激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光加工装置，其可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。该装置具备：支撑台；激光振荡器；反射型空间光调制器(410)；聚光透镜单元(430)；一对透镜(422、423)，其构成空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统；二向色镜(403)。从空间光调制器(410)到达反射镜(403)的激光L的光路以沿着规定的平面的方式设定。从反射镜(403)到达聚光透镜单元(430)的激光L的光路以沿着与该平面交叉的方向的方式设定。空间光调制器(410)将激光L沿着该平面以锐角反射。

Laser processing device

The utility model provides a laser processing device, which can accurately transmit the image of the laser on the reflecting surface of the reflection type spatial light modulator to the high precision image of the entrance pupil of the concentrating optical system. The device includes: a support table; laser oscillator; reflection type spatial light modulator (410); a condenser lens unit (430); a pair of lenses (422, 423), a spatial light modulator (410) of the reflector and lens unit (430) of the entrance pupil surface (430a) imaging in both sides the relationship between the telecentric optical system; two dichroic mirror (403). The light path of the laser L from the space light modulator (410) to the reflector (403) is set along the prescribed plane. The light path of the laser L from the reflector (403) to the concentrator lens unit (430) is set along the direction crossed with the plane. The spatial light modulator (410) reflects the laser L along the plane with an acute angle.

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置
本技术涉及激光加工装置。
技术介绍
专利文献1中记载有一种激光加工装置，其具备保持工件的保持机构和对保持于保持机构的工件照射激光的激光照射机构。该激光加工装置的激光照射机构中，将在从激光振荡器到聚光透镜的激光的光路上配置的各结构配置于1个筐体内，并将该筐体固定于竖立设置于激光加工装置的基台的壁部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5456510号公报技术所要解决的课题有时在上述那样的激光加工装置中设置对激光进行调制并进行反射的反射型空间光调制器。这种的情况下，将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像(反射型空间光调制器中调制的激光的像)在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像(成像)是极其重要的。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。用于解决课题的方案本技术提供一种激光加工装置，其具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射激光；聚光光学系统，其使激光相对于加工对象物进行聚光；成像光学系统，其构成反射型空间光调制器的反射面和聚光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置，其具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统；以及反射镜，其将通过了所述成像光学系统的所述激光向所述聚光光学系统进行反射，所述反射型空间光调制器将所述激光沿着规定的平面以锐角进行反射，从所述反射型空间光调制器经由所述成像光学系统到达所述反射镜的所述激光的光路以沿着所述平面的方式设定，从所述反射镜到达所述聚光光学系统的所述激光的光路以沿着与所述平面交叉的方向的方...

【技术特征摘要】
2016.01.28 JP 2016-0145041.一种激光加工装置，其具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统；以及反射镜，其将通过了所述成像光学系统的所述激光向所述聚光光学系统进行反射，所述反射型空间光调制器将所述激光沿着规定的平面以锐角进行反射，从所述反射型空间光调制器经由所述成像光学系统到达所述反射镜的所述激光的光路以沿着所述平面的方式设定，从所述反射镜到达所述聚光光学系统的所述激光的光路以沿着与所述平面交叉的方向的方式设定。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，从所述反射镜到达所述聚光光学系统的所述激光的光路以沿着与所述平面正交的方向的方式设定，所述反射镜将所述激光以直角进行反射。3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，所述反射镜为二向色镜。4.根据权利要求1或2所述的激...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥间惇治，长尾光洋，伊崎泰则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP