【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种炉管清洗装置，包括酸槽、水槽、导轨、传送臂和升降装置，所述导轨位于所述酸槽和所述水槽上方，所述传送臂安装于所述导轨上，并沿所述导轨传送炉管，所述升降装置与所述导轨相连，用于升降所述炉管，其特征在于：所述酸槽包含第一酸槽和第二酸槽，所述传送臂包含第一传送臂和第二传送臂，且所述第一酸槽和所述第二酸槽分别位于所述水槽的两侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：庄忠尔，元文帅，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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