一种电脑式涂胶烤箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电脑式涂胶烤箱，包括机体，所述机体底部设有移动滚轮以及顶部设有报警器，所述机体包括控制箱，所述控制箱上设有智能化触摸屏，所述智能化触摸屏底部设有智能控温仪。本实用新型专利技术通过采用优质冷轧钢板制成的机体，采用SUS316医用专用不锈钢材料的内胆及HMDS输入管和无缝密封设置的内胆，避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害，通过设有钢化防弹双层玻璃制成的玻璃窗，便于对内胆内物体进行肉眼直接观测，硅橡胶材料制成的密封圈，确保内胆的高真空度，通过设有智能控温仪，利用温度传感器感应内胆内的温度，控制加热板的工作，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种电脑式涂胶烤箱
本技术涉及半导体领域，特别涉及一种电脑式涂胶烤箱。
技术介绍
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。因此，专利技术一种电脑式涂胶烤箱来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电脑式涂胶烤箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电脑式涂胶烤箱，包括机体，所述机体底部设有移动滚轮以及顶部设有报警器，所述机体包括控制箱，所述控制箱上设有智能化触摸屏，所述智能化触摸屏底部设有智能控温仪，所述智能控温仪底部设有短路保护器，所述短路保护器一侧设有PLC装置，所述控制箱一侧设有箱门，所述箱门上设有玻璃窗，所述箱门侧壁设有密封圈，所述机体内腔顶部设有内胆，所述内胆内壁顶部设有温度传感器以及底部设有载物架，所述内胆一端设有氮气输入管、抽真空管和HMDS输入管，所述氮气输入管一端设有第一电磁阀以及另一端设有内丝接头，所述抽真空管端部设有第二电磁阀，所述HMDS输入管端部设有第三电磁阀，所述HMDS输入管顶端外壁环绕设有加热管，所述内胆外壁设有加热板，所述内胆底部设有固定杆，所述机体内腔底部设有真空泵，所述真空泵端部设有废气排放管，所述真空泵顶部设有HMDS液箱，所述HMDS液箱内腔设有液位传感器，所述HMDS液箱一侧设有压力泵。优选的，所述PLC装置包括PLC控制器，所述报警器、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、真空泵、液位传感器和压力泵均与PLC控制器电性连接，所述温度传感器、加热管和加热板均与智能控温仪电性连接，所述PLC控制器与智能控温仪连接。优选的，所述报警器型号设置为BJ-1，所述液位传感器型号设置为MTR-100，所述温度传感器型号设置为DS18B20。优选的，所述机体由冷轧钢板制成，所述内胆和HMDS输入管均由SUS316医用专用不锈钢材料制成，所述密封圈由硅橡胶材料制成，所述加热板设置于内胆底部外壁以及两侧外壁。优选的，所述抽真空管和HMDS输入管均设置为弓字形，所述抽真空管一端贯穿内胆端部以及另一端与真空泵输出端连接，所述HMDS输入管一端贯穿内胆端部以及另一端与HMDS液箱连接，所述压力泵设置于HMDS输入管上，所述第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀均设置于内胆内腔。优选的，所述玻璃窗设置为双层，所述玻璃窗采用钢化防弹双层玻璃制成，所述机体设有接地保护线，所述箱门一侧设有铰链，所述箱门通过铰链与机体活动连接，所述内胆通过密封圈无缝密封设置。本技术的技术效果和优点：通过采用优质冷轧钢板制成的机体，采用SUS316医用专用不锈钢材料的内胆及HMDS输入管和无缝密封设置的内胆，避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害，通过设有钢化防弹双层玻璃制成的玻璃窗，便于对内胆内物体进行肉眼直接观测，硅橡胶材料制成的密封圈，确保内胆的高真空度，通过设有智能控温仪，利用温度传感器感应内胆内的温度，控制加热板的工作，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠，通过设有加热管，对HMDS输入管外壁进行管路加热，使HMDS液体进入内胆的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易，通过利用液位传感器感应HMDS液箱内的液位并将数据传输给PLC控制器，当HMDS液过低时控制报警器发出报警，通过设有接地保护线和短路保护器，提高了机器工作时的安全性。附图说明图1为本技术整体结构示意图。图2为本技术内部结构示意图。图3为本技术内胆和加热板结构示意图。图中：1机体、2移动滚轮、3报警器、4控制箱、5智能化触摸屏、6智能控温仪、7短路保护器、8PLC装置、9箱门、10玻璃窗、11密封圈、12内胆、13温度传感器、14载物架、15氮气输入管、16抽真空管、17HMDS输入管、18第一电磁阀、19内丝接头、20第二电磁阀、21第三电磁阀、22加热管、23加热板、24固定杆、25真空泵、26废气排放管、27HMDS液箱、28液位传感器、29压力泵、30铰链。