一种涂层形成装置，包括： 基片固定部分，用来固定基片； 喷嘴部分，通过设在其末端的排出口将涂层液体供应到由所述基片固定部分固定的所述基片上； 涂层液体输送通道，用来将所述涂层液体输送到所述喷嘴部分； 管道，连接所...

本发明提供一种涂敷方法及涂敷装置，在非旋转方式中以稳定的动作再现性良好地进行涂敷膜的膜厚控制，特别是涂敷扫描终端部的膜厚均匀化。在抗蚀剂喷嘴（７８）经过通过点（Ｘ↓［１］）的时刻（ｔ↓［１］）停止抗蚀剂泵，在经过一定延迟时间之后的时刻点...

内装有担载吸附剂的蜂窝结构体（２５）的二个转子（１８ａ、１８ｂ）由共同的马达（１９）驱动转动。隔离部件（１７）依靠该隔离部件（１７）与对应该隔离部件（１７）的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域（Ｓ）、再生区域（Ｕ）。在吸附...

提供一种用于供给除去有机物的气体的减湿系统。该减湿系统具有保持壳体及可自由旋转地支持在该保持壳体上、并且载有吸附剂的转子。转子通过设置在保持壳体上的分隔板划分成吸附区与再生区。将被处理气体供给到吸附区，将在吸附区处理的被处理气体供给到目...

一种蒸汽干燥装置备有：处理室（１ａ），收容半导体晶片（Ｗ）；供给喷嘴（２），对该处理室（１ａ）内供给ＩＰＡ蒸汽或者Ｎ↓［２］气体；两流体喷嘴（３），生成ＩＰＡ和Ｎ↓［２］气体的混合流体；蒸汽产生装置（１０），加热混合流体，生成ＩＰＡ蒸汽...