湿法链式刻蚀槽进液结构制造技术

本发明专利技术涉及一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。本发明专利技术能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。

【技术实现步骤摘要】
湿法链式刻蚀槽进液结构
本专利技术涉及一种用于太阳能光伏湿法链式刻蚀机，尤其是一种湿法链式刻蚀槽进液结构。
技术介绍
太阳能电池制造经过扩散形成PN结后，需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，太阳能光伏湿法链式刻蚀机在使用中存在以下问题：现有的湿光链式刻蚀机的湿刻槽一般采用进液管的方式进行进液，如图1-1、图1-2所示，在湿刻槽槽体1a的底部连接多个进液管路2a，进液管路2a通过阀门3a连接多个进液管支路4a，进液管支路4a连接进液管5a的进口端，进液管5a设置于液刻槽槽体1a内侧底部，在进液管5a的下方排列有多个圆孔出液孔6a。上述的湿刻槽主要有以下缺陷：液体从进液管5a上的出液孔6a流出，管路易聚集气体从出液孔6a流出，硅片在刻蚀液中行走过程中，气泡浮出液面炸开会使硅片的正面粘液，造成硅片表面产生气泡印，造成硅片降级或形成不良片。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种湿法链式刻蚀槽进液结构，能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。按照本专利技术提供的技术方案，所述湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。进一步地，在所述进液盒的内部设置有内衬板，内衬板的底部与进液盒的下部密封连接，内衬板的顶端与进液盒的上部之间具有出液间隙。进一步地，在所述出液排孔的上方设置挡板。进一步地，所述挡板向下方倾斜45°角设置。进一步地，所述出液排孔采用两排或多排。进一步地，在相邻的出液排孔之间设置有挡板。进一步地，所述挡板的宽度从上至下依次减小。进一步地，所述进液盒、内衬板和挡板采用PVDF材质。进一步地，在所述进液管路上设置阀体。本专利技术具有以下优点：（1）本专利技术能够保证进液过程液面稳定，使进液更加均匀，提高槽体进液稳定性，能够极大地减缓气泡的流出；（2）本专利技术通过挡片的设计能够阻挡气泡浮出液面炸开使硅片粘液，避免硅片表面产生气泡印而降级；（3）本专利技术能够提高设备稳定性，增加工艺调试稳定性，并用设备改造成本低，改造结构简单方便、易操作。附图说明图1-1为现有技术中湿刻槽槽体的示意图。图1-2为现有技术中湿刻槽体内进结构的示意图。图2为本专利技术所述湿法链式刻蚀槽的结构示意图。图3为本专利技术所述湿法链式刻蚀槽进液结构的示意图。图4-1为所述进液盒的内部示意图。图4-2为所述进液盒上出液排孔的示意图。图4-3为所述进液盒的俯视图。附图标记说明：1-湿刻槽槽体、2-进液盒、3-出液排孔、4-内衬板、5-出液间隙、6-进液口、7-进液管路、8-阀体、9-挡板。具体实施方式下面结合具体附图对本专利技术作进一步说明。实施例一：如图2、图3所示，本专利技术所述湿法链式刻蚀槽进液结构包括设置于湿刻槽槽体1底部的进液盒2，进液盒2设置于远离硅片进料方向的一侧；如图4-1、图4-2、图4-3所示，在所述进液盒2朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔3，在进液盒2的内部设置有内衬板4，内衬板4的底部与进液盒2的下部密封连接，内衬板4的顶端与进液盒2的上部之间具有出液间隙5；所述进液盒2的底部设置进液口6，进液盒2通过进液口6与进液管路7连接，以实现进液；在所述进液管路7上设置阀体8，用于控制进液。在进液过程中，液体从进液口6进入进液盒2内部，液体流向如图4-1所示，由内衬板4顶部的出液间隙5流向出液排孔3，由于出液排孔3位于远离硅片进料方向的一侧，并且出液排孔3朝向硅片进料方向进行出液，与硅片的进料方向相反，能够保证进液过程液面稳定，使进液更加均匀，提高槽体进液稳定性，能够极大地减缓气泡的流出。另外，在所述出液排孔3的上方设置挡板9，挡板9向下方倾斜45°角设置，当有少量气泡流出出液排孔3时，挡板9可以起到阻挡的作用，从而使气泡避开硅片，避免对硅片的影响。所述进液盒2、内衬板4和挡板9采用PVDF材质，能够抗腐蚀老化，增加使用寿命。