光检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于：具备：法布里-珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)；光检测器(3)，检测透过光透过区域(11)的光；垫片(4A,4B)，在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10)；芯片键合树脂(5)，粘结法布里-珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具备法布里-珀罗干涉滤光片的光检测装置。
技术介绍
例如在专利文献1中记载有现有的光检测装置。在该光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤光片通过粘结部被固定于具有贯通孔的支撑基板的一方的面上。另外，在光检测装置中，在支撑基板的另一方的面上受光元件被配置于对应于贯通孔的位置。在像这样的光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤光片只让特定波长的光透过。透过干涉滤光片的光通过支撑基板的贯通孔入射到受光元件。法布里-珀罗干涉滤光片具有夹住空隙并进行相对的一对反射镜。法布里-珀罗干涉滤光片进行透过的光的波长对应于该一对反射镜之间的距离而发生变化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利申请公开2012-173347号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在以上所述那样的光检测装置中，粘结部是以围绕法布里-珀罗干涉滤光片的光透过区域的形式被配置的。关于该结构，在光检测装置的周围的温度发生变化的情况下例如在支撑基板等会发生热应变(thermalstrain)，该热应变会传递到法布里-珀罗干涉滤光片。因此，会担忧法布里-珀罗干涉滤光片的一对反射镜之间的距离发生变化。在此情况下，在法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长上产生变化。因此，法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性发生劣化。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性发生劣化的光检测装置。解决技术问题的手段本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置的特征在于：具备：法布里-珀罗干涉滤光片，具有光透过区域；光检测器，检测透过光透过区域的光；支撑构件，在光透过区域的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片；粘结部，粘结法布里-珀罗干涉滤光片和支撑构件；粘结部在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的开口部。在该光检测装置中，粘结法布里-珀罗干涉滤光片和支撑构件的粘结部在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下具有连通光透过区域的周围区域的内侧和该周围区域的外侧的开口部。为此，对于开口部来说能够抑制来自法布里-珀罗干涉滤光片的周边构件的热应变通过粘结部而传递到法布里-珀罗干涉滤光片。因此，能够抑制法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性的劣化。在此，本专利技术的一个形态所涉及的光检测器进一步具备连接相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片被电连接的引线(wire)的一端并且相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片输入或者输出电信号的引线连接部，引线连接部的上面也可以被配置于低于法布里-珀罗干涉滤光片的上面的位置。如果由该结构的话则会变得容易实行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。另外，引线连接部的上面也可以被配置于低于支撑构件的上面的位置。如果由该结构的话则会变得容易实行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。另外，引线连接部包含被电连接于光检测器的第1引线连接部、被电连接于法布里-珀罗干涉滤光片的第2引线连接部，第1引线连接部与法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第1方向也可以相对于第2引线连接部与法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第2方向进行交叉。如果由该结构的话则能够防止引线的配置发生复杂化，并且能够提高引线键合的操作性。另外，粘结部在从透过方向来看的情况下也可以被设置于法布里-珀罗干涉滤光片的一方侧和邻接于其的一方侧。如果由该结构的话则能够稳定设置法布里-珀罗干涉滤光片。在此，本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置进一步具备配线基板，光检测器以及支撑构件也可以被固定于配线基板上。