The invention relates to the technical field of liquid crystal display, and discloses a mask plate and a manufacturing method and a manufacturing method of a color filter. The mask plate comprises a glass substrate and a film layer arranged on the glass substrate. The film layer comprises a transparent film body and a black opaque film body formed on the transparent film body. Patterns; The manufacturing method of the color filter can choose to use the mask plate instead of the existing Cr mask plate in the manufacturing process of the black matrix. In the manufacturing process of RGB, the glass substrate containing the black matrix produced by the mask plate is used as the mask plate in the manufacturing process of RGB, thus effectively reducing the Cr mask. The number of film plates is used to reduce the manufacturing cost of color filters and reduce environmental pollution.
【技术实现步骤摘要】
掩膜版及其制造方法和彩色滤光片的制造方法
本专利技术涉及液晶显示
,具体而言涉及一种掩膜版及其制造方法和彩色滤光片的制造方法。
技术介绍
彩色滤光片(CF,ColorFilter)的制造方法有两种技术,IPS和TN模式;在TN和IPS模式中的彩色滤光片的制造方法中,都需要用到至少3片Mask(掩膜版),其中制造黑色矩阵基片需要使用一片掩膜版、RGB制造过程至少需要使用一片掩膜版、PS制造过程还需要使用一片掩膜版。众所周知,现有的Cr掩膜版的生产制造成本较高,这也造成了彩色滤光片制造成本的增加,因此,如果可以减少Cr掩膜版的使用数量,对于CF的成本降低有很大的作用;并且Cr掩膜版的生产过程中,需要使用重金属Cr,对环境不友好,如果可以减少Cr掩膜版的使用数量,还可以降低对环境的危害。
技术实现思路
本专利技术的目的是一种掩膜版及其制造方法以及彩色滤光片的制造方法,所述掩膜版制造工艺简单、成本低廉并且不含有重金属Cr,使用所述掩膜版制造彩色滤光片能够有效降低成本和对环境的危害。为了实现上述目的,本专利技术一方面提供一种掩膜版,该掩膜版包括玻璃基板和设置于所述玻璃基板上的薄膜层,所述薄膜层包括透光薄膜本体和形成于所述透光薄膜本体上的黑色不透光图案。本专利技术的掩膜版结构简单、制造成本低廉,能够代替现有的Cr掩膜版用于彩色滤光片的制造工艺中,由于不含有重金属Cr,因此,不仅成本低还对环境友好。优选地,所述玻璃基板为石英玻璃基板;所述黑色不透光图案通过设置于所述透光薄膜本体上的部分位置上的黑色不透光介质形成,所述黑色不透光介质为黑色光刻胶。根据本专利技术的另一方面 ...
【技术保护点】
1.一种掩膜版,其特征在于,该掩膜版包括玻璃基板和设置于所述玻璃基板上的薄膜层,所述薄膜层包括透光薄膜本体和形成于所述透光薄膜本体上的黑色不透光图案。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版,其特征在于,该掩膜版包括玻璃基板和设置于所述玻璃基板上的薄膜层,所述薄膜层包括透光薄膜本体和形成于所述透光薄膜本体上的黑色不透光图案。2.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述玻璃基板为石英玻璃基板;所述黑色不透光图案通过设置于所述透光薄膜本体上的部分位置上的黑色不透光介质形成,所述黑色不透光介质为黑色光刻胶。3.一种掩膜版的制造方法,其特征在于,所述掩膜版为根据权利要求1或2所述的掩膜版,所述制造方法包括:步骤一:清洗所述玻璃基板,在所述透光薄膜本体上的部分位置印刷黑色不透光介质浆料、然后烘干以在所述透光薄膜本体上形成黑色不透光图案;步骤二:将形成有所述黑色不透光图案的透光薄膜设置于清洗干净的所述玻璃基板上。4.根据权利要求3所述的掩膜版的制造方法,其特征在于,所述步骤二包括:在干净的所述玻璃基板上涂覆黑色光刻胶,将形成有所述黑色不透光图案的透光薄膜放置于所述玻璃基板上以与所述玻璃基板黏结。5.一种彩色滤光片的制造方法,该制造方法包括:步骤一:清洗玻璃基片;步骤二:在清洗干净的所述玻璃基片上涂覆一层黑色光刻胶,将第一掩膜版放置于所述玻璃基片上方,然后进行曝光、显影和烘烤,以在所述玻璃基片上形成黑色矩阵,从而形成黑色矩阵基片;步骤三:在所述黑色矩阵基片上涂覆第一彩色光刻胶,将第二掩膜版放置于所述黑色矩阵基片上方,然后进行曝光、显影和烘烤,以形成第一彩色像素单元,从而形成第一彩色像素基片;其特征在于,所述第一掩膜版和所述第二掩膜版中至少一者为根据权利要求1或2所述的掩膜版;或者,所述第一掩膜版和所述第二掩膜版中至少一者为掩膜用黑色矩阵基片,所述掩膜用黑色矩...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚园,
申请(专利权)人:东旭昆山显示材料有限公司,东旭集团有限公司,东旭科技集团有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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