用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、采用载体的处理系统和从保持布置释放基板的方法技术方案

描述了一种用于保持基板(101)的保持布置(100)。保持布置包括主体(110)、粘合布置(130)和传力布置(140)。主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)。粘合布置(130)用于附接基板，其中粘合布置(130)提供在第一壁(120)的第一侧(121)上。传力布置(140)用于将力施加到第一壁(120)的第二侧(122)，第二侧(122)与第一壁(120)的第一侧(121)相对。

A retention arrangement for maintaining a substrate, including a carrier for maintaining the arrangement, a processing system using a carrier, and a method of releasing the substrate from the holding arrangement.

A retention arrangement (100) for maintaining a substrate (101) is described. The retaining arrangement includes main body (110), adhesive arrangement (130) and transfer arrangement (140). The main body (110) has a first wall (120) composed of flexible materials. The adhesive arrangement (130) is used for the attachment substrate, wherein the adhesive arrangement (130) is provided on the first side (121) of the first wall (120). The force transfer arrangement (140) is applied to the second side (122) of the first wall (120), and the second side (122) is opposite to the first side (121) of the first wall (120).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、采用载体的处理系统和从保持布置释放基板的方法
本公开内容的实施方式涉及一种用于保持基板的保持布置(holdingarrangement)、一种用于保持基板的载体、一种用于处理基板的处理系统、以及一种从保持布置释放基板的方法。本公开内容的实施方式具体地涉及一种用于在真空处理腔室中进行基板处理期间保持基板的保持布置、一种用于在真空处理腔室中保持基板的载体、一种包括沉积源的真空处理系统、以及一种用于在进行基板处理之后、具体地在进行涂布之后释放基板的方法。
技术介绍
用于在基板上进行层沉积的技术例如包括热蒸发、化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)，诸如溅射沉积。溅射沉积工艺可以用于在基板上沉积材料层，诸如绝缘材料层。在溅射沉积工艺期间，用等离子体区中产生的离子轰击具有将沉积于基板上的靶材料的靶材以从靶材表面上击出(dislodge)靶材料的原子。击出的原子可在基板上形成材料层。在反应溅射沉积工艺中，被击出的原子可与等离子体区域中的气体(例如，氮或氧)反应，以在基板上形成靶材料的氧化物、氮化物或氮氧化物。涂层材料可以用于数种应用和数个
例如，涂层材料可以用于微电子领域，诸如用于生产半导体器件。此外，可使用PVD工艺对显示器的基板进行涂布。另外应用包括绝缘面板、有机发光二极管(OLED)面板、具有薄膜晶体管(TFT)的基板、滤色片或类似物。朝更大且也更薄的基板的趋势可能因为施加于基板的压力(例如于沉积工艺期间)而导致基板隆起。具体地，在沉积工艺中保持基板的常规支撑系统使基板上产生隆起，例如由于将基板边缘推向基板中心的力。基板隆起进而可能因基板破裂的可能性增加而产生问题。再者，从支撑系统(例如基板载体)释放大面积薄基板而不对基板造成隆起或破坏是有挑战性的。鉴于上述，需要提供一种用于保持基板的保持布置、一种用于支撑基板的载体、处理系统、用于从保持布置释放基板的方法以至少克服本领域中的某些问题。
技术实现思路
鉴于上述问题，提供一种用于保持基板的保持布置、一种用于保持基板的载体、一种处理系统和一种用于从保持布置释放基板的方法。本公开内容进一步的方面、效果和特征根据权利要求书、说明书和附图是显而易见的。根据本公开内容的一个方面，提供一种用于保持基板的保持布置。保持布置包括主体、粘合布置、传力布置(forcetransmissionarrangement)。主体具有由柔性材料组成的第一壁。粘合布置用于附接基板，其中粘合布置提供在第一壁的第一侧上。传力布置用于将力施加到第一壁的第二侧，第二侧与第一侧相对。根据本公开内容的另一方面，提供一种用于保持基板的载体。载体包括：载体主体；和根据本文所述的任何实施方式的一个或多个保持布置，其中一个或多个保持布置安装在载体主体上。根据本公开内容的又一方面，提供一种处理系统。处理系统包括：处理腔室；处理装置；和根据本文所述的任何实施方式的载体。根据本公开内容的再一方面，提供一种用于从保持布置释放基板的方法。方法包括：提供根据本文所述的任何实施方式的保持布置；将力施加到第一壁的第二侧，使得使主体的第一壁弯曲。实施方式也涉及了用于执行所公开的方法的设备，并且包括用于执行每个所描述的方法方面的设备零件。可通过硬件部件、由适当的软件编程的计算机、这两者的任何组合或任何其他方法来执行这些方法方面。再者，根据本公开内容的实施方式也涉及了用于操作所描述的设备的方法。用于操作所描述的设备的方法包括用于执行设备的每个功能的方法方面。