【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种无尘室油漆保护罩,其特征在于,其包括罩设在无尘室中进行油漆修补的区域上且与无尘室相连通的罩体以及与罩体相连通的管体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周金锋,王志诚,丁勇,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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