本实用新型涉及磨抛技术领域，提供一种磨抛用吸附装置，包括吸附本体和多个吸附垫片，所述吸附本体上设有多个与所述吸附垫片一一对应的安装孔，所述吸附垫片可拆卸的设置在所述安装孔内，多个所述吸附垫片的厚度不同。通过将吸附垫片可拆卸的安装在吸附本...

本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，提供一种抛光垫及抛光设备，抛光垫包括表面功能层和基底层，所述表面功能层和所述基底层之间设有分离层，所述表面功能层和所述基底层均可拆卸的与所述分离层连接；抛光设备，包括如以上所述的抛光垫和抛光机，所述抛...

本实用新型涉及半导体抛光技术领域，提供一种抛光装置，包括机架和升降板，所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨，两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直，所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接，所述升降板的另相对两侧...

本发明公开了一种砷化镓刻蚀方法，包括将砷化镓置于电化学反应池的电解液中，电解液包括非氧化性酸、金属溴化物和水；给电化学反应池中的电极通入预定电压，预定电压为电解液的pH值和金属溴化物的浓度在预定范围时保持预定刻蚀速率的电压。本申请中来自...

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，公开了一种清洗设备，包括：外层箱体；以及内层箱体，设置在所述外层箱体的内部，在所述内层箱体的内部构造有正压空间，用于供待清洗的产品进行清洗，在所述内层箱体和所述外层箱体之间构造有负压空间，在所述内层箱体...

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述...

本实用新型提供一种气体混合装置及半导体设备，该气体混合装置包括：混气管路；以及混气分流结构，所述混气分流结构设置在所述混气管路中，且包括沿所述混气管路的轴向排布的至少两个混气单元，相邻的两个所述混气单元在所述混气管路的周向上交错设置；所...

本实用新型涉及一种尾气热解装置，包括：外套筒，一端设置有第一进气口，另一端设置有伸出口；加热层，设置于外套筒的外周；第一内套筒，一端设置有第二进气口，另一端为封闭端，第一内套筒设置于外套筒内，且第二进气口朝向伸出口设置；第二内套筒，一端...

本实用新型提供的废气处理装置以及系统，包括冷却腔体和刮除结构，冷却腔体用以使待处理气体中的有害物质在其内壁上凝结成凝结物；刮除结构包括刮除件和旋转驱动结构，刮除件设置在冷却腔体中，旋转驱动结构驱动刮除件转动以将凝结物刮除；旋转驱动结构包...

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种气体加热分解装置。该气体加热分解装置包括腔室本体、加热结构和气体传热结构，所述加热结构和气体传热结构分别设置于所述腔室本体中，所述加热结构设有用于安装加热元件的安装盲孔，所述气体传热结构为沿所...

本实用新型提供了一种过滤设备，过滤设备包括：过滤装置，包括筒体、冷却装置、滤芯组件、振动模块、进气口和排气口，部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，振动模块设置在滤芯组件上，过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内，再经过冷却...

本实用新型提供了一种过滤设备，包括：相互连通的第一过滤装置和第二过滤装置，第一过滤装置和第二过滤装置均包括筒体、冷却装置、滤芯组件、进气口和排气口，至少部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，过滤设备内的气体从进气口进入至筒...

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种滤芯清理装置，滤芯清理装置包括回收腔体以及设置于回收腔体内部的转轴组件、锤击组件和温控组件，转轴组件用于装载滤芯，锤击组件设置于转轴组件的外侧，用于锤击所述滤芯的表面，温控组件用于对回收腔体内...

本实用新型实施例涉及工业清洗设备技术领域，提供一种防堵塞滤网，包括滤芯，所述滤芯为碗状结构，所述滤芯上铺设有对应其碗状结构的过滤层。通过将过滤层铺设在碗状结构的滤芯上，形成弧形过滤面，有效减少废品或半成品与滤芯的接触面积，即在任何情况下...

本实用新型涉及环境保护技术领域，提供一种尾气处理收集装置，包括处理腔室，所述处理腔室内设冷却腔室，所述处理腔室的尾气输入口与所述冷却腔室连通，所述冷却腔室沿尾气输入方向的两侧分别设有一组冷却件，所述冷却腔室内设有刮板件，所述刮板件与所述...

本发明提供了一种基片固定结构、夹具及夹持系统。其中，基片夹设在基片固定结构与载板之间，基片固定结构包括：本体，本体具有进气孔、连通部及排气孔，进气孔通过连通部与排气孔连通；其中，排气孔设置在本体朝向基片的第一表面上，从排气孔排出的气体进...

本发明公开了一种载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备，载具定位组件包括定位件和解锁件；定位件包括固定段和卡爪段，固定段被设置为用于固定定位件，卡爪段包括一对弹性卡爪，弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；扩张部被设置为用于与载具上的定...

本申请提供了一种III‑V族太阳能电池与制作方法。该III‑V族太阳能电池包括依次叠置设置的衬底、背面电极层、背场层、基极层、发射极层、窗口层和正面电极层，其中，窗口层的材料包括GaP且不包括Al。该III‑V族太阳能电池中由于窗口层的...

本发明涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内...

本发明公开了一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，其中该检测装置包括载具本体、距离检测机构和控制装置，其中，距离检测机构设置在镀膜设备上，用于依据预设的检测周期检测载具本体在设定方向上的距离值；控制装置用于根据距离值和预设的检...