The invention provides a color film substrate comprises a baking oven, oven body, side of the oven body is provided with a multi fan stacked each other in the vertical direction of the box door; the oven heating wire with the body is heated to the air inside, and then placed in the baking of the color film substrate each door, the door is arranged inside the heater to heat the oven door, and the overall temperature of the oven body and around the box door keep the temperature in the uniform, to avoid the color film substrate is removed when the box door, the top of the smoke in cold air condensed water dropping caused the pollution on the surface; wherein, the oven temperature control mechanism is arranged in the body, the temperature control mechanism for the overall temperature control box temperature and oven door body and its surrounding maintain uniformity. The invention accelerates the elimination of smoke in the baking oven, reduces the pollution caused by the condensation of the smoke on the color film substrate, and ensures the quality of the color film substrate.
【技术实现步骤摘要】
一种彩膜基板烘烤箱
本专利技术涉及液晶显示领域,特别涉及一种彩膜基板烘烤箱。
技术介绍
彩膜基板的制作工艺中,玻璃基板经过清洗机的清洗后,涂布机将彩膜光阻涂布至玻璃基板上,并使用干燥系统将大部分溶剂抽除,然后进行预烘烤、曝光、显影及后烘烤。CFOVEN(中文名:彩膜后烘烤机)的工作原理如下:电阻丝将空气加热至230℃,加热后的空气经风机进入烘烤箱室内对显影后的玻璃基板进行烘烤。光阻剂主要由树脂(Resin)、感光剂(Sensitizer)以及溶剂(Solvent)等不同的成分混合而成。烘烤最大的目的就是:将经过显影后的光阻,由热能蒸发的方式,将光阻内残留的溶剂降至最低状态,以达成彩膜成膜之目的。升华物缺陷是影响彩膜基板品质的主要原因之一,产生的主要原因是烘烤箱箱门开关时,烘烤箱内的热烟雾(热烟雾的温度高达230℃)在箱门处遇室外冷空气(冷空气的温度低至23℃),会凝结成水滴滴落到玻璃基板表面造成污染。目前烘烤箱业界均是采用热风或者红外线辐射制程的方式。减小烟雾对彩膜基板影响的方式主要有两种,一是提高烘烤箱内的换气率;二是增加整个烘烤箱内的排气。出于节能和设备内温度的稳定性考量,室内的换气率一般介于2~5次/min;增加空间内排气一般是提高厂务排气,这两种方式都能在一定程度上减少烟雾造成的品质异常,但依然还是存在烟雾外泄。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种彩膜基板烘烤箱,以解决现有技术中,当彩膜基板经过烘烤从烘烤箱被取出时,由于遇到冷空气而凝结成水珠滴落在其表面造成污染的问题。本专利技术的技术方案如下:一种彩膜基板烘烤箱,包括烘烤箱本体,所 ...
【技术保护点】
一种彩膜基板烘烤箱,其特征在于,包括烘烤箱本体,所述烘烤箱本体的侧面设有多扇在竖直方向上相互层叠的箱门,所述箱门可沿竖直方向独立地上下运动;所述烘烤箱本体内设有加热丝,所述加热丝对所述烘烤箱本体内的空气进行加热,以对放置在其中的彩膜基板进行烘烤,每扇所述箱门内部设有加热器,所述加热器对所述箱门进行加热,使所述箱门及其周围的整体温度与所述烘烤箱本体内的温度保持均一性;其中,所述烘烤箱本体内设有与所述加热器和所述加热丝连接的温度控制机构,所述温度控制机构用于控制所述烘烤箱本体内的温度与所述箱门及其周围的整体温度保持均一性。
【技术特征摘要】
1.一种彩膜基板烘烤箱,其特征在于,包括烘烤箱本体,所述烘烤箱本体的侧面设有多扇在竖直方向上相互层叠的箱门,所述箱门可沿竖直方向独立地上下运动;所述烘烤箱本体内设有加热丝,所述加热丝对所述烘烤箱本体内的空气进行加热,以对放置在其中的彩膜基板进行烘烤,每扇所述箱门内部设有加热器,所述加热器对所述箱门进行加热,使所述箱门及其周围的整体温度与所述烘烤箱本体内的温度保持均一性;其中,所述烘烤箱本体内设有与所述加热器和所述加热丝连接的温度控制机构,所述温度控制机构用于控制所述烘烤箱本体内的温度与所述箱门及其周围的整体温度保持均一性。2.根据权利要求1所述的种彩膜基板烘烤箱,其特征在于,每扇所述箱门的外表面均连接有烟雾排导机构,所述烘烤箱本体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。3.根据权利要求2所述的种彩膜基板烘烤箱,其特征在于,所述烟雾排导机构包括:若干块烟雾导板,每块所述烟雾导板设于一扇所述箱门的外表面的中部,用于收集从所述烘烤箱本体排出的烟雾;第一烟雾管,分别设于每块所述烟雾导板的两端,用于将收集在所述烟雾导板上的烟雾排出室外;空心烟雾柱,设于所述烘烤箱本体的两侧,并与所述第一烟雾管连通,且所述第一烟雾管可相对于所述空心烟雾柱上下运动,用于将经由所述第一烟雾管传输来的烟雾排出室外;...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐毕龙,何田丰,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。