【技术实现步骤摘要】
一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉
本技术涉及真空烧结
,尤其是一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉。
技术介绍
五氧化三钛是一种蓝黑色粉末,具有金属光泽。含氧量62.3%~64.3%(原子)。斜方晶系结构,晶格常数α=0.3747nm。密度4.29g/cm3。熔点2180℃。为真空镀膜用材料。为了方便生产,需要使用到真空烧结炉,烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。目前市面上应用于五氧化三钛晶体的烧结炉的堆料方式和位置单一局限,导致加热效率不高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决上述
技术介绍
中存在的问题,提供一种改进的具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉,解决目前市面上应用于五氧化三钛晶体的烧结炉的堆料方式和位置单一局限,导致加热效率不高的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉,包括内置电加热机构 ...
【技术保护点】
1.一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉,包括内置电加热机构的烧结炉本体(1)、与烧结炉本体(1)内部相连通的抽真空机(2)和位于烧结炉本体(1)正面开口位置的L型结构抽拉式密封盖(3),其特征是:所述的烧结炉本体(1)下表面开设有正面开口的底部调节槽(4),所述的密封盖(3)下端通过插入底部调节槽(4)内部和烧结炉本体(1)活动连接,所述密封盖(3)的纵向内侧面上通过横置转轴活动连接有内置调节盘(5),所述密封盖(3)的纵向内侧面上通过固定连杆(6)固定连接有外置调节环(7),所述密封盖(3)的纵向内侧面位于内置调节盘(5)和外置调节环(7)之间设置有第一横置导向 ...
【技术特征摘要】
1.一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉,包括内置电加热机构的烧结炉本体(1)、与烧结炉本体(1)内部相连通的抽真空机(2)和位于烧结炉本体(1)正面开口位置的L型结构抽拉式密封盖(3),其特征是:所述的烧结炉本体(1)下表面开设有正面开口的底部调节槽(4),所述的密封盖(3)下端通过插入底部调节槽(4)内部和烧结炉本体(1)活动连接,所述密封盖(3)的纵向内侧面上通过横置转轴活动连接有内置调节盘(5),所述密封盖(3)的纵向内侧面上通过固定连杆(6)固定连接有外置调节环(7),所述密封盖(3)的纵向内侧面位于内置调节盘(5)和外置调节环(7)之间设置有第一横置导向杆(8)、第二横置导向杆(9)、第三横置导向杆(10)、第四横置导向杆(11)和第五横置导向杆(12),所述的内置调节盘(5)外侧弧形面具有一体结构联动支架(13),所述的第一横置导向杆(8)通过插入联动支架(13)内部和内置调节盘(5)固定连接,所述的第一、第二、第三、第四和第五横置导向杆(12)之间通过弹性收紧机构相连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有内部调节盒的五氧化三钛晶体真空烧结炉,其特征是:所述的第一、第二、第三、第四和第五横置导向杆(12)下端设置有用于处理五氧化三钛晶体的收纳盒体(14),所述收纳盒体(14)上端两侧具有向上凸起的固定活动支架(15),所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:候闽渤,
申请(专利权)人:广德特旺光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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