分光传感器制造技术
Spectroscopic sensor
Light sensor (1) has a cavity layer (21) and through the cavity layer (21) and the relative first and second mirror layer (22,23) and the corresponding interference filter in the incident position selectively specified wavelength range of light (20), is arranged on the first mirror layer (22) the side and the incident to the interference filter part (20) of the light through the light passes through the substrate (3), is arranged on the second mirror layer (23) side and detection through the interference filter part (20) of the light light detection substrate (4), is arranged on the interference filter part (20) and a light transmission the substrate (3) coupled between the first layer (11). The cavity layer (21) and the first coupling layer (11) are silicon oxide films.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及分光传感器。
技术介绍
作为现有的分光传感器，已知有具备对应于光的入射位置而使规定的波长的光透过的干涉滤光（filter）部、使入射到干涉滤光部的光透过的光透过基板、检测透过了干涉滤光部的光的光检测基板的分光传感器。在此，干涉滤光部有时通过经由空腔层（cavitylayer）而使一对镜层相对而被构成为法布里-珀罗型（例如参照专利文献1、2）。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-58301号公报专利文献2：日本特表平2-502490号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在以上所述那样的分光传感器中，如果作为空腔层或被配置于干涉滤光部与光透过基板之间的耦合层等的材料而使用树脂材料的话，则会有空腔层或耦合层等起因于使用环境的温度变化或湿度的高低等而发生劣化的担忧。因此，本专利技术的目的在于提供一种高可靠性的分光传感器。解决问题的技术手段本专利技术的一个观点的分光传感器具备：具...
【技术保护点】
一种分光传感器，其特征在于：具备：干涉滤光部，具有空腔层以及经由所述空腔层而相对的第1以及第2镜层，对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过；光透过基板，被配置于所述第1镜层侧，使入射到所述干涉滤光部的光透过；光检测基板，被配置于所述第2镜层侧，检测透过了所述干涉滤光部的光；第1耦合层，被配置于所述干涉滤光部与所述光透过基板之间，所述空腔层以及所述第1耦合层是硅氧化膜。
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】2011.10.04 JP 2011-2201811.一种分光传感器，其特征在于：
具备：
干涉滤光部，具有空腔层以及经由所述空腔层而相对的第1以及
第2镜层，对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过；
光透过基板，被配置于所述第1镜层侧，使入射到所述干涉滤光
部的光透过；
光检测基板，被配置于所述第2镜层侧，检测透过了所述干涉滤
光部的光；
第1耦合层，被配置于所述干涉滤光部与所述光透过基板之间，
所述空腔层以及所述第1耦合层是硅氧化膜。
2.如权利要求1所述的分光传感器，其特征在于：
所述空腔层是由硅的热氧化处理形成的硅氧化膜。
技术研发人员：柴山胜己，笠原隆，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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