一种气流检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气流检测装置，应用于无尘室的气流检测，其特征在于，包括：可移动的呈矩形状的本体；高度可调节的升降机构，设置于所述本体上；风速探测头，设置于所述升降机构的顶部；推动单元，与所述升降机构连接，用以控制所述升降机构上升或者下降，使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。其技术方案的有益效果在于，通过升降机构可代替人工手持风速测量仪进行风速测量，使检测操作更加的安全，同时提高了检测操作的效率，提高了测试精度。

Airflow detecting device

The utility model discloses a gas detection device, gas detection in the clean room, which is characterized in that: including the rectangular body is moving; lifting mechanism with adjustable height, is arranged on the main body; the wind speed detecting head is arranged on the top of the lifting mechanism; drive unit connected with the lifting mechanism, increase or decrease in order to control the lifting mechanism, the wind speed probe reaches a preset height airflow detection on the clean room. The beneficial effects of the technical scheme, the lifting mechanism can be used to replace handheld anemometer wind speed measurement, make the detection operation more safety, and improve the efficiency of detection operation, improve the accuracy of the test.

【技术实现步骤摘要】
一种气流检测装置
本技术涉及气体检测领域，尤其涉及一种气流检测装置。
技术介绍
半导体生产车间为了生产环境需要，需要实时监控其车间内的气流速度和换气量是否符合标准，以方便及时的调整相关气流速度以及换气量，而现有的检测的都是离风机过滤机组150毫米到300毫米的位置进行检测，而风机过滤机组一般设置车间的顶部距离地面将近四米的距离，现有的检测方法都是通过人字梯，操作者拿着风速探测仪进行测试，同时需要配备另一名协助者扶着人字梯以记录相关检测的数据；但是这种检测方式一是频繁的移动人字梯且人站在人字梯较高的位置工作极不安全，二是整个检测的过程中需要两人进行操作，人力支出大，效率低，另一方面手持测试仪容易出现抖动测试距离控制不是十分精确，因此亟需一种测试效率高且操作安全的气流检测装置。
技术实现思路
针对现有技术中在半导体车间通过风速检测仪检测气流速度及换气量存在的上述问题，现提供一种操作安全方便且测试效率更高，克服了现有技术中测试极不安全且效率低下的气流检测装置。具体技术方案如下：一种气流检测装置，应用于无尘室的气流检测，其中，包括：可移动的呈矩形状的本体；高度可调节的升降机构，设置于所述本体上；风速探测头，设置于所述升降机构的顶部；推动单元，与所述升降机构连接，用以控制所述升降机构上升或者下降，使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。优选的，所述本体的底部设置有多个滑动轮。优选的，所述升降机构包括相互平行设置的至少两组剪接单元；每个剪接单元均包括一第一剪叉板和一第二剪叉板，所述第一剪叉板和所述第二剪叉板交叉设置并通过一铰轴连接；每相邻的所述剪接单元之间通过铰接的方式连接。优选的，所述第一剪叉板和所述第二剪叉板为铝制。优选的，所述推动单元设置于相邻的所述剪接单元之间用以控制所述升降机构上升或者下降。优选的，所述推动单元为电动推杆。优选的，还包括一供电单元，设置于所述本体内，用以提供所述推动单元工作的能源。优选的，还包括一激光高度测量仪，设置于所述本体上，用以测量所述升降机构的升降高度。优选的，所述升降机构顶部位于所述风速探测头的一侧还设置有一激光对准器，所述激光对准器用以校正所述风速探测头的探测位置。优选的，所述升降机构的最小高度为1.2米，和/或最大的高度为4.5米。上述技术方案具有如下优点或有益效果：通过升降机构可代替人工手持风速测量仪进行风速测量，使检测操作更加的安全，同时提高了检测操作的效率，提高了测试精度。附图说明参考所附附图，以更加充分的描述本技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本技术范围的限制。图1为本技术一种气流检测装置实施例的结构示意图。