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-3所示的一种电脑式涂胶烤箱，包括机体1，所述机体1底部设有移动滚轮2以及顶部设有报警器3，所述机体1包括控制箱4，所述控制箱4上设有智能化触摸屏5，所述智能化触摸屏5底部设有智能控温仪6，所述智能控温仪6底部设有短路保护器7，所述短路保护器7一侧设有PLC装置8，所述控制箱4一侧设有箱门9，所述箱门9上设有玻璃窗10，所述箱门9侧壁设有密封圈11，所述机体1内腔顶部设有内胆12，所述内胆12内壁顶部设有温度传感器13以及底部设有载物架14，所述内胆12一端设有氮气输入管15、抽真空管16和HMDS输入管17，所述氮气输入管15一端设有第一电磁阀18以及另一端设有内丝接头19，所述抽真空管16端部设有第二电磁阀20，所述HMDS输入管17端部设有第三电磁阀21，所述HMDS输入管17顶端外壁环绕设有加热管22，通过设有加热管22，对HMDS输入管17外壁进行管路加热，使HMDS液体进入内胆12的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易，所述内胆12外壁设有加热板23，通过设有智能控温仪6，利用温度传感器13感应内胆12内的温度，控制加热板23的工作，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠，所述内胆12底部设有固定杆24，所述机体1内腔底部设有真空泵25，所述真空泵25端部设有废气排放管26，所述真空泵25顶部设有HMDS液箱27，所述HMDS液箱27内腔设有液位传感器28，所述HMDS液箱27一侧设有压力泵29。所述PLC装置8包括PLC控制器，所述报警器3、第一电磁阀18、第二电磁阀20、第三电磁阀21、真空泵25、液位传感器28和压力泵29均与PLC控制器电性连接，所述温度传感器13、加热管22和加热板23均与智能控温仪6电性连接，通过利用液位传感器28感应HMDS液箱27内的液位并将数据传输给PLC控制器，当HMDS液过低时控制报警器3发出报警，所述PLC控制器与智能控温仪6连接，所述报警器3型号设置为BJ-1，所述液位传感器28型号设置为MTR-100，所述温度传感器13型号设置为DS18B20，所述机体1由冷轧钢板制成，所述内胆12和HMDS输入管17均由SUS316医用专用不锈钢材料制成，所述密封圈本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电脑式涂胶烤箱，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)底部设有移动滚轮(2)以及顶部设有报警器(3)，所述机体(1)包括控制箱(4)，所述控制箱(4)上设有智能化触摸屏(5)，所述智能化触摸屏(5)底部设有智能控温仪(6)，所述智能控温仪(6)底部设有短路保护器(7)，所述短路保护器(7)一侧设有PLC装置(8)，所述控制箱(4)一侧设有箱门(9)，所述箱门(9)上设有玻璃窗(10)，所述箱门(9)侧壁设有密封圈(11)，所述机体(1)内腔顶部设有内胆(12)，所述内胆(12)内壁顶部设有温度传感器(13)以及底部设有载物架(14)，所述内胆(12)一端设有氮气输入管(15)、抽真空管(16)和HMDS输入管(17)，所述氮气输入管(15)一端设有第一电磁阀(18)以及另一端设有内丝接头(19)，所述抽真空管(16)端部设有第二电磁阀(20)，所述HMDS输入管(17)端部设有第三电磁阀(21)，所述HMDS输入管(17)顶端外壁环绕设有加热管(22)，所述内胆(12)外壁设有加热板(23)，所述内胆(12)底部设有固定杆(24)，所述机体(1)内腔底部设有真空泵(25)，所述真空泵(25)端部设有废气排放管(26)，所述真空泵(25)顶部设有HMDS液箱(27)，所述HMDS液箱(27)内腔设有液位传感器(28)，所述HMDS液箱(27)一侧设有压力泵(29)。...

【技术特征摘要】
1.一种电脑式涂胶烤箱，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)底部设有移动滚轮(2)以及顶部设有报警器(3)，所述机体(1)包括控制箱(4)，所述控制箱(4)上设有智能化触摸屏(5)，所述智能化触摸屏(5)底部设有智能控温仪(6)，所述智能控温仪(6)底部设有短路保护器(7)，所述短路保护器(7)一侧设有PLC装置(8)，所述控制箱(4)一侧设有箱门(9)，所述箱门(9)上设有玻璃窗(10)，所述箱门(9)侧壁设有密封圈(11)，所述机体(1)内腔顶部设有内胆(12)，所述内胆(12)内壁顶部设有温度传感器(13)以及底部设有载物架(14)，所述内胆(12)一端设有氮气输入管(15)、抽真空管(16)和HMDS输入管(17)，所述氮气输入管(15)一端设有第一电磁阀(18)以及另一端设有内丝接头(19)，所述抽真空管(16)端部设有第二电磁阀(20)，所述HMDS输入管(17)端部设有第三电磁阀(21)，所述HMDS输入管(17)顶端外壁环绕设有加热管(22)，所述内胆(12)外壁设有加热板(23)，所述内胆(12)底部设有固定杆(24)，所述机体(1)内腔底部设有真空泵(25)，所述真空泵(25)端部设有废气排放管(26)，所述真空泵(25)顶部设有HMDS液箱(27)，所述HMDS液箱(27)内腔设有液位传感器(28)，所述HMDS液箱(27)一侧设有压力泵(29)。2.根据权利要求1所述的一种电脑式涂胶烤箱，其特征在于：所述PLC装置(8)包括PLC控制器，所述报警器(3)、第一电磁阀(18)、第二电磁阀(20)、第三电磁阀(21)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：安小敏，刘汉东，丁道路，
申请(专利权)人：合肥真萍电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34