如果由该结构的话则能够抑制来自法布里-珀罗干涉滤光片的周边构件的热应变从配线基板通过支撑构件以及连接部而传递到法布里-珀罗干涉滤光片。另外，在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，支撑构件也可以被固定于光检测器上。如果由该结构的话则能够抑制来自法布里-珀罗干涉滤光片的周边构件的热应变从配线基板通过光检测器以及连接部而传递到法布里-珀罗干涉滤光片。另外，在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，粘结部在从透过方向来看的情况下也可以只被设置于法布里-珀罗干涉滤光片的一方侧。如果由该结构的话则能够在法布里-珀罗干涉滤光片的一方侧以外抑制来自被配置于法布里-珀罗干涉滤光片周边的构件的热应变通过连接部而传递到法布里-珀罗干涉滤光片。另外，在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，支撑构件在从透过方向来看的情况下也可以具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的开口部。如果由该结构的话则为了让光检测器等元件的为了电连接的引线键合穿过而能够利用支撑构件所具有的开口部。为此，在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下，能够将光检测器等元件的为了电连接的引线键合配置于与法布里-珀罗干涉滤光片相重叠的位置。因此，能够对光检测装置整体实施小型化。另外，在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤光片具有键合焊垫，支撑构件在从透过方向来看的情况下也可以被配置于对应于键合焊垫的位置。如果由该结构的话则在光检测装置制造时的引线键合工序中，法布里-珀罗干涉滤光片的键合焊垫被在对应于该键合焊垫的位置进行设置的支撑构件支撑。因此，能够提高引线键合性。另外，在本专利技术的一个方式所涉及的光检测装置中，支撑构件在从透过方向来看的情况下也可以从光透过区域分开。如果由该结构的话则支撑构件与光透过区域分开。因此，在光检测装置制造时，即使是在被用于粘结部的树脂等材料从粘结部溢出的情况下也能够抑制该树脂等材料渗透侵入到光透过区域。专利技术效果根据本专利技术就变得能够提供一种能够抑制法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性发生劣化的光检测装置。附图说明图1是第1实施方式所涉及的光检测装置的分解立体图。图2是法布里-珀罗干涉滤光片的截面图。图3是表示第1实施方式所涉及的光检测装置制造工序的平面图。图4是延续图3的第1实施方式所涉及的光检测装置制造工序的平面图。图5是延续图4的第1实施方式所涉及的光检测装置制造工序的平面图。图6是对应于图5(B)的侧面图。图7是图5(B)中的VII-VII线截面图放大表示其一部分的示意图。图8是延续图5的第1实施方式所涉及的光检测装置制造工序的平面图。图9是表示第1实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光检测装置，其特征在于：具备：法布里‑珀罗干涉滤光片，具有光透过区域；光检测器，检测透过所述光透过区域的光；支撑构件，在所述光透过区域的周围区域支撑所述法布里‑珀罗干涉滤光片；粘结部，粘结所述法布里‑珀罗干涉滤光片和所述支撑构件；在从所述光透过区域中的光的透过方向看的情况下，所述粘结部具有连通所述周围区域的内侧和所述周围区域的外侧的开口部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.31 JP 2013-2272861.一种光检测装置，其特征在于：
具备：
法布里-珀罗干涉滤光片，具有光透过区域；
光检测器，检测透过所述光透过区域的光；
支撑构件，在所述光透过区域的周围区域支撑所述法布里-珀罗干
涉滤光片；
粘结部，粘结所述法布里-珀罗干涉滤光片和所述支撑构件；
在从所述光透过区域中的光的透过方向看的情况下，所述粘结部
具有连通所述周围区域的内侧和所述周围区域的外侧的开口部。
2.如权利要求1所述的光检测装置，其特征在于：
进一步具备引线连接部，其连接于相对于所述光检测器或者所述
法布里-珀罗干涉滤光片被电连接的引线的一端并且相对于所述光检测
器或者所述法布里-珀罗干涉滤光片输入或者输出电信号，
所述引线连接部的上表面被配置于低于所述法布里-珀罗干涉滤光
片的上表面的位置。
3.如权利要求2所述的光检测装置，其特征在于：
所述引线连接部的上表面被配置于低于所述支撑构件的上表面的
位置。
4.如权利要求2或者3所述的光检测装置，其特征在于：
所述引线连接部包含被电连接于所述光检测器的第1引线连接部
和被电连接于所述法布里-珀罗干涉滤光片的第2引线连接部，
所述第1引线连接部与所述法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最
短的第1方向，...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴山胜己，笠原隆，广瀬真树，川合敏光，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP