一种晶圆键合封装手套箱制造技术

本发明专利技术公开一种晶圆键合封装手套箱，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。本发明专利技术通过在键合机上设置手套箱，通过对手套箱内部进行一系列参数控制，在手套箱内部进行键合材料的处理，解决了键合材料易被氧化、易被水蒸气反应，无法完成键合实验的问题。

A glove box for wafer bonding packaging

The invention discloses a glove box for wafer bonding package, which comprises an operating table, a circulating fan, a display screen, a transition cabinet and a glove box control cabinet. The operating table is arranged in a glove box. The circulating fan, a display screen and a transition cabinet are respectively connected with the operating table. The glove box control cabinet is used for electrical control of the glove box. By setting glove box on bonding machine, controlling a series of parameters inside glove box and processing bonding material inside glove box, the problem of bonding material being easily oxidized, easily reacted by water vapor and unable to complete bonding experiment is solved.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆键合封装手套箱
本专利技术涉及微系统晶圆键合领域。更具体地，涉及一种晶圆键合封装手套箱。
技术介绍
随着科技的发展，对元器件的尺寸、精度都提出了高要求。晶圆键合是半导体制造领域的一项新兴技术，一个晶圆上可实现多个微型元器件的封装或互连，在电子、航空航天、通信等领域具有广泛应用。晶圆键合机可实现阳极键合、金属键合、玻璃浆料键合等。对现有的晶圆键合研究，在键合机腔室内部可实现高真空、低水氧环境，然而材料从外部环境转移到腔室内部过程中，无法实现高真空、低水氧环境，对于需要这些环境的材料，将无法完成键合实验。因此，需要提供一种晶圆键合封装手套箱。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种晶圆键合封装手套箱，解决原始材料易被氧化、易被水蒸气反应，手套箱尺寸太大时水氧含量极限值大，易漏气，维护成本高等问题。为达到上述目的，本专利技术采用下述技术方案：一种晶圆键合封装手套箱，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。进一步地，所述操作台内设有传送台，键合机的真空腔设于所述手套箱侧方，键合材料通过所述传送台传至真空腔。进一步地，所述操作台的正面和背面均为透明钢化玻璃，玻璃上嵌有手套，用于对原始材料进行操作。进一步地，所述循环风机设于所述操作台上方，用于对所述操作台内部环境进行清洁。进一步地，所述手套箱内还设有测氧器，与所述显示屏连接，所述显示屏用于显示所述手套箱内部的氧气含量。进一步地，所述过渡舱内环境与所述操作台内环境相同，所述过渡舱用于将键合材料通过过渡舱传递至手套箱内部。进一步地，所述手套箱下方设有键合机的真空腔并与操作台连通，键合材料由操作台通过开启真空腔上盖装载至真空腔内。进一步地，所述真空腔上盖开启后高度小于所述手套箱高度。进一步地，所述手套箱内还设有压力传感器和湿度传感器，分别与所述手套箱控制柜连接，用于检测手套箱内的压强和湿度。本专利技术的有益效果如下：本专利技术所述技术方案通过在键合机上设置手套箱，通过对手套箱内部进行一系列参数控制，在手套箱内部进行键合材料的处理，解决了键合材料易被氧化、易被水蒸气反应，无法完成键合实验的问题。附图说明下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明；图1为本专利技术实施例的一种晶圆键合封装手套箱结构示意图；图2为本专利技术实施例的另一种晶圆键合封装手套箱结构示意图。具体实施方式为了更清楚地说明本专利技术，下面结合优选实施例和附图对本专利技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本专利技术的保护范围。如图1所示，本专利技术公开一种晶圆键合封装手套箱，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。所述操作台内设有传送台，键合机的真空腔设于所述手套箱侧方，键合材料通过所述传送台传至真空腔。所述手套箱操作台，将键合机传送台放置入内，键合机传送台部分保持超高洁净度、超低水氧含量。所述手套箱操作台的正面和背面都为透明钢化玻璃，玻璃上嵌有手套用于对原始材料操作。所述手套箱循环风机，对手套箱操作台的内部环境进行循环，用于过滤灰尘提高洁净度，吸收水氧减少水氧含量。手套箱内还设有测氧器，与所述显示屏连接，手套箱显示屏显示手套箱内部水气和氧气的含量。所述手套箱过渡舱，将微型气室的制作材料通过过渡舱传递至手套箱内部。从过渡舱传递到手套箱过程中，过渡舱内的环境与手套箱内环境相同。所述手套箱控制柜，手套箱的电气控制，控制手套箱正常循环，箱压处于正常范围。如图2所示，本专利技术公开了另一种晶圆键合封装手套箱，这种手套箱内不含有传送台，包括手套箱操作台、手套箱循环风机、显示屏、过渡舱、手套箱控制柜等。所述手套箱操作台，键合机真空腔部分保持超高洁净度、超低水氧含量。所述手套箱操作台的正面和背面都为透明钢化玻璃，玻璃上嵌有手套用于对原始材料操作。所述手套箱高度要高于真空腔上盖打开后的高度。所述手套箱循环风机，将对手套箱操作台的内部环境进行循环，用于过滤灰尘提高洁净度，吸收水氧减少水氧含量。所述手套箱显示屏，显示手套箱内部水气和氧气的含量。所述手套箱过渡舱，将微型气室的制作材料通过过渡舱传递至手套箱内部。从过渡舱传递到手套箱过程中，过渡舱内的环境与手套箱内环境相同。所述手套箱控制柜，手套箱的电气控制，控制手套箱正常循环，箱压处于正常范围。所述手套箱内还设有压力传感器和湿度传感器，分别与所述手套箱控制柜连接，用于检测手套箱内的压强和湿度。本专利技术所述技术方案通过在键合机上设置手套箱，通过对手套箱内部进行一系列参数控制，在手套箱内部进行键合材料的处理，解决了键合材料易被氧化、易被水蒸气反应，无法完成键合实验的问题。本领域的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、装置(设备)、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。本申请是参照根据本申请实施例的方法、装置(设备)和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。显然，本专利技术的上述实施例仅仅是为清楚地说明本专利技术所作的举例，而并非是对本专利技术的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本专利技术的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本专利技术的保护范围之列。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆键合封装手套箱，其特征在于，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合封装手套箱，其特征在于，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。2.根据权利要求1所述的手套箱，其特征在于，所述操作台内设有传送台，键合机的真空腔设于所述手套箱侧方，键合材料通过所述传送台传至真空腔。3.根据权利要求2所述的手套箱，其特征在于，所述操作台的正面和背面均为透明钢化玻璃，玻璃上嵌有手套，用于对原始材料进行操作。4.根据权利要求2所述的手套箱，其特征在于，所述循环风机设于所述操作台上方，用于对所述操作台内部环境进行清洁。5.根据权利要求2所述的手套箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈星，张振伟，张旭，杨仁福，
申请(专利权)人：北京无线电计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11