过滤设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种过滤设备，包括：相互连通的第一过滤装置和第二过滤装置，第一过滤装置和第二过滤装置均包括筒体、冷却装置、滤芯组件、进气口和排气口，至少部分冷却装置设置在筒体内，滤芯组件设置在冷却装置内，过滤设备内的气体从进气口进入至筒体内，再经过冷却装置及滤芯组件后由排气口排出。本申请的技术方案有效解决了现有技术中的过滤设备难以过滤含磷杂质的问题。

Filtration equipment

【技术实现步骤摘要】
过滤设备
本技术涉及半导体领域，具体而言，涉及一种过滤设备。
技术介绍
Metal-organicChemicalVaporDeposition(金属有机化合物化学气相沉淀，简称MOCVD)设备尾气中含有大量的大分子颗粒磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物。若不阻止这些磷沉积物和磷反应固态副产物的混合物不阻止，这些有毒有害的物质会排放到大气中，会造成环境污染。同时这些有毒有害的物质中的固态物质会堵塞真空泵。现有技术的过滤设备中，通过设置单筒结构来对含磷杂质进行过滤，过滤的过程中，大分子颗粒磷难以过滤，导致过滤效果较差，会堵塞真空泵，使得真空泵的容易发生故障，对真空泵使用寿命造成严重的影响，进而影响到整个真空系统，同时对环境造成污染。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种过滤设备，以解决现有技术中的过滤设备难以过滤含磷杂质的问题。为了实现上述目的，本技术提供了一种过滤设备，包括：相互连通的第一过滤装置和第二过滤装置，第一过滤装置和第二过滤装置均包括筒体、冷却装置、滤芯组件、进气口和排气口，至少部分冷却装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤设备，其特征在于，包括：/n相互连通的第一过滤装置(10)和第二过滤装置(20)，所述第一过滤装置(10)和所述第二过滤装置(20)均包括筒体(30)、冷却装置(50)、滤芯组件(60)、进气口(11)和排气口(12)，至少部分所述冷却装置(50)设置在所述筒体(30)内，所述滤芯组件(60)设置在所述冷却装置(50)内，所述过滤设备内的气体从所述进气口(11)进入至所述筒体(30)内，再经过所述冷却装置(50)及所述滤芯组件(60)后由所述排气口(12)排出。/n

【技术特征摘要】
1.一种过滤设备，其特征在于，包括：
相互连通的第一过滤装置(10)和第二过滤装置(20)，所述第一过滤装置(10)和所述第二过滤装置(20)均包括筒体(30)、冷却装置(50)、滤芯组件(60)、进气口(11)和排气口(12)，至少部分所述冷却装置(50)设置在所述筒体(30)内，所述滤芯组件(60)设置在所述冷却装置(50)内，所述过滤设备内的气体从所述进气口(11)进入至所述筒体(30)内，再经过所述冷却装置(50)及所述滤芯组件(60)后由所述排气口(12)排出。


2.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述冷却装置(50)包括壳体(51)和冷却管路(52)，所述冷却管路(52)环绕在所述壳体(51)外壁上，所述冷却管路(52)与所述筒体(30)的内壁之间具有间隔，所述滤芯组件(60)设置在所述壳体(51)内，所述进气口(11)设置在所述筒体(30)的侧壁上，所述排气口(12)设置在所述壳体(51)的顶壁上。


3.根据权利要求2所述的过滤设备，其特征在于，所述壳体(51)包括上壳体(511)和下壳体(512)，所述冷却管路(52)环绕在所述下壳体(512)的外侧，所述下壳体(512)的底部为开放端，所述过滤设备还包括底壳(80)，所述底壳(80)位于所述筒体(30)的底部，所述底壳(80)与所述下壳体(512)之间具有间隔，所述上壳体(511)与所述筒体(30)的一端可拆卸地连接，所述底壳(80)与所述筒体(30)的另一端可拆卸地连接。


4.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述滤芯组件(60)包括滤芯组(61)、第一板体(62)和第二板体(63)，所述第一板体(62)和所述第二板体(63)分别位于所述滤芯组(61)的两端，所述滤芯组(61)、所述第一板体(62)和所述第二板体(63)通过紧固件连接在一起。
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【专利技术属性】
技术研发人员：梁旭，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11