真空无氧固化炉制造技术

本发明专利技术公开了一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统、温度控制系统、过风通道、多个进风口、出风口、托板、测温元件、加热器、触摸屏、蜂鸣器和指示灯；真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件、氧含量分析仪和电磁阀；风冷降温系统包括有空气放大器；温度控制系统包括有温控仪。本发明专利技术结构简单，成本低，实现了固化炉的自动化控制，避免了出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，保证了固化炉的正常工作和工作效率。

Vacuum anaerobic curing furnace

The invention discloses a vacuum non oxygen curing furnace, which comprises a furnace body, a furnace door, a furnace, a controller, a vacuum system, an air-cooled cooling system, a temperature control system, an air passage, a plurality of air inlets, an air outlet, a bracket, a temperature measuring element, a heater, a touch screen, a buzzer and an indicator lamp; the vacuum system comprises a vacuum pump, an inflation pump, a vacuum degree detecting element and an oxygen content Analyzer and solenoid valve; air cooling cooling system includes air amplifier; temperature control system includes temperature controller. The invention has simple structure and low cost, realizes the automatic control of the curing furnace, avoids the problems of over temperature, furnace deformation, uneven heating, insufficient atmosphere, etc., and ensures the normal work and working efficiency of the curing furnace.

【技术实现步骤摘要】
真空无氧固化炉
本专利技术涉及电子
，具体是一种真空无氧固化炉。
技术介绍
在电子半导体产品生产领域，固化炉是常见的生产加工设备之一。现有用于半导体圆片PR胶、排胶固化的固化炉，存在以下比较突出的问题：1、固化炉的工作温度需要保持在400℃-450℃，使用过程中一旦出现超温的现象，一方面会损坏其内的工件，从而影响到产品质量，产生次品，甚至是废品；另一方面会损坏炉膛，导致炉膛发生变形，从而引发安全隐患，影响到固化炉的正常工作。2、现有的固化炉一般在其内部炉膛外壁的四周采用多点布置的方式来安装加热管，使得炉膛内部能够均匀受热，以达到均匀加热的目的；但是这种多点布置加热管的方式使得炉膛内部温升较慢，从而影响到固化炉的工作效率。3、固化炉在正常运行时首先需要对其内部炉膛进行抽真空处理，使得炉膛内部成为“真空”，以营造无氧的气氛；然而，这里“真空”并不是绝对真空，需要保证炉膛的内部压力维持在一个合理的范围内，因此，需要在抽真空后需要回填非氧气的气体，一般为氮气，这就需要设计合理的真空系统。4、固化炉在结束工作后，需要进行降温，而现有的固化炉要么没有配备有效的降温措施，要么采用水冷降温方式，但结构相对复杂，成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空无氧固化炉，结构简单，成本低，来实现固化炉的自动化控制，以避免出现超温、炉膛变形、加热不均、气氛不足等问题，以保证固化炉的正常工作和工作效率。