结合式微机电麦克风及其制造方法技术

技术编号:7901851 阅读:181 留言:0更新日期:2012-10-23 14:04
本发明专利技术提供一种结合式微机电麦克风,其包括有一第一基板、一第二基板、一振膜、一背板及一容置槽。第一基板具有一第一腔室,振膜设置第一腔室上,第二基板具有一第二腔室,背板一侧设置于第二腔室上,另一侧设置于振膜,以使第二基板结合于第一基板上,且背板具有数个音孔,容置槽设置于第一基板与该第二基板之间,用以使振膜与背板之间形成一空间。本发明专利技术提供的技术方案能够使振膜的中央部份容置于基板预先成型的容置槽,使得振膜在槽内受到保护,据以提升整体结构强度,非常适于实用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种结合式微机电麦克风,其特征在于包括:一第一基板,是具有一第一腔室;一振膜,是设置该第一腔室上;一第二基板,是具有一第二腔室;一背板,是一侧设置于该第二腔室上,另一侧设置于该振膜,以使该第二基板结合于该第一基板上,且该背板具有数个音孔;以及一容置槽,是设置于该第一基板与该第二基板之间,用以使该振膜与该背板之间形成一空间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈弘仁邱冠勋李国祥陈永达
申请(专利权)人:美律实业股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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