干涉观察装置制造方法及图纸

干涉观察装置(1A)具备光源(10)、分支用分束器(21)、合波用分束器(22)、分束器(31)、镜(32)、分束器(41)、镜(42)、压电元件(43)、平台(44)、摄像部(61)、图像取得部(71)以及控制部(72)。从分支用分束器(21)到合波用分束器(22)为止的干涉光学系统(20A)构成马赫‑曾德尔干涉仪。镜(42)在垂直于镜(42)的反射面的方向上移动自如。干涉光学系统(20A)中的第1分支光以及第2分支光各自的反射的次数之和为偶数。

Interference observation device

Interference observation device (1A) equipped with a light source (10), beam splitter branch (21), wave beam splitter, a beam splitter (22) (31) (32), mirror, beam splitter mirror (41), (42), a piezoelectric element (43), platform (44), camera (61), the Department of the image (71) and a control section (72). From the branch with a beam splitter (21) to the wave splitter (22) interference optical system so far (20A) Maher had Del interferometer. The mirror (42) moves freely in the direction perpendicular to the reflecting surface of the mirror (42). In an interferometric optical system (20A), the sum of the first branches of light and the second branches of the reflected light is equal to the sum of times.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干涉观察装置
本专利技术涉及干涉观察装置。
技术介绍
取得观察对象物的干涉图像的干涉观察装置通过使用迈克尔逊(Michelson)干涉仪或者马赫-曾德尔(Mach-Zehnder)干涉仪的光学系统来使在观察对象物上反射或者透过的光和参照光干涉，从而能够取得观察对象物的干涉图像。非专利文献1所记载的干涉观察装置使用马赫-曾德尔干涉仪的光学系统，对从光源输出的光进行分支而作为第1分支光以及第2分支光，使第1分支光在观察对象物上透过并对第1分支光和第2分支光进行合波，从而取得由该合波产生的干涉光的图像。现有技术文献非专利文献非专利文献1：PinhasGirshovitz,etal,“Generalizedcellmorphologicalparametersbasedoninterferometricphasemicroscopyandtheirapplicationtocelllifecyclecharacterization,”BIOMEDICALOPTICSEXPRESS,Vol.3,No.8,pp.1757-1773(2012).非专利文献2：A.A.Freschi,etal,“A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉观察装置，其特征在于：具备：光源，输出非相干的光；以及干涉光学系统，包含对从所述光源输出的光进行分支而输出第1分支光以及第2分支光的分支用分束器、以及对所述第1分支光和所述第2分支光进行合波而输出合波光的合波用分束器，并且构成马赫‑曾德尔干涉仪，所述干涉光学系统在所述第2分支光的光路上包含第2分束器以及第2镜，使从所述分支用分束器到达所述第2分束器的所述第2分支光在所述第2分束器上透过或者反射之后被所述第2镜反射，使被所述第2镜反射并到达所述第2分束器的所述第2分支光在所述第2分束器上反射或者透过，从所述第2分束器朝向与从所述分支用分束器向所述第2分束器的所述第2分支光的输入方向不同的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.30 JP 2015-0162661.一种干涉观察装置，其特征在于：具备：光源，输出非相干的光；以及干涉光学系统，包含对从所述光源输出的光进行分支而输出第1分支光以及第2分支光的分支用分束器、以及对所述第1分支光和所述第2分支光进行合波而输出合波光的合波用分束器，并且构成马赫-曾德尔干涉仪，所述干涉光学系统在所述第2分支光的光路上包含第2分束器以及第2镜，使从所述分支用分束器到达所述第2分束器的所述第2分支光在所述第2分束器上透过或者反射之后被所述第2镜反射，使被所述第2镜反射并到达所述第2分束器的所述第2分支光在所述第2分束器上反射或者透过，从所述第2分束器朝向与从所述分支用分束器向所述第2分束器的所述第2分支光的输入方向不同的方向输出所述第2分支光，所述第2镜在垂直于所述第2镜的反射面的方向上移动自如，所述干涉光学系统在所述第1分支光的光路上包含所述第1分支光以及所述第2分支光各自的反射的次数之和成为偶数的光学元件。2.如权利要求1所述的干涉观察装置，其特征在于：所述干涉光学系统在所述第1分支光的光路上包含作为所述光学元件的第1分束器以及第1镜，使从所述分支用分束器到达所述第1分束器的所述第1分支光在所述第1分束器上透过或者反射之后被所述第1镜反射，使被所述第1镜反射并到达所述第1分束器的所述第1分支光在所述第1分束器上反射或者透过，从所述第1分束器朝向与从所述分支用分束器向所述第1分束器的所述第1分支光的输入方向不同的方向输出所述第1分支光。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：山内丰彦，山田秀直，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP