下载一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置的技术资料

文档序号:31857000

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本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉用管路固定装置,涉及生长炉用具技术领域;后固定架的两端均安装有安装板体,后固定架上开设有半圆形槽,前固定架的内侧壁上与后固定架的半圆形槽的对应处开设有半圆形槽,两个半圆形槽形成一个圆形,两个后固定架、前固...
该专利属于河北天达晶阳半导体技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北天达晶阳半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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