【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置
[0001]本技术属于碳化硅单晶生长用具
,具体涉及一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置。
技术介绍
[0002]现有的碳化硅单晶生长用石墨件打孔时需要进行定位,但是现有的定位装置在使用时稳定性差,而且定位不准确,操作复杂。
技术实现思路
[0003]为解决现有的定位装置在使用时稳定性差,而且定位不准确,操作复杂的问题;本技术的目的在于提供一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置。
[0004]本技术的一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置,包括定位盘体、定位滑轨、定位器、锁紧螺栓、连接骨架;定位盘体的内侧壁安装有定位滑轨,定位滑轨的内侧壁与连接骨架连接,定位滑轨的滑槽内活动连接有定位器,定位滑轨的外侧壁上开设有限位槽,且限位槽与定位滑轨的滑槽相连通,锁紧螺栓的头部穿接在限位槽内并与定位器上的螺纹孔连接,连接骨架的中部开设有固定孔,连接骨架上设置有两条定位线层。
[0005]作为优选,所述固定孔为固定螺纹孔。
[0006]作为优选,所述定位 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置,其特征在于:包括定位盘体、定位滑轨、定位器、锁紧螺栓、连接骨架;定位盘体的内侧壁安装有定位滑轨,定位滑轨的内侧壁与连接骨架连接,定位滑轨的滑槽内活动连接有定位器,定位滑轨的外侧壁上开设有限位槽,且限位槽与定位滑轨的滑槽相连通,锁紧螺栓的头部穿接在限位槽内并与定位器上的螺纹孔连接,连接骨架的中部开设有固定孔,连接骨架上设置有两条定位线层。2.根据权利要求1所述的一种碳化...
【专利技术属性】
技术研发人员:张冬,李文勇,陈荣坤,刘怀策,
申请(专利权)人:河北天达晶阳半导体技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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