实施例二：本专利技术所述湿法链式刻蚀槽进液结构包括设置于湿刻槽槽体1底部的进液盒2，进液盒2设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒2朝向硅片进料方向的一侧设置有两排或两排以上的出液排孔3，在进液盒2的内部设置有内衬板4，内衬板4的底部与进液盒2的下部密封连接，内衬板4的顶端与进液盒2的上部之间具有出液间隙5；所述进液盒2的底部设置进液口6，进液盒2通过进液口6与进液管路7连接，以实现进液；在所述进液管路7上设置阀体8，用于控制进液。在进液过程中，液体从进液口6进入进液盒2内部，液体流向如图4-1所示，由内衬板4顶部的出液间隙5流向出液排孔3，由于出液排孔3位于远离硅片进料方向的一侧，两排或多排的出液排孔3朝向硅片进料方向同时进行出液，与硅片的进料方向相反，能够保证进液过程液面稳定，使进液更加均匀，提高槽体进液稳定性，能够极大地减缓气泡的流出。另外，在所述出液排孔3的上方设置挡板9，挡板9向下方倾斜45°角设置，当有少量气泡流出出液排孔3时，挡板9可以起到阻挡的作用，从而使气泡避开硅片，避免对硅片的影响。所述进液盒2、内衬板4和挡板9采用PVDF材质，能够抗腐蚀老化，增加使用寿命。实施例三：本专利技术所述湿法链式刻蚀槽进液结构包括设置于湿刻槽槽体1底部的进液盒2，进液盒2设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒2朝向硅片进料方向的一侧设置有两排或两排以上的出液排孔3，在进液盒2的内部设置有内衬板4，内衬板4的底部与进液盒2的下部密封连接，内衬板4的顶端与进液盒2的上部之间具有出液间隙5；所述进液盒2的底部设置进液口6，进液盒2通过进液口6与进液管路7连接，以实现进液；在所述进液管路7上设置阀体8，用于控制进液。在进液过程中，液体从进液口6进入进液盒2内部，液体流向如图4-1所示，由内衬板4顶部的出液间隙5流向出液排孔3，由于出液排孔3位于远离硅片进料方向的一侧，两排或多排的出液排孔3朝向硅片进料方向同时进行出液，与硅片的进料方向相反，能够保证进液过程液面稳定，使进液更加均匀，提高槽体进液稳定性，能够极大地减缓气泡的流出。在相邻的出液排孔3之间以及最上排的出液排孔3上方均设置有挡板9，挡板9分别向下方倾斜45°角设置，当有少量气泡流出出液排孔3时，挡板9可以对每一排的出液排孔3均起到较好的阻挡作用，从而使气泡避开硅片，避免对硅片的影响。所述进液盒2、内衬板4和挡板9采用PVDF材质，能够抗腐蚀老化，增加使用寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体（1）底部的进液盒（2），进液盒（2）设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒（2）朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔（3），进液盒（2）的底部设置进液口（6），进液盒（2）通过进液口（6）与进液管路（7）连接。

【技术特征摘要】
1.一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体（1）底部的进液盒（2），进液盒（2）设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒（2）朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔（3），进液盒（2）的底部设置进液口（6），进液盒（2）通过进液口（6）与进液管路（7）连接。2.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述进液盒（2）的内部设置有内衬板（4），内衬板（4）的底部与进液盒（2）的下部密封连接，内衬板（4）的顶端与进液盒（2）的上部之间具有出液间隙（5）。3.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述出液排孔（3）的上方设置挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉，唐麟，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32