具有涂层表面的增材制品及相关方法技术

一些实施例涉及具有涂层表面的增材制品及相关方法。所述方法可包括：通过增材制造形成三维3D制品以获得具有不能通过机械加工构造的整体结构的增材制造3D制品；及使所述增材制造3D制品暴露于一或多种前驱气体以在所述增材制造3D制品的表面上形成涂层。所述增材制品可包括增材制造三维3D主体。所述增材制造3D主体可具有不能通过机械加工构造的整体结构。所述增材制造3D主体可在所述增材制造3D主体的表面上具有涂层。的表面上具有涂层。的表面上具有涂层。

【技术实现步骤摘要】
具有涂层表面的增材制品及相关方法


[0001]本公开大体上涉及具有涂层表面的增材制品及相关方法。

技术介绍

[0002]机械加工工艺不允许制造整体构造的装置或装置组件。例如，具有复杂形状的装置组件只能通过组装多个组件来制造。多个组件的组装通常导致形成于两个或更多个组件的界面处的接缝或焊接。

技术实现思路

[0003]在第一方面中，公开一种用于形成制品的方法，其包含：通过增材制造形成三维(3D)制品以获得增材制造3D制品，其中所述增材制造3D制品具有不能通过机械加工构造的整体结构；及使所述增材制造3D制品暴露于一或多种前驱气体以在所述增材制造3D制品的表面上形成涂层，其中所述涂层通过基于非等离子体的沉积工艺形成。
[0004]根据第一方面所述的第二方面，其中所述增材制造3D制品具有5:1到1000:1的纵横比，其中所述纵横比是宽度、深度、高度或直径中的两者的比率。
[0005]根据前述方面中任一方面所述的第三方面，其中所述形成包含从3D打印机施配3D可打印材料以形成所述增材制造3D制品。
[0006]根据前述方面中任一方面所述的第四方面，其中所述3D可打印材料包含以下中的至少一者：金属粉末、金属合金粉末、陶瓷粉末、热塑性聚合物或其任何组合。
[0007]根据前述方面中任一方面所述的第五方面，其中所述增材制造3D制品是整体构造制品。
[0008]根据前述方面中任一方面所述的第六方面，其中所述增材制造3D制品包含以下中的至少一者：气室、沟槽、界定孔的结构、界定通道的结构、界定空腔的结构或其任何组合。
[0009]根据前述方面中任一方面所述的第七方面，其中所述增材制造3D制品不包含接缝。
[0010]根据前述方面中任一方面所述的第八方面，其中所述增材制造3D制品不包含铜焊接头。
[0011]根据前述方面中任一方面所述的第九方面，其中所述增材制造3D制品不包含焊接接头。
[0012]根据前述方面中任一方面所述的第十方面，其中所述涂层通过热原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或溶液沉积工艺形成。
[0013]根据前述方面中任一方面所述的第十一方面，其中所述涂层包含以下中的至少一者：氧化铝、氧化钇、氧化钛、氧化锆、氧化钽或其任何组合。
[0014]根据前述方面中任一方面所述的第十二方面，其中所述方法进一步包含氟化所述涂层以形成包含YOF、YF3或其任何组合中的至少一者的涂层。
[0015]根据前述方面中任一方面所述的第十三方面，其中所述涂层包含：化学式MO的氧
化物，其中M是Ca、Mg或Be；化学式M'O2的氧化物，其中M'是化学计量上可接受的金属；化学式Re2O3的氧化物，其中Re是稀土元素；或化学式Ta
x
O
y
的氧化物，其中x大于0且y大于0。
[0016]根据前述方面中任一方面所述的第十四方面，其中本文中描述的技术涉及一种方法，其中所述涂层包含：氮氧化铝；氧化钇
‑
氧化铝；氧化硅；氮氧化硅；过渡金属氧化物；过渡金属氮氧化物；稀土金属氧化物；稀土金属氮氧化物；或其任何组合。
[0017]在第十五方面中，本文中公开一种半导体制造工具的组件，其包括根据本文中公开的方法形成的制品。
[0018]在第十六方面中，本文中公开一种制品，其包含：增材制造三维(3D)主体，其中所述增材制造3D主体具有不能通过机械加工构造的整体结构；及涂层，其位于所述增材制造3D主体的表面上，其中所述涂层是非等离子体涂层。
[0019]根据第十六方面所述的第十七方面，其中所述增材制造3D主体具有2:1到1000:1的纵横比，其中所述纵横比是宽度、深度、高度或直径中的两者的比率。
[0020]根据第十六或第十七方面所述的第十八方面，其中所述非等离子体涂层是热原子层沉积(ALD)涂层。
[0021]根据第十六到第十八方面中任一方面所述的第十九方面，其中所述增材制造3D主体是整体构造主体。
[0022]根据第十六到第十九方面中任一方面所述的第二十方面，其中所述增材制造3D制品包含以下中的至少一者：气室、沟槽、界定孔的结构、界定通道的结构、界定空腔的结构或其任何组合。
[0023]在第二十一方面中，公开一种医疗装置，其包括：增材制造三维(3D)主体，其具有整体结构；及非等离子体涂层，其位于所述增材制造3D主体的表面的至少一部分上。
[0024]根据第二十一方面所述的第二十二方面，其中所述医疗装置经配置用于植入到哺乳动物中。
