【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种紧固夹具，其在将2片以上的硬质基板彼此用粘接剂贴合而得的硬质基板层叠体的蚀刻工序中用于固定所述层叠体，?具备将所述层叠体的两表面的整面在厚度方向进行按压的2片板状部、固定所述2片板状部的多个螺栓部和螺母部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江田幸雄，武间淳一郎，栗村启之，伊林敏成，
申请(专利权)人：电气化学工业株式会社，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。