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本发明公开一种晶圆键合封装手套箱，包括：操作台、循环风机、显示屏、过渡舱及手套箱控制柜，所述操作台设于手套箱内，所述循环风机、显示屏、过渡舱分别与所述操作台连接，所述手套箱控制柜用于对手套箱进行电气控制。本发明通过在键合机上设置手套箱，通过...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。

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