【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶炉用红外测温装置
[0001]本技术属于碳化硅单晶炉用具
,具体涉及一种碳化硅单晶炉用红外测温装置。
技术介绍
[0002]现有的碳化硅单晶炉在生产时其温度能够达到2300℃左右,一般的测温装置无法安装在炉体的内部,因此炉体温度无法进行测量。
技术实现思路
[0003]为解决现有的碳化硅单晶炉在生产时其温度能够达到2300℃左右,一般的测温装置无法安装在炉体的内部,因此炉体温度无法进行测量的问题;本技术的目的在于提供一种碳化硅单晶炉用红外测温装置。
[0004]本技术的一种碳化硅单晶炉用红外测温装置,包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机;安装板体的上端安装有安装套,安装套的上端安装有上盖板,上盖板的下端安装有红外测温探头,红外测温探头通过导线与单片机的输入端电连接,单片机与电源模块均安装在电气箱内,电气箱的外侧壁上安装有触摸显示屏,电源模块与单片机的电源端连接,单片机的输入端与红外测温探头连接,单片机的输入、输出端与触摸显示屏连接。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶炉用红外测温装置,其特征在于:包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机;安装板体的上端安装有安装套,安装套的上端安装有上盖板,上盖板的下端安装有红外测温探头,红外测温探头通过导线与单片机的输入端电连接,单片机与电源模块均安装在电气箱内,电气箱的外侧壁上安装有触摸显示屏,电源模块与单片机的电源端连接,...
【专利技术属性】
技术研发人员:张冬,李文勇,陈荣坤,田茗文,
申请(专利权)人:河北天达晶阳半导体技术股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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