东泰高科装备科技有限公司专利技术

东泰高科装备科技有限公司共有370项专利

  • 本发明涉及一种半导体器件光化学刻蚀方法,包括:S1、在具有掩膜层的半导体结构的待刻蚀表面进行化学刻蚀第一预设时间段,得到预刻蚀的半导体结构;S2、使用光照使预刻蚀的半导体结构的待刻蚀区域产生电场,以对所述待刻蚀区域进行深刻蚀,得到预设深...
  • 本发明提供了一种P型GaAs层及其外延生长方法、GaAs太阳能电池及制备方法。外延生长方法,包括:步骤S1,向反应室中通入镓源、砷源和P型掺杂源以进行外延生长,得到P型GaAs基层;步骤S2,停止通入P型掺杂源,向反应室内通入铟源在P型...
  • 本发明提供了一种漏液检测装置和漏液检测方法,其中,漏液检测装置包括超声波发射单元,用于向外发出超声波信号;超声波接收单元,用于接受超声波信号;信号控制处理单元;信号控制处理单元用于控制超声波发射单元发出超声波信号,并用于分析处理超声波信...
  • 本发明提供了一种MOCVD装置,包括:壳体;承载组件,承载组件位于壳体内,承载组件包括支撑托盘和承载单元,承载单元用于承载基片,承载单元为多个,多个承载单元相间隔地分布在支撑托盘上;喷淋组件,喷淋组件设置在壳体内并位于承载组件的上方,喷...
  • 本发明公开了一种印刷刮刀装置和一种丝网印刷设备。包括:固定件;刮刀,与所述固定件连接;配重件,可移动地设置在所述固定件上,以调整所述刮刀的印刷角度,以使得所述刮刀对网版施加的垂直方向的印刷压力满足预设印刷压力。这样,在刮刀出现异常状况时...
  • 本发明公开了一种光伏电池光频识别标签以及光频标签读写器、系统。光频识别标签包括储能电池、存储器、控制器以及光伏电池,其中:储能电池,用于为光伏电池光频识别标签的各个模块供电;存储器,用于存储光伏电池光频识别标签的数据信息;光伏电池,用于...
  • 本发明提供了一种钙钛矿太阳能电池及其制作方法。该电池包括透明基板、电池层、第一金属电极和第二金属电极;电池层包括多个钙钛矿子太阳能电池,钙钛矿子太阳能电池设置于透明基板的一侧表面,各钙钛矿子太阳能电池包括沿第一方向依次层叠设置的电子传输...
  • 本发明涉及一种钙钛矿太阳能电池,包括电池本体,电池本体从下至上设有衬底、透明导电电极、致密层、介孔层、钙钛矿活性层、空穴传输层和金属电极层,在介孔层与钙钛矿活性层之间设有硅纳米粒子界面修饰层;或者所述电池本体从下至上设有衬底、透明导电电...
  • 本发明提供的外延层结构及制备方法、剥离方法和太阳能电池制备方法,包括在衬底上依次形成第一牺牲层、吸光层、第二牺牲层和外延功能层,其中,吸光层用于在照射下吸热并将热量传导至第一牺牲层、所第二牺牲层。通过加入吸光层,在湿法刻蚀的同时进行光照...
  • 本发明提供了一种太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池包括自下而上依次设置的衬底、外延层和金属电极,该太阳能电池还包括设置在金属电极的远离外延层的表面上的光导结构,光导结构包括沿远离金属电极的方向依次叠置的至少两层光导层,且光导层沿远离金...
  • 本发明提供了一种有机光谱转换材料、其制备方法及包含其的发光太阳能聚光器。该有机光谱转换材料包括式(Ⅰ)所示的三芳铵‑噻吩化合物。三芳胺基团与噻吩基团能够形成较大的刚性平面和共轭结构,电子离域增强,有利于电子的跃迁。当采用上述有机光谱转换...
  • 本发明提供了一种拉伸装置及具有其的装配系统。其中,拉伸装置包括:座体;第一拉伸组件,设置在座体上,第一拉伸组件带动部分柔性膜沿着第一预设方向A运动,以拉伸柔性膜;第二拉伸组件,设置在座体上,第二拉伸组件带动部分柔性膜沿着第二预设方向B运...
  • 本发明涉及抛光垫制造技术领域,尤其涉及一种抛光垫尾料的利用方法,包括以下步骤:S1,设计抛光垫拼接块的模具;S2,制作模具;S3,将抛光垫尾料片根据模具切割形成抛光垫拼接块;S4,在抛光机盘面上拼贴抛光垫拼接块形成抛光垫。本发明是将抛光...
  • 本发明提供一种钙钛矿电池及其制备方法。该钙钛矿电池包括基底、电池层和封装层,电池层和封装层沿远离基底的方向依次设置,封装层对电池层形成封装,封装层包括隔离层,隔离层能阻挡外界水和氧进入电池层。该钙钛矿电池通过在封装层中设置采用六甲基二硅...
  • 本发明提供了一种柔性太阳能电池挡膜及其制备方法。该柔性太阳能电池挡膜包括柔性透明衬底、量子点膜及阻水膜,量子点膜设置在柔性透明衬底的一侧表面;阻水膜设置在量子点膜、且远离柔性透明衬底的一侧表面。本发明提供的上述柔性太阳能电池挡膜,在柔性...
  • 本发明提供一种砷化镓电池外延结构及其制备方法。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层,牺牲层和电池层沿远离衬底的方向依次叠置,牺牲层包括叠层单元,叠层单元包括能被湿法腐蚀液腐蚀的膜层和夹设在膜层中的不能被湿法腐蚀液腐...
  • 本发明涉及一种承载半导体衬底的基座、衬底移动装置及其使用方法,其中,衬底移动装置包括基座和伯努利气动装置,基座上设置有至少一个用于承载衬底的片槽,在每个片槽的边缘设有一导气孔,导气孔的出气孔位于衬底的下方。导气孔的进气孔用于接收外部的气...
  • 本发明提供一种太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池包括衬底和设置在衬底上的反射层和电池层,沿远离衬底的方向,反射层和电池层依次设置,反射层包括至少一个叠层单元,沿远离衬底的方向,各叠层单元依次叠置,叠层单元包括相互叠置的砷化镓层和砷化铝...
  • 本发明提供一种太阳能电池外延结构及其衬底剥离方法。该太阳能电池外延结构包括待剥离衬底和设置在待剥离衬底上的牺牲层和电池层,沿远离待剥离衬底的方向,牺牲层和电池层依次设置,牺牲层包括至少一个叠层单元,各叠层单元依次叠置,叠层单元包括相互叠...
  • 本发明提供一种砷化镓电池外延结构及其制备方法。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层,沿远离衬底的方向,牺牲层和电池层依次叠置,牺牲层能通过湿法腐蚀辅助衬底与电池层分离,牺牲层从边缘区域向中心区域厚度逐渐降低。该砷化...