干涉观察装置以及干涉观察方法制造方法及图纸

干涉观察装置(1)具备输出非相干的光的光源(10)、分束器(20)、试样保持台(31)、物镜(32)、参照镜(41)、透镜(42)、像差修正用板(43)、压电元件(44)、镜筒透镜(51)、分束器(52)、摄像部(61)、光检测器(62)、图像取得部(71)以及控制部(72)。控制部(72)根据从光检测器(62)输出的检测信号，求得合波光的干涉强度，并以干涉强度变大的方式调整干涉光学系统。

Interference observation device and interference observation method

Interference observation device (1) has an output light source non coherent light beam splitter (10), (20), the sample holder (31), (32), a reference mirror lens (41), (42), lens aberration correction plate (43), a piezoelectric element (44), barrel the lens (51), beam splitter (52), camera (61), (62) to obtain the optical detector and image (71) and a control section (72). The control unit (72) adjusts the interference intensity of the optical wave according to the detected signal output from the light detector (62) and adjusts the interferometric optical system in a way that the interference strength becomes large.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干涉观察装置以及干涉观察方法
本专利技术涉及干涉观察装置以及干涉观察方法。
技术介绍
取得干涉图像的干涉观察装置通过使用迈克尔逊(Michelson)干涉仪或者马赫-曾德尔(Mach-Zehnder)干涉仪的光学系统并使在观察对象物上反射或者透过的光和参照光干涉，从而能够取得观察对象物的干涉图像。非专利文献1～5所记载或者启示的干涉观察装置使用迈克尔逊干涉仪的光学系统，对从光源输出的光进行分支而作为第1分支光以及第2分支光，使第1分支光在观察对象物上反射并对第1分支光和第2分支光进行合波。于是，该干涉观察装置取得由该合波产生的干涉光的图像。其中，非专利文献1,2所记载的干涉观察装置使用输出非相干的光的光源(例如卤素灯或LED(LightEmittingDiode(发光二极管)))来取得干涉图像。非专利文献3,4所记载或者启示的干涉观察装置使用输出相干的激光的光源来取得干涉图像，并且根据干涉光的检测结果反馈控制迈克尔逊干涉仪中的2个光路之间的光路长差。非专利文献5所记载的干涉观察装置使用输出非相干的光的第1光源来取得干涉图像，并且使用输出相干的激光的第2光源并根据干涉光的检测结果反馈控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉观察装置，其特征在于：具备：光源，输出非相干的光；干涉光学系统，对从所述光源输出的光进行分支而作为第1分支光以及第2分支光，使所述第1分支光在观察对象物上反射或者透过并对所述第1分支光和所述第2分支光进行合波而输出该合波光；受光部，对所述合波光进行受光并输出检测信号；图像取得部，根据所述检测信号，取得干涉图像；以及控制部，根据所述检测信号，求得所述合波光的干涉强度，并以所述干涉强度变大的方式调整所述干涉光学系统。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.30 JP 2015-0162661.一种干涉观察装置，其特征在于：具备：光源，输出非相干的光；干涉光学系统，对从所述光源输出的光进行分支而作为第1分支光以及第2分支光，使所述第1分支光在观察对象物上反射或者透过并对所述第1分支光和所述第2分支光进行合波而输出该合波光；受光部，对所述合波光进行受光并输出检测信号；图像取得部，根据所述检测信号，取得干涉图像；以及控制部，根据所述检测信号，求得所述合波光的干涉强度，并以所述干涉强度变大的方式调整所述干涉光学系统。2.如权利要求1所述的干涉观察装置，其特征在于：所述控制部根据所述检测信号，求得对应于所述干涉光学系统中的从分支到合波为止的所述第1分支光与所述第2分支光之间的光路长差的相位差，并根据所述相位差，将所述干涉光学系统中的所述光路长差维持为一定。3.如权利要求1或者2所述的干涉观察装置，其特征在于：所述控制部以所述干涉强度变大的方式调整所述干涉光学系统中的从分支到合波为止的所述第1分支光与所述第2分支光之间的光路长差。4.如权利要求1～3中的任意一项所述的干涉观察装置，其特征在于：所述控制部以所述干涉强度变大的方式调整处于所述干涉光学系统中的所述第1分支光以及所述第2分支光的双方或者任意一方的光路上的光学元件的光轴。5.如权利要求1～4中的任意一项所述的干涉观察装置，其特征在于：进一步具备显示所述干涉强度的显示部。6.如权利要求5所述的干涉观察装置，其特征在于：所述显示部将所述干涉强度的时间变化作为图表来进行显示。7.如权利要求5所述的干涉观察装置，其特征在于：所述显示部将所述干涉强度作为数值来进行显示。8.如权利要求5所述的干涉观察装置，其特征在于：所述显示部将所述干涉强度作为声音来进行输出。9.如权利要求1～8中的任意一项所述的干涉观察装置，其特征在于：所述干涉光学系统包含迈克尔逊干涉仪或者马赫-曾德尔干涉仪。10.如权利要求1～9中的任意一项所述的干涉观察装置，其特征在于：所述受光部具有对所述合波光进行摄像并输出第1检测信号的图像传感器、以及对所述合波光进行受光并输出第2检测信号的光检测器，所述图像取得部根据所述第1检测信号，取得所述干涉图像，所述控制部根据所述第2检测信号，求得所述干涉强度。11.如权利要求10所述的干涉观察装置，其特征在于：所述控制部根据所述第2检测信号，求得对应于所述干涉光学系统中的从分支到合波为止的所述第1分支光与所述第2分支光之间的光路长差的相位差，并重复进行根据所述相位差而将所述干涉光学系统中的所述光路长差维持为一定的开启期间和不将所述干涉光学系统中的所述光路长差维持为一定的关断期间，所述图像传感器以对所述合波光进行摄像的期间包含于开启期间的方式进行设定。12.如权利要求11所述的干涉观察装置，其特征在于：所述开启期间为1毫秒以上3秒以下。13.如权利要求11...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内丰彦，山田秀直，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP