【技术实现步骤摘要】
一种闪光灯退火炉
本专利技术涉及一种退火炉，具体涉及一种用于无机非金属薄膜的闪光灯退火炉。
技术介绍
柔性及可拉伸电子学是当前电子学领域的研究热点，并且在柔性显示器、电子皮肤、柔性传感器以及可植入医疗器件等应用方面取得了进展。其中，实现无机非金属电子薄膜与有机柔性基底的集成是制备柔性电子的关键之一，然而要获得性能优良的柔性无机非金属电子薄膜，必须保证薄膜具有好的结晶性。而对于非晶的无机非金属电子薄膜而言，其内部存在大量缺陷、表面粗糙、性能差，甚至不再具备相应的功能特性。目前，在有机柔性基底上制备结晶的无机非金属电子薄膜的方法主要是转移法(即在硬质基底上制备出结晶薄膜，然后通过刻蚀掉基底实现到有机柔性基底上的转移)，转移方法制备的柔性结晶薄膜的附着性差、薄膜易碎裂脱落，且工艺复杂、价格昂贵，不适合大面积薄膜及器件制备和应用。在有机柔性基底上直接沉积无机非金属电子薄膜并实现其晶化是解决这些难题的唯一手段。但是，有机柔性基底的一个致命弱点是不耐高温，在130℃左右即开始变形甚至融化，而无机非金属电子薄膜的晶化温度一般需要在300℃以上，这给在有机柔性基底上制备结晶的无机...
【技术保护点】
1.一种闪光灯退火炉，包括壳体、真空腔和闪光灯，其特征在于，所述壳体(20)的内部为真空腔(1)，真空腔(1)的侧面设置有真空计(6)和进气阀(7)，真空腔(1)的底部设置有抽气阀(17)，真空腔(1)的另一侧面设置有真空腔门(18)，真空腔门(18)上设置有观察窗(19)；真空腔(1)的顶部两端分别设置有高能闪光灯(8)，每个高能闪光灯(8)还分别设置有锥形反光镜(9)和凸透镜(10)以实现高能光的聚集；真空腔(1)的中间部位设置有滤光片(11)，滤光片(11)通过滤光片支撑杆(12)与壳体相连接；滤光片(11)的下面设置有样品挡板(13)，样品挡板(13)通过挡板支架(...
【技术特征摘要】
1.一种闪光灯退火炉，包括壳体、真空腔和闪光灯，其特征在于，所述壳体(20)的内部为真空腔(1)，真空腔(1)的侧面设置有真空计(6)和进气阀(7)，真空腔(1)的底部设置有抽气阀(17)，真空腔(1)的另一侧面设置有真空腔门(18)，真空腔门(18)上设置有观察窗(19)；真空腔(1)的顶部两端分别设置有高能闪光灯(8)，每个高能闪光灯(8)还分别设置有锥形反光镜(9)和凸透镜(10)以实现高能光的聚集；真空腔(1)的中间部位设置有滤光片(11)，滤光片(11)通过滤光片支撑杆(12)与壳体相连接；滤光片(11)的下面设置有样品挡板(13)，样品挡板(13)通过挡板支架(14)支撑于真空腔内，并通过挡板支架(14)进行转动以遮挡和保护制品；样品挡板(13)的下面设置有样品台(15)，样品台(15)下面的中央位置设置有样品台转轴(16)，样品台(15)内设置水有水冷循环装置，样品台转轴(...
【专利技术属性】
技术研发人员：于仕辉，赵乐，刘荣闯，李玲霞，孙永涛，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津,12
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