湿法链式刻蚀槽进液结构制造技术

本发明专利技术涉及一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。本发明专利技术能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。

【技术实现步骤摘要】
湿法链式刻蚀槽进液结构
本专利技术涉及一种用于太阳能光伏湿法链式刻蚀机，尤其是一种湿法链式刻蚀槽进液结构。
技术介绍
太阳能电池制造经过扩散形成PN结后，需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，太阳能光伏湿法链式刻蚀机在使用中存在以下问题：现有的湿光链式刻蚀机的湿刻槽一般采用进液管的方式进行进液，如图1-1、图1-2所示，在湿刻槽槽体1a的底部连接多个进液管路2a，进液管路2a通过阀门3a连接多个进液管支路4a，进液管支路4a连接进液管5a的进口端，进液管5a设置于液刻槽槽体1a内侧底部，在进液管5a的下方排列有多个圆孔出液孔6a。上述的湿刻槽主要有以下缺陷：液体从进液管5a上的出液孔6a流出，管路易聚集气体从出液孔6a流出，硅片在刻蚀液中行走过程中，气泡浮出液面炸开会使硅片的正面粘液，造成硅片表面产生气泡印，造成硅片降级或形成不良片。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种湿法链式刻蚀槽进液结构，能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。按照本专利技术提供的技术方案，所述湿法链本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体（1）底部的进液盒（2），进液盒（2）设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒（2）朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔（3），进液盒（2）的底部设置进液口（6），进液盒（2）通过进液口（6）与进液管路（7）连接。

【技术特征摘要】
1.一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体（1）底部的进液盒（2），进液盒（2）设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒（2）朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔（3），进液盒（2）的底部设置进液口（6），进液盒（2）通过进液口（6）与进液管路（7）连接。2.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述进液盒（2）的内部设置有内衬板（4），内衬板（4）的底部与进液盒（2）的下部密封连接，内衬板（4）的顶端与进液盒（2）的上部之间具有出液间隙（5）。3.如权利要求1所述的湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：在所述出液排孔（3）的上方设置挡板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉，唐麟，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32