高蒸汽压输送系统技术方案

本申请案涉及高蒸汽压输送系统。一种系统包含汽化器容器。所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。加热器经配置以加热所述汽化器容器。阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少到所述汽化器容器的热。少到所述汽化器容器的热。少到所述汽化器容器的热。

【技术实现步骤摘要】
高蒸汽压输送系统
[0001]优先权
[0002]本公开主张申请日为2021年10月27日的第63/272,336号美国临时专利及申请日为2022年5月3日的第63/337,782号美国临时专利的优先权。这些优先文件以引用的方式并入。


[0003]本公开大体上涉及一种汽化器。更特定来说，本公开涉及一种用于汽化源试剂材料的汽化器。

技术介绍

[0004]用于源试剂的汽化器通常利用从金属容器表面到固体前驱物的传导加热。为了通过固体前驱物散热，可利用内部金属结构来提供金属热路径用于加热。

技术实现思路

[0005]在一些实施例中，一种系统包含汽化器容器。在一些实施例中，所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。在一些实施例中，加热器经配置以加热所述汽化器容器。在一些实施例中，一或多个阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。在一些实施例中，响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少热到所述汽化器容器。
[0006]在一些实施例中，所述系统包含与所述阀电子通信的温度传感器或压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种系统，其包括：汽化器容器；出口，其流体连接到所述汽化器容器；加热器，其经配置以加热所述汽化器容器；及阀，其经配置以调节所述出口处汽化材料的压力；其中响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少到所述汽化器容器的热。2.根据权利要求1所述的系统，其中响应于所述汽化材料的压力低于所述设置压力范围，所述阀经配置以增大所述汽化材料的所述压力；其中响应于所述汽化材料的所述压力高于所述设置压力范围，所述阀经配置以减小所述汽化材料的压力。3.根据权利要求2所述的系统，其进一步包括安置于所述汽化器容器的内部容积中的第二阀；且其中响应于所述汽化材料的所述压力低于所述设置压力范围，所述第二阀经配置以增大所述汽化材料的所述压力；其中响应于所述汽化材料的所述压力高于所述设置压力范围，所述第二阀经配置以减小所述汽化材料的所述压力。4.一种系统，其包括：汽化器容器；出口，其流体连接到所述汽化器容器；及阀，其经配置以调节离开所述汽化器容器的汽化材料的压力，使得将所述汽化材料在设置压力范围内供应到所述出口。5.根据权利要求4所述的系统，其进一步包括与所述阀电子通信的温度传感器或压力传感器中的至少一者。6.根据权利要求4所述的系统，其进一步包括安置于所述汽化器容器的内部容积中的第二阀；且其中响应于所述汽化材料的...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：