晶圆盒清洗设备的固定元件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆盒清洗设备的固定元件，涉及晶圆盒的清洗设备。所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。本实用新型专利技术提供的固定元件可以固定晶圆盒的底座，这样清洗设备可以对底座实现自动化清洗，提高了清洗效率，清洗更彻底，有效避免了晶圆盒对晶圆的污染，进而提高了晶圆的质量和成品率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造工厂内晶圆盒的清洗设备，具体地说，涉及一 种清洗i殳备内用于固定晶圆盒底座的固定元件。
技术介绍
目前，晶圆盒(pod)是半导体制造工厂内存放传输晶圆的主要装置， 一般可以存放25片晶圓。晶圓盒主要吝鱼底座、透明罩体以及承载盒三部分构成。 为了减少晶圆盒对晶圆的污染以保证晶圆的质量，需要定期对晶圓盒进行清洗。 现有的清洗设备多种多样，但是只能对透明罩体和承载盒进行清洗，不能对底 座进行清洗。这是因为现有的清洗设备的清洗腔无法对晶圆盒底座进行固定。 所以，目前只能采用手洗方式对底座进行清洗。但是手洗不仅效率低，而且清 洗溶液容易挥发到晶圓洁净室内，不仅污染环境而且对工作人员的身体也会造 成一定程度的损害。
技术实现思路
有鉴于此，本技术解决的技术问题是提供一种晶圆盒清洗设备内的固 定元件，其可对晶圆盒底座进行固定以便于清洗设备对底座进行清洗。为解决上述技术问题，本技术提供了 一种晶圆盒清洗设备的固定元件。 所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定 元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述 底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设 备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。本技术提供的固定元件可以固定晶圆盒的底座，这样清洗设备可以对底座实现自动化清洗，提高了清洗效率；采用清洗设备进行清洗可以对底座实现更彻底的清洗，有效避免了晶風盒对晶圓的污染，进而提高了晶圆的质量和 成品率。附图说明图1为晶圆盒底座的立体示意图2为本技术实施例中的固定元件的立体示意图3为图1所示底座安装在图2所示固定元件后的立体示意图4为清洗底座时，清洗设备清洗腔的部分示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的其中一实施例进行描述，以进一步理解本实 用新型的目的、具体结构特征和优点。图1为晶圆盒底座1的立体示意图，该底座1大致呈长方体(包括正方体)， 底座1的上下侧设有可伸缩的卡扣部110、 120，底座1的中心位置还设置有控 制卡扣部110、 120收缩或者伸展的控制按钮13。在晶圓盒未组装状态时，卡扣 部110、 120收缩在底座1内部。如果按下控制按钮13,所述卡扣部110、 120 就会伸展而延伸出上、下侧面11、 12。请参阅图2和图4，用于清洗晶圓盒的清洗设备的清洗腔3的结构如图4所 示。清洗腔3由底板30以及纵横连接的4个竖柱31和4个横梁32围绕而成。 为了能够在所述清洗设备内清洗晶圓盒底座1，本技术提供了固定底座1的 固定元件2，具体结构如图2所示。该固定元件2呈框体状，由上下左右四个侧 壁围绕而成，而且中心空间20刚好能够容纳所述晶圆盒底座1。该固定元件2 的上侧壁21和下侧壁22设有自其内表面凹陷形成的嵌合槽210、 220,其位置 与上述卡扣部IIO、 120相对应。另外，所述固定元件2在其左右两侧壁24、 25 的外侧分别设有两个夹持部23,其中每一夹持部230"有两个朝向彼此延伸的楔 形块231构成。每一夹持部23的楔形块231上还设置有固定孔232。使用所述清洗设备对底座1进行清洗时，首先将固定元件2放入清洗腔3 内，所述夹持部23扣住对应的横梁32,然后利用螺丝或者铆钉旋入固定孔232 内起进一步固定夹持部23的作用，如图4所示。参阅图1和图2并结合图3,然后将底座l放入固定元件2内，按下控制按钮13,底座1的卡扣部110、 120 向外侧延伸与嵌合槽210、 220扣合在一起。所述清洗设备安装上本技术的固定元件就可以实现对晶圓盒底座的自 动化清洗，提高了清洗效率。而且清洗设备的自动化清洗比人工清洗的更干净， 有效地避免了晶圓盒对晶圆的污染，进而提高了产品的成品率。上述描述，仅是对本技术较佳实施例的描述，并非对本技术的任 何限定，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据上述揭示内容进行简单修 改、添加、变换，且均属于权利要求书中保护的内容。权利要求1.一种晶圆盒清洗设备的固定元件，用于固定晶圆盒的底座，所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮，其特征在于，所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。2. 如权利要求1所述的晶圓盒清洗设备的固定元件，其特征在于，所述固定元 件在左右两侧壁的外侧设有数个用于固定在清洗设备内的夹持部；所述嵌合槽 设于固定元件的上下两侧壁的内侧。3. 如权利要求2所述的晶圆盒清洗设备的固定元件，其特征在于，所述每一夹 持部由两个楔形块朝向;f皮此延伸构成。4. 如权利要求2所述的晶圆盒清洗设备的固定元件，其特征在于，固定元件的 左右两侧分别设有两个所述夹持部。5. 如权利要求2所述的晶圆盒清洗设备的固定元件，其特征在于，清洗设备容 纳固定元件的部件为清洗腔，清洗腔有若干横梁和竖柱围绕形成，所述夹持部 卡持固定在横梁上。6. 如权利要求5所述的晶圆盒清洗设备的固定元件，其特征在于，-每一夹持 部上还设有固定孔，所述固定元件安装在清洗腔后，采用螺钉旋入固定孔内来 固定夹持部。专利摘要本技术公开了一种晶圆盒清洗设备的固定元件，涉及晶圆盒的清洗设备。所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮。所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。本技术提供的固定元件可以固定晶圆盒的底座，这样清洗设备可以对底座实现自动化清洗，提高了清洗效率，清洗更彻底，有效避免了晶圆盒对晶圆的污染，进而提高了晶圆的质量和成品率。文档编号B08B13/00GK201161251SQ200820055660公开日2008年12月10日 申请日期2008年2月22日 优先权日2008年2月22日专利技术者吕秋玲, 徐萍英, 杨洪春, 赵俊深 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒清洗设备的固定元件，用于固定晶圆盒的底座，所述底座设有可伸缩的卡扣部以及控制所述卡扣部伸缩的控制按钮，其特征在于，所述固定元件为由上下左右四个侧壁围绕而成的框体，固定元件侧壁的内侧设有与所述底座的卡扣部对应配合的嵌合槽；清洗底座前，首先将固定元件安装在清洗设备内；然后将底座放在固定元件的框体内，按下控制按钮，底座的卡扣部延伸出底座扣持在对应的嵌合槽内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊深，吕秋玲，杨洪春，徐萍英，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]