本发明提供了一种清除芯片以及铅锡合金凸点表面助焊剂的方法，包括如下步骤：使用水基清洗试剂清洗芯片以及铅锡合金凸点；使用去焊剂清洗芯片以及铅锡合金凸点，清除残留助焊剂。采用本发明提供的方法清洗铅锡合金焊料回流之后的芯片以及铅锡合金凸点，避...

本实用新型提供一种火灾探测器的清洗装置，它包括一清洗罩，吹扫进气管、排气管、高压气体输送单元；清洗罩将火灾探测器罩住，吹扫进气管安装在清洗罩内部的一侧，排气管安装在清洗罩内的另一侧；吹扫进气管的一端接所述高压气体输送单元，另一端向上朝向...

一种排气罩，围置于密闭反应室的开口周围以收集并排出废气，其特征是：该排气罩包括：一个中空套管（１１００）、以及与该中空套管相连通的管路（１２００），该管路（１２００）的另一端与真空抽吸装置相连接，在该中空套管（１１００）的内壁上设有至少...

本发明公开了一种晶片清洗方法，包括步骤：令晶片进行第一旋转；从所述晶片中心上方及位于所述晶片中段上方的第一位置组向所述晶片喷洒去离子水；停止所述第一旋转；令所述晶片进行第二旋转；从位于所述晶片中段上方及所述晶片边缘内侧上方的第二位置组向...

一种炉管干式清洗方法，所述炉管被用于执行薄膜沉积制程，其特征在于，所述方法包括下列步骤：　（１）在６２０～５２５摄氏度的第一设定温度下对炉管进行抽真空；　（２）在保持炉管真空的情况下将炉管内的温度降低至第二设定温度，该第二设定温 ...

本实用新型公开了一种晶圆盒清洗设备的固定元件，涉及晶圆盒的清洗设备。所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清...

本实用新型公开了一种炉管清洗装置，可应用于半导体制造技术领域，该清洗装置包括酸槽、水槽、导轨、传送臂和升降装置，所述导轨位于所述酸槽和所述水槽上方，所述传送臂安装于所述导轨上，并沿所述导轨传送炉管，所述升降装置与所述导轨相连，用于升降所...

本实用新型提供一种刷子间距调节工具，其用于调节清洗装置中两个刷子之间的间距，清洗装置可以控制两个刷子闭合和打开，晶圆置于两个刷子的中间；两个刷子均有液体流出端和液体流入端；其中，刷子间距调节工具包括一个干端调节工具和一个湿端调节工具，分...

本实用新型提供一种化学机械研磨机台的清洗装置，包括驱动装置，隔板，刷子，连接驱动装置和刷子的转动轴，隔板位于驱动装置和刷子中间，且隔板上设有通孔，其中，该机台还包括一个弹性防护膜，其设置在隔板表面。与现有技术相比，本实用新型中的弹性防护...

本实用新型涉及一种无尘室油漆保护罩。现有的无尘室中因无油漆保护罩致使在对油漆局部脱落区域进行修补时需停止无尘室的作业，否则会污染无尘室的洁净空气。本实用新型的无尘室油漆保护罩，其包括罩设在无尘室中进行油漆修补的区域上且与无尘室相连通的罩...

一种硅片清洗刷的清洗装置，安装于硅片清洗刷上，该清洗刷的下部设有一个由刷毛作成的刷头，其特征是：所述清洗装置包括：一个套置于所述硅片清洗刷外周的圆周形喷淋管，在所述喷淋管内侧壁上设有复数个出水孔，所述喷淋管还设有一个进水孔。

一种器壁清洗装置，包括：　　　　一连接管，设置于一中空体内腔，其上设有数个喷头；及　　　　数个支架，其一端连接于该连接管，具有足够强度支承该连接管；　　　　一中空体的器壁内面连接于所述的数个支架的另一端；　　　　所述的连接管由该中空体的...

一种外接于真空系统的用于收聚和处理半导体制造过程中产生的有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统。现有的有毒粉尘收聚和处理方法容易对厂房环境造成污染，并对人体健康造成危害。本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，包括一主体、一过滤网支架和...

公开了一种炉管的清洗方法和系统，将氮气通入清洗剂槽，利用氮气携带所述清洗剂经一管路通入所述炉管，对所述炉管进行清洗；将氢气和氧气混合生成水蒸汽后通入炉管对所述炉管进行清洗。本发明的炉管清洗方法能够有效地去除半导体氧化炉管设备中炉管内部的...

一种旋转式喷头流量调整装置，其包括：　　　　至少二圆盘体，其同轴迭设一起；　　　　数个相对的穿槽组，其分别形成于所述的圆盘体上，且该圆盘体系组装于一喷头上，且该穿槽组连通于该喷头的出口，且该圆盘体相对旋转地控制相对穿槽组连通面积大小，以...

本发明涉及一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及方法。现有的药液配制装置以及方法很难通过一次配制就配制出所需的药液。本发明的药液配制装置包括原液槽、药液配制槽、供水单元、第一和第二驱动装置、存储单元、撷取单元、计算单元和控制模块，本发...

本实用新型提供了一种喷淋消泡装置，喷淋消泡装置设置于排放处理水时泡沫多的排放口，它包括：围井、供水管、控制阀和供水支管；围井设置于泡沫多的排放口，包围排放口；供水管上安装控制阀，供水管上连有若干供水支管，所述供水支管安装在围井的四周；喷...

一种酸性反渗透膜清洗剂，包括：浓度为１～４％的一水柠檬酸或者草酸或者磷酸溶液，所述溶液的ｐＨ为１～４。所述反渗透膜酸性清洗剂，采用常见的化学品，价格低廉，易购得并且配方简单。本发明还提供一种反渗透膜在线化学清洗方法，交替使用所述的酸性反...

一种碱性反渗透膜清洗剂，包括：浓度为１～４％的乙二胺四乙酸四钠盐或者十二烷基苯璜酸钠或者三聚磷酸钠溶液，所述溶液的ｐＨ为１０～１２。所述反渗透膜碱性清洗剂，采用常见的化学品，价格低廉，易购得并且配方简单。本发明还提供一种反渗透膜在线化学...

本实用新型公开了一种液体过滤器，包括进液口、出液口、壳体以及过滤筒，还包括活动接触台、固定接触台、电源、报警器以及密封盖板，固定接触台和活动接触台分别连接电源正负极，报警器与固定接触台或者活动接触台电气连接；密封盖板设置在所述液体过滤器...