本实用新型提供一种激光加工装置，其可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。该装置具备：支撑台；激光振荡器；反射型空间光调制器(410)；聚光透镜单元(430)；一对透镜(422、423)，其构...

本实用新型提供一种可以精确地控制改质区域的形成位置的激光加工装置。激光加工装置(100)具备：支撑加工对象物(1)的支撑台(107)；输出激光L的激光光源(101)；包含用于使激光L在上加工对象物(1)聚光的聚光透镜(105)的聚光单元...

SERS元件(2)具备：基板(21)，其具有表面(21a)；微细构造部(24)，其形成在主面(21a)上，具有多个支柱(27)；第1导电体层(31)，其以连续覆盖表面(21a)和微细构造部(24)的方式形成在表面(21a)和微细构造部(...

检查装置具备：测试单元，其对半导体设备施加刺激信号；MO晶体，其与半导体设备相对地配置；光源，其输出光；光扫描器，其将光源所输出的光照射至MO晶体；光检测器，其检测自与半导体设备(D)相对地配置的MO晶体反射的光，并输出检测信号；及计算...

SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面，...

信号处理基板(10)具有多个信号处理电路(23)，该处理电路处理由红外线检测元件(1)的多个像素输出的信号。信号处理基板(10)具有：配置有红外线检测元件(1)的元件配置区域(17)、从与信号处理基板(10)正交方向看以围绕元件配置区域...

分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过...

检查装置具备：激光光源；将激光从金属层侧照射至半导体设备的激光标记用光学系统；通过控制激光光源来控制激光标记的控制部；在基板侧检测来自半导体设备的光并输出光学反射像的二维照相机；及生成半导体设备的图案图像的解析部；控制部以直至标记像显现...

该放射线检测器（3）具备：平板状的波长变换板（6），响应于透过了对象物（A）的放射线的入射而产生闪烁光；直接变换型检测器（5），检测透过了波长变换板（6）的放射线；以及遮光板（7），配置在波长变换板（6）与直接变换型检测器（5）之间，防...

一种图像取得装置，具备：空间光调制器，调制照射光；控制部，以在观察对象物中形成多个聚光点的方式控制调制图案；聚光光学系统，对被调制了的所述照射光进行聚光；扫描部，在与所述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描所述观察对象物中的所述多个...

一种图像取得装置，具备：空间光调制器，调制照射光；控制部，以在观察对象物形成第1聚光点以及第2聚光点的方式控制调制图案；聚光光学系统，对上述照射光进行聚光；扫描部，在与上述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描上述第1以及第2聚光点的...

本发明的辐射热计型THz检测器具备接收并放射波长λ的THz波的指向性天线(1)、与指向性天线(1)相对配置的收信天线(2)、及检测由流经收信天线(2)的电流引起的发热的辐射热计(4)，且指向性天线(1)在俯视时与收信天线(2)重叠，指向...

干涉观察装置(1A)具备光源(10)、分支用分束器(21)、合波用分束器(22)、分束器(31)、镜(32)、分束器(41)、镜(42)、压电元件(43)、平台(44)、摄像部(61)、图像取得部(71)以及控制部(72)。从分支用分束...

干涉观察装置(1)具备输出非相干的光的光源(10)、分束器(20)、试样保持台(31)、物镜(32)、参照镜(41)、透镜(42)、像差修正用板(43)、压电元件(44)、镜筒透镜(51)、分束器(52)、摄像部(61)、光检测器(62...

本发明的课题在于提供一种不会生成单斜晶的氧化锆的加工方法。该氧化锆的加工方法的特征在于，包括以10

分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过...

本发明所涉及的激光放大装置中的激光介质单元(10)具备多个激光介质(14)。在激光介质单元(10)的周围设置冷却介质流路(F1)，从外侧冷却激光介质单元(10)。在激光介质(14)之间的密闭空间内填充气体或者液体，通过所涉及的密闭空间内...

本发明的目的在于提高光电面的紫外波段的灵敏度，光电面(1)包括：透射紫外线的窗口材料(2)；在窗口材料(2)形成、具有导电性的导电膜(3)；在导电膜(3)形成、由MgF2构成的中间膜(4)；和在中间膜(4)形成、由CsTe构成的光转换膜...

本发明的目的在于，提供即使在光的强度分布从高斯分布不连续地进行变形的情况下也能够使输出光的强度分布接近所希望的分布的光照射装置。本发明的光照射装置具备：高斯光束输出部(10)，输出具有服从高斯分布的光强度分布的光；空间光调制器(20)，...

本发明的背面入射型固体摄像装置(SI)包括半导体基板(1)、移位寄存器(19)、及遮光膜(57)。半导体基板(1)在背面侧具有光入射面，并且具有根据光入射而产生电荷的受光部(13)。移位寄存器(19)设置于半导体基板(1)的与光入射面相...