【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置
[0001]本技术属于生长炉用具
,具体涉及一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置。
技术介绍
[0002]现有的碳化硅单晶生长炉用管路需要通过固定装置来固定,但是由于管道的管径不一致,需要采用多种固定器来实现固定,其操作不方便,浪费时间。
技术实现思路
[0003]为解决现有的碳化硅单晶生长炉用管路需要通过固定装置来固定,但是由于管道的管径不一致,需要采用多种固定器来实现固定,其操作不方便,浪费时间的问题;本技术的目的在于提供一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置。
[0004]本技术的一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置,包括后固定架、安装板体、前固定架、后防滑垫体、固定螺栓、前防滑片、转套、调节螺栓、锁紧螺母、导向杆、T形插接块;后固定架的两端均安装有安装板体,后固定架上开设有半圆形槽,前固定架的内侧壁上与后固定架的半圆形槽的对应处开设有半圆形槽,两个半圆形槽形成一个圆形,两个后固定架、前固定架通过固定螺栓连接,后固定架的中部开设有T形槽,T形槽为上端开口且下端闭 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置,其特征在于:包括后固定架、安装板体、前固定架、后防滑垫体、固定螺栓、前防滑片、转套、调节螺栓、锁紧螺母、导向杆、T形插接块;后固定架的两端均安装有安装板体,后固定架上开设有半圆形槽,前固定架的内侧壁上与后固定架的半圆形槽的对应处开设有半圆形槽,两个半圆形槽形成一个圆形,两个后固定架、前固定架通过固定螺栓连接,后固定架的中部开设有T形槽,T形槽为上端开口且下端闭口式,前固定架的后端安装有T形插接块,T形插接块插接在T形槽内,前固定架的半圆形槽内设置有前防滑片,前防滑片的前侧壁上安装有转套,调节螺栓的头部与转套相铰接,且调节螺栓连接在前...
【专利技术属性】
技术研发人员:马敬军,李文勇,陈荣坤,田茗文,
申请(专利权)人:河北天达晶阳半导体技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。