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本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用红外测温装置,涉及碳化硅单晶炉用具技术领域;包括安装板体、触摸显示屏、安装套、红外测温探头、上盖板、电气箱、单片机;安装板体的上端安装有安装套,安装套的上端安装有上盖板,上盖板的下端安装有红外测温探头,红外...该专利属于河北天达晶阳半导体技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北天达晶阳半导体技术股份有限公司授权不得商用。
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