[0025]根据第二十一方面所述的第二十三方面，其中所述医疗装置经配置用于临时插入到哺乳动物中。
[0026]根据第二十一方面所述的第二十四方面，其中所述医疗装置经配置用于在哺乳动物上外用。
[0027]根据第二十一到第二十四方面中任一方面所述的第二十五方面，其中所述增材制造3D主体是生物相容的。
[0028]根据第二十一到第二十五方面中任一方面所述的第二十六方面，其中所述增材制造3D主体是所述医疗装置的主体。
[0029]根据第二十一到第二十五方面中任一方面所述的第二十七方面，其中所述增材制造3D主体是所述医疗装置的组件。
[0030]根据第二十一到第二十七方面中任一方面所述的第二十八方面，其中所述增材制造3D主体是以下中的至少一者：球囊、移植物、支架、导管、分流器、栓塞剂、起搏器、除颤器、人工植入物、假体、刺激器、传感器、电线、引线、阀、插塞、泵、过滤器、机械连接器、管、板、手术工具、外壳、其任何组件或其任何组合。
[0031]根据第二十一到第二十八方面中任一方面所述的第二十九方面，其中所述增材制造3D主体是以下中的至少一者：血管成形术球囊、瓣膜成形术球囊、部署球囊、起搏器引线、
人工心脏瓣膜、血管滤器、血管插塞、人造心脏瓣膜、人工心脏、导管尖端、缝合线、手术钉、螺钉、钉子、托架、销钉、杆、夹具、导线、药泵、合成血管移植物、血管移植物、非血管移植物、支架移植物、血管支架、冠状动脉支架、外周支架、腔内铺路支架、动静脉分流器、动脉瘤填充物、植入式起搏器、植入式心脏除颤器、心脏复律除颤器、脊髓刺激器、脑刺激器、骶神经刺激器、骨假体、关节假体、塑料管、金属管、牙套、助听器、绷带、其任何组件或其任何组合。
[0032]根据第二十一到第二十九方面中任一方面所述的第三十方面，其中所述增材制造3D主体包括具有2:1到1000:1的纵横比的结构，其中所述纵横比是宽度、深度、高度或直径中的两者的比率。
[0033]根据第二十一到第三十方面中任一方面所述的第三十一方面，其中所述增材制造3D主体是整体构造制品。
[0034]根据第二十一到第三十一方面中任一方面所述的第三十二方面，其中所述增材制造3D主体不包括接缝。
[0035]根据第二十一到第三十二方面中任一方面所述的第三十三方面，其中所述增材制造3D主体不包括铜焊接头。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于形成制品的方法，其包括：通过增材制造形成三维3D制品以获得增材制造3D制品，其中所述增材制造3D制品具有不能通过机械加工构造的整体结构；及使所述增材制造3D制品暴露于一或多种前驱气体以在所述增材制造3D制品的表面上形成涂层，其中所述涂层通过基于非等离子体的沉积工艺形成。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成包括施配3D可打印材料，其中所述3D可打印材料包括以下中的至少一者：金属粉末、金属合金粉末、陶瓷粉末、热塑性聚合物或其任何组合。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述增材制造3D制品是整体构造制品。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述涂层包括以下中的至少一者：氧化铝、氧化钇、氧化钛、氧化锆、氧化钽或其任何组合。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述涂层包括：化学式MO的氧化物，其中M是Ca、Mg或Be；化学式M'O2的氧化物，其中M'是化学计量上可接受的金属；化学式Re2O3的氧化物，其中Re是稀土元素；或化学式Ta
x
O
y
的氧化物，其中x大于0且y大于0。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述涂层包括：氮氧化铝；氧化钇
‑
氧化铝；氧化硅；氮氧化硅；过渡金属氧化物；过渡金属氮氧化物；稀土金属氧化物；稀土金属氮氧化物；或其任何组合。7.一种半导体制造工具的组件，其包括根据权利要求1所述的方法形成的制品。8.一种制品，其包括：增材制造三维3D主体，其中所述增材制造3D主体具有不能通过机械加工构造的整体结构；及涂层，其位于所述增材制造3D主体的表面上，其中所述涂层是非等离子体涂层。9.根据权利要求8所述的制品，其中所述增材制造3D主体具有2:1到1000:1的纵横比，其中所述纵横比是宽度、深度、高度或直径中的两者的比率。10.根据权利要求8所述的制品，其中所述增材制造3D主体是整体构造主体。11.一种医疗装置，其包括：增材制造三维3D主体，其具有整体结构；及非等离子体涂层，其位于所述增材制造3D主体的表面的至少一部分上。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：