挂载装置和磁控溅射镀膜系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及挂载装置领域，公开了一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。上述挂载装置利用磁悬浮原理使安装架不与上导轨和下导轨接触，使得安装架在移动过程中始终悬浮在导轨上，移动过程平稳，避免安装架振动，从而避免安装架中所挂载的工件(例如，玻璃基板等)移动、形变或者破裂，提高成品的质量。

【技术实现步骤摘要】
挂载装置和磁控溅射镀膜系统
本技术涉及挂载装置领域，具体地涉及一种挂载装置和磁控溅射镀膜系统。
技术介绍
薄膜技术能够赋予材料表面新的机械功能、装饰功能和各种特殊的声、光、电、磁及其转换功能等，因此，薄膜技术在许多领域得到了应用。磁控溅射技术由于其沉膜温度较低、沉膜均匀性好等特点在各种功能性薄膜领域、装饰领域、机械加工领域、光学领域等得到了大量的应用。特别是近年来透明导电玻璃被广泛运用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等上面，磁控溅射技术更多的被开发和运用于透明导电玻璃的制备上。传统的磁控溅射镀膜制程中，挂载装置在运送基板行进的过程中，由于传送导轨间有高低差、传送导轨变形、挂载装置和导轨接触面不平、导向轮与挂载装置间的摩擦和碰撞、电机的启动和停止过程等因素会使挂载装置发生震动，导致基板在挂载装置上移动或发生形变，基板较薄时往往还会发生基板破裂，基板在制程腔体内破裂清理十分麻烦，浪费大量的时间，影响生产制造的正常进行，降低生产效率，增加生产成本。因此，希望有一种挂载装置能够克服或者至少减轻现有技术的上述缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种挂载装置，其特征在于，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种挂载装置，其特征在于，所述挂载装置包括上导轨(1)、下导轨(2)以及安装在所述上导轨(1)和所述下导轨(2)之间的安装架(3)，其中，所述安装架(3)的上端通过上磁悬浮结构安装于所述上导轨(1)，所述安装架(3)的下端通过下磁悬浮结构安装于所述下导轨(2)。


2.根据权利要求1所述的挂载装置，其特征在于，所述下磁悬浮结构包括用于使得所述安装架(3)悬浮于安装于所述下导轨(2)的悬浮部和用于推动所述安装架(3)沿所述下导轨(2)移动的推进部。


3.根据权利要求2所述的挂载装置，其特征在于，所述下磁悬浮结构包括用于引导所述安装架(3)沿所述下导轨(2)移动的导向部。


4.根据权利要求3所述的挂载装置，其特征在于，所述下导轨(2)形成有安装块(21)，所述安装架(3)的下端形成有安装于所述安装块(21)的安装槽(32)，所述安装槽(32)的尺寸大于所述安装块(21)的尺寸以预留悬浮空间。


5.根据权利要求4所述的挂载装置，其特征在于，
所述悬浮部包括设置于所述安装块(21)的导轨悬浮线圈(61)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨悬浮线圈(61)对应的位置的安装架悬浮线圈(62)；
所述推进部包括设置于所述安装块(21)的导轨推进线圈(41)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨推进线圈(41)对应的位置的安装架推进线圈(42)；以及
所述导向部包括设置于所述安装块(21)的导轨导向线圈(51)和设置于所述安装槽(32)与所述导轨导向线圈(51)对应的位置的安装架导向线圈(52)。


6.根据权利要求5所述的挂载装置，其特征在于，
所述导轨悬浮线圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈富松，方政，
申请(专利权)人：东旭昆山显示材料有限公司，东旭光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32