本专利技术的技术方案如下：一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统和温度控制系统，其特征在于：所述的炉膛设置于所述炉体内，且炉膛的上、下侧和后侧与所述炉体的内壁之间均具有间隙并形成过风通道，所述炉体的上、下侧均设有与所述过风通道相通的多个进风口，炉体的后侧设有出风口；所述炉膛的内部分别安装有托板和测温元件，炉膛的外部安装有环绕在其四周的加热器，炉膛的一侧分别设有抽真空接口、充气接口、真空度检测接口和氧含量检测接口；所述的真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件和氧含量分析仪，所述的真空泵和充气泵通过管路分别对应与所述抽真空接口和充气接口相连接，所述充气泵与所述充气接口相连接的管路上安装有电磁阀，所述的真空度检测元件与所述真空度检测接口相连接，其探头延伸到所述炉膛的内部，所述氧含量分析仪的探头与所述氧含量检测接口相连接；所述的控制器一方面分别与所述真空度检测元件和氧含量分析仪相连接，另一方面与所述电磁阀相连接，并分别通过第一、二固态继电器对应与所述真空泵和充气泵相连接；所述的风冷降温系统包括有与所述出风口相连接的空气放大器，所述的控制器通过第三固态继电器与所述空气放大器相连接；所述的温度控制系统包括有与所述控制器相连接的温控仪，所述的温控仪一方面与所述测温元件相连接，另一方面通过第四固态继电器与所述加热器相连接；所述炉体的一侧安装有操作面板，所述的操作面板上分别安装有触摸屏、蜂鸣器和指示灯，所述的触摸屏与所述控制器相连接，所述温控仪的报警信号输出端分别与所述的蜂鸣器和指示灯相连接。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的炉体由材质均为SUS310S不锈钢的主体框架和挂板采用镜面焊接方式组装焊接而成。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述炉体的前侧设有开口，所述的炉门通过铰链与所述开口的一侧边沿相连，所述开口的另一侧边沿安装有用于锁紧所述炉门的门锁，所述炉门内侧的四周安装有硅橡胶密封圈。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的炉膛和加热器均为前侧敞口、后侧封闭的筒形结构，所述炉膛的材质为SUS316S不锈钢。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述炉门的内侧和所述炉膛外部的四周均安装有用于保温隔热的陶瓷纤维板。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的控制器采用PLC。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的测温元件采用镍铬-镍硅热电偶，所述的真空度检测元件采用电阻真空计。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的充气泵与所述充气接口之间的连接管路上分别安装有调速阀和压力表。所述的真空无氧固化炉，其特征在于：所述的操作面板上分别安装有“电源”按钮、“急停”按钮和“消音”按钮，所述的“消音”按钮连接在所述温控仪的报警信号输出端与所述蜂鸣器之间。本专利技术的有益效果：1、本专利技术所采用的温度控制系统，其控温精度可达±1℃，一旦出现超温的现象，自动切断加热器的供电回路，并发出声光报警信号，一方面不会损坏其内的工件，从而保证了产品质量；另一方面不会损坏炉膛，杜绝了炉膛发生变形，避免了安全隐患，从而保证了固化炉的正常工作。2、本专利技术所采用的加热器呈环形围绕在炉膛外部四周的筒形结构，在能够对炉膛进行均匀加热的前提下，有效提高了炉膛内部的温升效率，最大温升速率≤8℃/min，且使得炉膛内部的温度均匀度≤2％MFS，从而保证了固化炉的工作效率。3、本专利技术所采用的真空系统，首先对炉膛进行抽真空处理，在炉膛内部真空度达标后，向炉膛内充入氮气(20L/min)进行回填、置换，在炉膛内部氧含量达标后，调节氮气的充入量，进行小流量氮气(4L/min)的维持，在保证炉膛的内部压力维持在一个合理范围内的前提下，能够营造出可靠的无氧环境。4、本专利技术所采用的风冷降温系统，降温速率400℃-80℃，≤2.5h，能够快速高效的对固化炉的内部进行降温，降温效果明显，且结构简单，成本低。附图说明图1为本专利技术结构主视图。图2为本专利技术结构侧视图。图3为本专利技术外部立体结构示意图。图4为本专利技术中炉膛的结构示意图。图5为本专利技术中加热器的立体结构示意图。图6为本专利技术中风冷降温系统的结构示意图。图7为本专利技术电气控制原理图。