【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
多片双面薄膜快速沉积装置,包括基片台[1]、传动机构[6]、基片台[1]和传动机构[6]连接,其特征在于,还包括两个靶材盒[7],所述基片台[1]设置有至少两个通孔[2],通孔[2]的两端设置有点式限位机构[4],基片台[1]设置于第一加热片[15]和第二加热片[16]之间的加热腔中,第一加热片[15]和第二加热片[16]设置有作为沉积区的开口,开口位置与基片台[1]上的通孔[2]位置适配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陶伯万,熊杰,朱昌伟,徐亚新,李言荣,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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