附图说明为了可详细地理解本公开内容的上述特征，在上文简要概述的本公开内容的具体描述可参照实施方式来进行。附图涉及本公开内容的实施方式，并且描述如下：图1示出了根据本文所述的实施方式的保持布置的示意性横截面侧视图。图2示出了根据本文所述的实施方式的保持布置的示意性俯视图。图3A示出了根据本文所述的实施方式的处在第一状态的保持布置的示意性横截面侧视图。图3B示出了处在第二状态的图3A的保持布置的示意性截面侧视图。图4A示出了根据本文所述的进一步的实施方式的处在第一状态的保持布置的示意性横截面侧视图。图4B示出了处在第二状态的图4A的保持布置的示意性横截面侧视图。图5示出了根据本文所述的进一步的实施方式的保持布置的示意性俯视图。图6A示出了如图5所示的保持布置的第一状态的示意性横截面侧视图。图6B示出了如图6A所示的保持布置的第二状态的示意性横截面侧视图。图7示出了根据本文所述的实施方式的用于保持基板的载体的一部分的示意性俯视图。图8示出了如图7所示的沿着线A-A的载体的一部分的示意性横截面图。图9A和图9B示出了本文所述的载体的实施方式的示意性前视图。图9C示出了如图9B所示的沿着线B-B的载体的示意性横截面图。图10示出了根据本文所述的实施方式的处理系统的示意图；和图11示出了说明根据本文所述的实施方式的用于从保持布置释放基板的方法的流程图。具体实施方式现将详细参照各种实施方式，实施方式的一个或多个示例在每个附图中示出。提供每个示例作为说明，而非作为限制。例如，说明或描述为一个实施方式的一部分的特征可用于任何其他实施方式或与任何其他实施方式结合而产生另一实施方式。本公开内容包括此种修改和变化。在以下对附图的描述中，相同参考符号意指相同或相似的部件。一般来说，仅描述关于个别实施方式的差异。除非有特定说明，一个实施方式中的一部分或一方面的描述亦可应用于另一实施方式的对应部分或方面。在详细描述本公开内容的各种实施方式之前，先解释关于本文使用的一些术语的一些方面。在本公开内容中，“用于保持基板的保持布置”可被理解为经构造以保持本文所述的基板的布置。具体地，保持布置可被构造用于在竖直状态中保持大面积的基板。更具体地，本文所述的保持布置可被理解为载体的元件，载体经构造为使得基板可附接至保持布置。在本公开内容中，“具有由柔性材料组成的第一壁的主体”可被理解为包括可弹性变形的壁的主体。例如，由柔性材料组成的壁可由硅氧烷(silicone)、聚合材料、或具体地是弹性体(elastomer)组成。可采用其他柔性或弹性材料。在本公开内容中，“粘合布置”可被理解为经构造以提供粘合力来附接本文所述的基板的布置。具体地，粘合布置可提供在保持布置上、具体地提供在具有由柔性材料组成的第一壁的主体上。更具体地说，本文所述的粘合布置可包括干燥粘合材料(dryadhesivematerial)。例如，干燥粘合材料可经构造以通过本文概述的范德华力(vanderWaalsforce)提供粘合力。在本公开内容中，“传力布置”可被理解为经构造以施加力至本文所述的由柔性材料组成的壁的布置，这样可以使壁变形，具体地是弯曲或隆起。在本公开内容中，“用于保持基板的载体”可被理解为经构造以保持本文所述的基板的载体，具体地是本文所述的大面积基板。典型地，由本文所述的载体保持或支撑的基板包括前表面和后表面，其中前表面是被处理的基板的表面，例如材料层将被沉积于其上的表面。典型地，载体经构造以使基板的后表面的边缘部分可附接至保持布置，具体地是附接至本文所述的保持布置的粘合布置。本文使用的术语“基板”应具体包含非柔性(inflexible)的基板，诸如玻璃板和金属板。然而，本公本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于保持基板(101)的保持布置(100)，所述保持布置(100)包括：主体(110)，所述主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)；粘合布置(130)，所述粘合布置(130)用于附接所述基板，其中所述粘合布置(130)提供在所述第一壁(120)的第一侧(121)上；和传力布置(140)，所述传力布置(140)用于将力施加到所述第一壁(120的第二侧(122)，所述第二侧(122)与所述第一侧(121)相对。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于保持基板(101)的保持布置(100)，所述保持布置(100)包括：主体(110)，所述主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)；粘合布置(130)，所述粘合布置(130)用于附接所述基板，其中所述粘合布置(130)提供在所述第一壁(120)的第一侧(121)上；和传力布置(140)，所述传力布置(140)用于将力施加到所述第一壁(120的第二侧(122)，所述第二侧(122)与所述第一侧(121)相对。2.根据权利要求1所述的保持布置(100)，其中所述第一壁(120)包括延伸远离所述第一壁(120)的所述第一侧(121)的突起(123)。3.根据权利要求1或2所述的保持布置(100)，其中所述粘合布置(130)包括多个细丝(131)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的保持布置(100)，其中所述粘合布置(120)包括用于附接所述基板(101)的干燥粘合材料。5.根据权利要求4所述的保持布置(100)，其中所述干燥粘合材料是合成刚毛材料，具体地是壁虎粘合剂。6.根据权利要求2至5中任一项所述的保持布置(100)，其中所述粘合布置(130)提供在所述突起(123)的周围。7.根据权利要求1至6中任一项所述的保持布置(100)，其中所述粘合布置(130)包括两个或更多个粘合元件(135)。8.根据权利要求1至7中任一项所述的保持布置(100)，其中所述传力布置(140)是气动致动传力布置，所述气动致动传力布置用于增加所述主体(110)内的气体的压力，所述主体(110)是中空主体。9.根据权利要求1至7中任一项所述的保持...

【专利技术属性】
技术研发人员：西蒙·刘，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US