本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉高精度籽晶位测量装置，涉及碳化硅单晶生长技术领域；包括导轨

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长用新型石墨坩埚，涉及碳化硅单晶技术领域；包括坩埚本体，坩埚本体的内上侧为竖直面一，竖直面一的下侧与斜面连接，斜面的下侧连接有竖直面二；本实用新型比原坩埚产出碳化硅单晶大颗粒包裹密度大幅度降低，影响晶表面...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置，涉及碳化硅单晶生长用具技术领域；包括定位盘体、定位滑轨、定位器、锁紧螺栓、连接骨架；定位盘体的内侧壁安装有定位滑轨，定位滑轨的内侧壁与连接骨架连接，定位滑轨的滑槽内活动连接有定位器...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉柜闭门装置，包括柜体、门板、连接合页、门锁组件、门板减震支撑组件，所述门板为左右对称结构，所述左门板与右门板上安装有门锁组件，在所述门板与柜体间安装有门板减震支撑组件，所述门板减震支撑组件设有柜体固定座、...

本实用新型公开了一种低摩擦大位移碳化硅单晶动力系统管道支架，涉及碳化硅单晶工程技术领域；包括支架本体、轴承支座、滚轴、支撑底板；支架本体的下端安装有承轴支座，轴承支座的内部安装有轴承，滚轴安装在轴承的内圈上，支架本体的下端安装有支架底板...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶片用快速取出装置，涉及单晶片用具技术领域；外杆体的上端与把手的底中部连接，外杆体的底部活动连接有活动杆，活动杆上均匀的开设有数个连接螺纹孔，固定螺栓穿接在外杆体下侧的孔槽内并连接在连接螺纹孔内，活动杆的底部...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用红外测温装置，涉及碳化硅单晶炉用具技术领域；包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机；安装板体的上端安装有安装套，安装套的上端安装有上盖板，上盖板的下端安装有红外测温探头，...

本实用新型公开了一种用于生产碳化硅单晶的坩埚用运输车，涉及碳化硅单晶生产用具技术领域；外框架的底部四角处均安装有行走轮，外框架的内下侧安装有底板，外框架的上端安装有上支撑板，上支撑板的上端安装有防护栏，防护栏上安装有上散热风扇，外框架的...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用坩埚尺位升降测量装置，涉及碳化硅单晶炉用具技术领域；数显标尺的两端均安装有标尺安装座，数显标尺的滑块上安装有连接板体，连接板体的另一端与坩埚尺位升降块连接，连接板体的右端安装有指针体，数显标尺的右侧设置...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置，涉及生长炉用具技术领域；后固定架的两端均安装有安装板体，后固定架上开设有半圆形槽，前固定架的内侧壁上与后固定架的半圆形槽的对应处开设有半圆形槽，两个半圆形槽形成一个圆形，两个后固定架、...

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，涉及碳化硅单晶生长技术领域；测量板的底部安装有限位板，测量板的外表面设置有刻度线层，测量板活动连接在数显式测量滑套上的测量槽内，且数显式测量滑套上安装有显示屏，数显式测量滑套的后端连...

本实用新型涉及一种碳化硅单晶生长炉冷却循环水过滤装置，其包括筒状的主壳体、固定安装在主壳体一侧的侧壳体、紧密插装在侧壳体内腔的过滤筒，在所述主壳体进水端设置进水接头，在主壳体的出水端设置出水接头，在过滤筒上均匀设置过滤孔；主壳体的内径为...

本发明提供了一种碳化硅晶体的二次退火方法，包括：将碳化硅晶体放置在坩埚中在退火炉内进行退火处理；所述坩埚包括：大坩埚；设置在所述大坩埚内的小坩埚；设置在所述小坩埚内的环形石墨毡；所述晶体水平方向放置在环形石墨毡的中心。本发明在二次退火阶...

本发明公开了一种生长高纯碳化硅单晶的装置，包括：依次连接构成循环的单晶炉体、净化系统和循环系统；净化系统包括：溶剂吸附器；溶剂吸附器包括：水气吸附机构、氧气吸附机构和/或氮气吸附机构；循环系统能够使单晶炉体与净化系统进行气体交换。有益效...