本发明提供用于蚀刻微电子装置表面的湿式蚀刻组合物和方法，所述表面含有氮化硅(SiN)、氧化硅和多晶硅，所述多晶硅在一个实施例中与包含比硅在电化学上更惰性的化合物的表面接触，和任选的其它材料，其可包括适用于微电子装置的导电材料、半导电材料...

描述了一种过滤器滤芯和一种改装过滤器外壳的方法。一种可移除过滤器滤芯包含：过滤器外壳，其含有用于对液体进行过滤的过滤器；和密封阀组合件，其耦合到所述过滤器外壳且用于将所述过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部。所述密封阀组合件包含入口通...

一种可拆式过滤器滤芯包含容纳过滤器的过滤器壳体、密封阀，所述密封阀联接到所述过滤器壳体的敞开端且被构形成将所述可拆式过滤器滤芯可拆卸地联接到过滤器头。所述密封阀具有打开位置和密封所述过滤器壳体的闭合位置，且被构形成在与所述过滤器头断开联...

本申请案涉及前驱物输送系统及前驱物供应封装。一些实施例涉及用于产生气态前驱物的前驱物输送系统。所述前驱物输送系统可包含容纳固态前驱物材料的一或多个前驱物供应封装。所述一或多个前驱物供应封装可经配置以将所述固态前驱物材料加热到足以导致所述...

一种卡匣固持件包含框架、在相对于所述框架的垂直方向上延伸的第一卡匣触点及在所述相同垂直方向上延伸的第二卡匣触点。所述第一及第二卡匣触点沿所述框架的长度方向分离。所述卡匣触点可在与提供于用于包含所述卡匣及卡匣固持件的晶片容器的门上的通道介...

提供用于选择性地蚀刻氮化钛的组合物的方法，其通常使所存在的钼以及可能存在于装置上的任何氧化铝、二氧化硅和多晶硅不受工艺影响。本发明组合物通常能够实现超过/分钟的氮化钛蚀刻速率，由此在图案中提供均匀的凹部顶层和底层。凹部顶层和底层。凹部顶...

本发明描述用于过滤液体的滤波器组合件及其制造方法。用于过滤液体的所述过滤器组合件包含过滤器壳体及安置于所述过滤器壳体的经围封空间中的滤筒。所述过滤器壳体包含附装到碗状物以形成所述经围封空间的盖。所述盖包含用于所述经围封空间的流体入口端口...

本申请案涉及包覆模制的连接器和其制造方法。一种流体连接组合件包含多个管道，其具有第一敞开端和与所述第一敞开端相对的第二敞开端；和多个连接器。所述连接器中的每一个包含至少两个连接器部分，其中所述至少两个连接器部分中的每一个从所述连接器的中...

描述了一种可移除过滤器滤芯和一种用于可移除过滤器滤芯的密封阀组合件。所述可移除过滤器滤芯包含：过滤器外壳，其含有用于对液体进行过滤的过滤器；和密封阀组合件，其耦合到所述过滤器外壳且用于将所述过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部。所述密...

本发明描述静电卡盘及相关方法，所述静电卡盘包括：陶瓷层，其包括上表面及下表面；电极，其在所述下表面处；以及电介质层，其在所述陶瓷层与所述电极之间。陶瓷层与所述电极之间。陶瓷层与所述电极之间。

本申请案涉及高蒸汽压输送系统。一种系统包含汽化器容器。所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。加热器经配置以加热所述汽化器容器。阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配...

本申请案涉及一种用以容纳试剂材料的存储容器。所述存储容器包含：容器，其具有底部、顶部、所述顶部处的出口、从所述底部延伸到所述顶部的侧壁、所述出口处的阀，以及由所述底部、所述顶部及所述侧壁界定的内部，所述内部包括容积；及延伸管，其具有与所...

描述深度过滤器及相关方法，其中所述深度过滤器含有串联的两个或更多个层，其中至少一个层包含聚芳酰胺纤维、合成助滤剂及聚合物粘合剂。合剂。合剂。

本申请涉及一种用于固体化学汽化室的可压缩托盘。用于在原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统的安瓿的所述托盘。所述托盘经配置为当被压缩时能够具有减少的轮廓大小以增强所述托盘可插入到所述安...

提供无碳(即，小于约0.1原子百分比的碳)的Zr掺杂HfO2膜，其中在原子百分比方面，Zr可达到与Hf相同的水平(即，1％到60％)。所述Zr掺杂还可通过可用于铁电存储器(FeRAM)中的m个纳米层压ZrO2和HfO2膜实现。层压膜包含...

本申请涉及一种用于安瓿的模块化托盘和一种将模块化托盘插入安瓿中的方法。用于固体前体材料的递送系统的安瓿的所述模块化托盘用于原子层沉积ALD工艺、化学气相沉积CVD工艺或这两者。所述模块化托盘经配置有单独组件，所述组件可增强所述模块化托盘...

描述一种用于处理静电卡盘的装置，其特征在于所述装置包括：腔室，其在腔室内部含有腔室氛围，腔室吹扫气体源，其适于向所述腔室内部供应腔室吹扫气体，温度控制流体源，其适于向所述腔室内部供应温度控制流体，及温度传感器，其用于测量所述腔室内部的温...

一种可拆式过滤器滤芯包含容纳过滤器的过滤器壳体、密封阀，所述密封阀联接到所述过滤器壳体的敞开端且被构形成将所述可拆式过滤器滤芯可拆卸地联接到过滤器头。所述密封阀具有打开位置和密封所述过滤器壳体的闭合位置，且被构形成在与所述过滤器头断开联...

一些实施例涉及具有钝化表面的增材制品及相关方法。所述方法可包括通过增材制造形成三维3D制品以获得包括镁组分的增材制造3D制品。所述方法可进一步包括使所述增材制造3D制品暴露于包括氟组分的反应性气相。来自所述反应性气相的所述氟组分可与所述...

一些实施例涉及具有涂层表面的增材制品及相关方法。所述方法可包括：通过增材制造形成三维3D制品以获得具有不能通过机械加工构造的整体结构的增材制造3D制品；及使所述增材制造3D制品暴露于一或多种前驱气体以在所述增材制造3D制品的表面上形成涂...