说明书附图标记表示：(1)、本体；(2)、升降机构；(3)、风速探测头；(4)、推动单元；(5)、激光高度测量仪；(6)、隔板；(7)、激光对准器；(21)、剪接单元；(211)、第一剪接板；(212)、第二剪接板；(213)、铰轴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。本技术技术方案中包括一种气流检测装置。如图1所示，一种气流检测装置的实施例，应用于无尘室的气流检测，其中，包括：可移动的呈矩形状的本体1；高度可调节的升降机构2，设置于本体1上；升降机构2风速探测头3，设置于升降机构2的顶部推动单元4，与升降机构2连接，用以控制升降机构2上升或者下降，使风速探测头3达到预设高度对无尘室进行气流检测。上述技术方案中，在需要对无尘室的气流进行检测时，可通过将可移动的本体1移动至待检测位置处，待本体1位置放置好之后可通过推动单元4控制升降机构2上升至预定高度，对无尘室的气体流速以及换气量进行检测；风速探测头3检测完毕之后，可通过推动单元4将升降机构2自工作位置缩回，方便使用者记录检测数据，上述操作不仅操作简单，而且操作安全。在一种较优的实施中，本体1的底部设置有多个滑动轮。作为优选的实施方式，滑动论可以是万向轮，进一步优选的，本体1可由一推车形成。上述技术方案中，在矩形状的本体1下安装有多个滑动轮，以方便气流检测装置的移动。在一种较优的实施中，升降机构2包括相互平行设置的至少两组剪接单元21；每个剪接单元21均包括一第一剪叉板211和一第二剪叉板212，第一剪叉板211和第二剪叉板212交叉设置并通过一铰轴213连接；每相邻的剪接单元21之间通过铰接的方式连接。上述技术方案中，升降机构2在未工作时，金属杆之间互相折叠形成一字形，因此本装置在未使用时不占空间；而在使用过程中，通过推动单元4驱动推动机构展开上升，呈菱形展开，在一种较优的实施中，第一剪叉板211和第二剪叉板212为铝制。上述技术方案中，由于升降机构2所承载的风速探测头3重量不是很大，所以上述的剪叉板采用轻质金属材料，优选为铝材质制成，其中第一剪叉板211和第二剪叉板212的规格为：100cm(长)*5cm(宽)*0.35cm(厚)，孔3*φ5mm，第一剪叉板211和第二剪叉板212之间采用铆接方式连接。在一种较优的实施中，推动单元4设置于相邻的剪接单元21之间用以控制升降机构2上升或者下降。进一步的，推动单元4为电动推杆，用以提供升降机构2上升或者下降的动力。上述技术方案中电动推杆的额定推力：35KG，工作电压：48V/0.23A，行程：200mm，推速：96mm/s。在一种较优的实施中，还包括一供电单元，设置于本体1内，推动单元4用以提供推动单元4工作的能源。上述技术方案中，供电单元可采用电池，通过电池为电动推杆提供动力。在一种较优的实施中，还包括一激光高度测量仪5，设置于本体1上，用以测量升降机构2的升降高度。上述技术方案中，为了严格控制升降机构2达到预设高度可通过采用高度测量仪检测风速探测头3上升的高度，如达到预设高度则电动推杆停止推动升降机构2上升，其中激光高度测量仪5量程：0.2m-60m，精度：±2mm。在一种较优的实施中，升降机构2的顶部横向设置有一隔板6，风速探测头3设置于隔板6上；隔板6上位于风速探测头3的一侧还设置有一激光对准器7，激光对准器7用以校正风速探测头3的探测位置。在一种较优的实施中，升降机构2的最小高度为1.2米。在一种较优的实施中，升降机构2的最大的高度为4.5米。需要说明的是，本技术中的本体1材质采用不锈钢材质制成，整体尺寸：1.2m(长)*0.8m(宽)*1.2m(高)，滑动轮：直径6寸，滑动轮电阻小于109欧姆。以上所述仅为本技术较佳的实施例，并非因此限制本技术的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本技术说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气流检测装置，应用于无尘室的气流检测，其特征在于，包括：可移动的呈矩形状的本体；高度可调节的升降机构，设置于所述本体上；风速探测头，设置于所述升降机构的顶部；推动单元，与所述升降机构连接，用以控制所述升降机构上升或者下降，使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。

【技术特征摘要】
1.一种气流检测装置，应用于无尘室的气流检测，其特征在于，包括：可移动的呈矩形状的本体；高度可调节的升降机构，设置于所述本体上；风速探测头，设置于所述升降机构的顶部；推动单元，与所述升降机构连接，用以控制所述升降机构上升或者下降，使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。2.根据权利要求1所述的气流检测装置，其特征在于，所述本体的底部设置有多个滑动轮。3.根据权利要求1所述的气流检测装置，其特征在于，所述升降机构包括相互平行设置的至少两组剪接单元；每个剪接单元均包括一第一剪叉板和一第二剪叉板，所述第一剪叉板和所述第二剪叉板交叉设置并通过一铰轴连接；每相邻的所述剪接单元之间通过铰接的方式连接。4.根据权利要求1所述的气流检测装置，其特征在于，所述第一剪叉板和所述第二剪叉板为铝制。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：严拯，方明海，廖璞，魏敏，张婷，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42