具体实施方式参见附图，一种真空无氧固化炉，包括有炉体1、炉门2、炉膛3、PLC4、真空系统、风冷降温系统和温度控制系统，炉膛3设置于炉体1内，且炉膛3的上、下侧和后侧与炉体1的内壁之间均具有间隙并形成过风通道5，炉体1的上、下侧均设有与过风通道5相通的多个进风口6，炉体1的后侧设有出风口7；炉膛3的内部分别安装有托板8和镍铬-镍硅热电偶9，炉膛3的外部安装有环绕在其四周的加热器10，炉膛3的一侧分别设有抽真空接口29、充气接口30、真空度检测接口31和氧含量检测接口32；真空系统包括有真空泵11、充气泵12、电阻真空计13和氧含量分析仪14，真空泵11和充气泵12通过管路分别对应与抽真空接口29和充气接口30相连接，充气泵12与充气接口30相连接的管路上安装有电磁阀34，电阻真空计13与真空度检测接口31相连接，其探头延伸到炉膛3的内部，氧含量分析仪14的探头与氧含量检测接口32相连接；PLC4一方面分别与电阻真空计13和氧含量分析仪14相连接，另一方面与电磁阀34相连接，并分别通过第一、二固态继电器15、16对应与真空泵11和充气泵12相连接；风冷降温系统包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统和温度控制系统，其特征在于：所述的炉膛设置于所述炉体内，且炉膛的上、下侧和后侧与所述炉体的内壁之间均具有间隙并形成过风通道，所述炉体的上、下侧均设有与所述过风通道相通的多个进风口，炉体的后侧设有出风口；/n所述炉膛的内部分别安装有托板和测温元件，炉膛的外部安装有环绕在其四周的加热器，炉膛的一侧分别设有抽真空接口、充气接口、真空度检测接口和氧含量检测接口；/n所述的真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件和氧含量分析仪，所述的真空泵和充气泵通过管路分别对应与所述抽真空接口和充气接口相连接，所述充气泵与所述充气接口相连接的管路上安装有电磁阀，所述的真空度检测元件与所述真空度检测接口相连接，其探头延伸到所述炉膛的内部，所述氧含量分析仪的探头与所述氧含量检测接口相连接；所述的控制器一方面分别与所述真空度检测元件和氧含量分析仪相连接，另一方面与所述电磁阀相连接，并分别通过第一、二固态继电器对应与所述真空泵和充气泵相连接；/n所述的风冷降温系统包括有与所述出风口相连接的空气放大器，所述的控制器通过第三固态继电器与所述空气放大器相连接；/n所述的温度控制系统包括有与所述控制器相连接的温控仪，所述的温控仪一方面与所述测温元件相连接，另一方面通过第四固态继电器与所述加热器相连接；/n所述炉体的一侧安装有操作面板，所述的操作面板上分别安装有触摸屏、蜂鸣器和指示灯，所述的触摸屏与所述控制器相连接，所述温控仪的报警信号输出端分别与所述的蜂鸣器和指示灯相连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种真空无氧固化炉，包括有炉体、炉门、炉膛、控制器、真空系统、风冷降温系统和温度控制系统，其特征在于：所述的炉膛设置于所述炉体内，且炉膛的上、下侧和后侧与所述炉体的内壁之间均具有间隙并形成过风通道，所述炉体的上、下侧均设有与所述过风通道相通的多个进风口，炉体的后侧设有出风口；
所述炉膛的内部分别安装有托板和测温元件，炉膛的外部安装有环绕在其四周的加热器，炉膛的一侧分别设有抽真空接口、充气接口、真空度检测接口和氧含量检测接口；
所述的真空系统包括有真空泵、充气泵、真空度检测元件和氧含量分析仪，所述的真空泵和充气泵通过管路分别对应与所述抽真空接口和充气接口相连接，所述充气泵与所述充气接口相连接的管路上安装有电磁阀，所述的真空度检测元件与所述真空度检测接口相连接，其探头延伸到所述炉膛的内部，所述氧含量分析仪的探头与所述氧含量检测接口相连接；所述的控制器一方面分别与所述真空度检测元件和氧含量分析仪相连接，另一方面与所述电磁阀相连接，并分别通过第一、二固态继电器对应与所述真空泵和充气泵相连接；
所述的风冷降温系统包括有与所述出风口相连接的空气放大器，所述的控制器通过第三固态继电器与所述空气放大器相连接；
所述的温度控制系统包括有与所述控制器相连接的温控仪，所述的温控仪一方面与所述测温元件相连接，另一方面通过第四固态继电器与所述加热器相连接；
所述炉体的一侧安装有操作面板，所述的操作面板上分别安装有触摸屏、蜂鸣器和指示灯，所述的触摸屏与所述控制器相连接，所述温控仪的报警信号输出端分别与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈善瑾，丁道路，刘汉东，郑宇鹏，陶毅，
申请(专利权)人：合肥真萍电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34