The invention provides a substrate storage container management system, a loading port and a substrate storage container management method. The base plate storage container management system, which can predict the replacement period of the base plate storage container such as FOUP caused by the deterioration of the use, is not implemented by setting the base plate storage container such as sensors, but by using the current general base plate storage container. Through the loading port (2) which can process the substrate (W) relative to the substrate storage container with moving out and moving in (41), i.e. FOUP (4), read the ID (4x) for individual identification attached to FOUP, send the ID for individual identification and the sensor value of the sensor (2C) set at the loading port to the upper system (c), in the upper system, associate the ID for individual identification and the sensor value, store and Reserve in the database (CD), analyze the data in the database and output the status of FOUP with ID for each individual identification.
【技术实现步骤摘要】
基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法
本专利技术涉及对能够收纳晶片的容器(基板收纳容器)的劣化信息进行管理的基板收纳容器管理系统、以及能够应用于基板收纳容器管理系统的装载端口、以及基板收纳容器管理方法。
技术介绍
在半导体的制造工序中,为了提高成品率、品质,在洁净室内进行晶片的处理。近年来,采用仅对晶片的周围的局所的空间进一步提高清洁度的“小型围绕方式”,并采用晶片的搬运及其它处理的措施。在小型围绕方式中,在箱体的内部构成大致封闭的晶片搬运室(以下“搬运室”)的壁面的一部分,并且载置在高清洁的内部空间收纳有晶片的容器即FOUP(Front-OpeningUnifiedPod),在搬运室相邻地设有装载端口(LoadPort),该装载端口具有在贴紧于FOUP的门(以下“FOUP门”)的状态下使该FOUP门开闭的功能。装载端口是用于在与搬运室之间进行晶片的出入的装置,作为搬运室与FOUP之间的接口部发挥功能。并且,构成为,若能够与FOUP门卡合来使FOUP门开闭的装载端口的门(以下为“装载端口门”)敞开,则通过配置在搬运室内的搬运机器人(晶片搬运装置),能够向搬运室内取出FOUP内的晶片、或者将晶片从搬运室内收纳到FOUP内。并且,在半导体的制造工序中,为了适当地维持晶片周边的气氛,使用上述的称为FOUP的储存筒,在FOUP的内部容纳晶片来进行管理。尤其是近年来,促进了元件的高集成化、电路的细微化,要求将晶片周边维持为高清洁度,以免产生颗粒、水分向晶片表面的附着。因此,为了不使晶片表面氧化等 ...
【技术保护点】
1.一种基板收纳容器管理系统,其特征在于,具备:/n装载端口,其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理,具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器;/n关联机构,其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来;/n数据库,其储备由上述关联机构关联了的数据;以及/n数据处理部,其解析上述数据库内的上述数据,并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。/n
【技术特征摘要】
20180524 JP 2018-099494;20190225 JP 2019-0317891.一种基板收纳容器管理系统,其特征在于,具备:
装载端口,其相对于基板收纳容器能够进行基板的出入处理,具有能够读取附加于上述基板收纳容器的个体识别用ID的ID读取机构和直接或者间接地检测上述基板收纳容器的状态的传感器;
关联机构,其将由上述ID读取机构读取出的上述个体识别用ID与由上述传感器检测出的传感器值相互关联起来;
数据库,其储备由上述关联机构关联了的数据;以及
数据处理部,其解析上述数据库内的上述数据,并输出每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器管理系统,其特征在于,
上述数据处理部具备:
计算机构,其根据由特定的上述传感器检测出的传感器值计算统计数据;
比较机构,其对与特定的上述个体识别用ID相关联的传感器值和由上述计算机构计算出的计算结果进行比较;以及
状态输出机构,其基于由上述比较机构比较出的结果来输出上述基板收纳容器的状态。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器管理系统,其特征在于,
上述装载端口具备多种上述传感器,
上述关联机构能够将上述个体识别用ID与由多种上述传感器检测出的多种上述传感器值相互关联起来。
4.根据权利要求1~3任一项中所述的基板收纳容器管理系统,其特征在于,
还具备动作调整部,该动作调整部基于上述数据处理部输出的每个上述个体识别用ID的上述基板收纳容器的状态,对上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控制值进行调整。
5.根据权利要求1~3任一项中所述的基板收纳容器管理系统,其特征在于,
上述关联机构能够将上述个体识别用ID、与在上述基板收纳容器的处理时产生的错误相关的信息以及与对储存在上述基板收纳容器中的上述基板进行的处理相关的信息中的至少任一方的信息相互关联起来,
还具备动作调整部,该动作调整部基于储备在上述数据库中的每个上述个体识别用ID的上述至少任一方的信息,来调整上述装载端口的与上述基板收纳容器的处理相关的控...
【专利技术属性】
技术研发人员:伊藤泉,水谷友哉,
申请(专利权)人:昕芙旎雅有限公司,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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