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本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长用石墨件打孔定位装置，涉及碳化硅单晶生长用具技术领域；包括定位盘体、定位滑轨、定位器、锁紧螺栓、连接骨架；定位盘体的内侧壁安装有定位滑轨，定位滑轨的内侧壁与连接骨架连接，定位滑轨的滑槽内活动连接有定位器，定...
该专利属于河北天达晶阳半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北天达晶阳半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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