁道路，
申请(专利权)人：合肥真萍电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：