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中芯国际集成电路制造上海有限公司专利技术
中芯国际集成电路制造上海有限公司共有12236项专利
炉管的清洗方法和系统技术方案
公开了一种炉管的清洗方法和系统,将氮气通入清洗剂槽,利用氮气携带所述清洗剂经一管路通入所述炉管,对所述炉管进行清洗;将氢气和氧气混合生成水蒸汽后通入炉管对所述炉管进行清洗。本发明的炉管清洗方法能够有效地去除半导体氧化炉管设备中炉管内部的...
一种旋转式喷头流量调整装置制造方法及图纸
一种旋转式喷头流量调整装置,其包括: 至少二圆盘体,其同轴迭设一起; 数个相对的穿槽组,其分别形成于所述的圆盘体上,且该圆盘体系组装于一喷头上,且该穿槽组连通于该喷头的出口,且该圆盘体相对旋转地控制相对穿槽组连通面积大小,以...
一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及配制方法制造方法及图纸
本发明涉及一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及方法。现有的药液配制装置以及方法很难通过一次配制就配制出所需的药液。本发明的药液配制装置包括原液槽、药液配制槽、供水单元、第一和第二驱动装置、存储单元、撷取单元、计算单元和控制模块,本发...
一种喷淋消泡装置制造方法及图纸
本实用新型提供了一种喷淋消泡装置,喷淋消泡装置设置于排放处理水时泡沫多的排放口,它包括:围井、供水管、控制阀和供水支管;围井设置于泡沫多的排放口,包围排放口;供水管上安装控制阀,供水管上连有若干供水支管,所述供水支管安装在围井的四周;喷...
反渗透膜在线化学清洗方法以及清洗剂技术
一种酸性反渗透膜清洗剂,包括:浓度为1~4%的一水柠檬酸或者草酸或者磷酸溶液,所述溶液的pH为1~4。所述反渗透膜酸性清洗剂,采用常见的化学品,价格低廉,易购得并且配方简单。本发明还提供一种反渗透膜在线化学清洗方法,交替使用所述的酸性反...
反渗透膜在线化学清洗方法以及清洗剂技术
一种碱性反渗透膜清洗剂,包括:浓度为1~4%的乙二胺四乙酸四钠盐或者十二烷基苯璜酸钠或者三聚磷酸钠溶液,所述溶液的pH为10~12。所述反渗透膜碱性清洗剂,采用常见的化学品,价格低廉,易购得并且配方简单。本发明还提供一种反渗透膜在线化学...
带报警装置的液体过滤器制造方法及图纸
本实用新型公开了一种液体过滤器,包括进液口、出液口、壳体以及过滤筒,还包括活动接触台、固定接触台、电源、报警器以及密封盖板,固定接触台和活动接触台分别连接电源正负极,报警器与固定接触台或者活动接触台电气连接;密封盖板设置在所述液体过滤器...
压滤机及压滤机滤板制造技术
本实用新型提供一种压滤机滤板,包括板材腔体以及覆盖于腔体表面的过滤层,还包括贯穿腔体和过滤层的进料孔、腔体内支撑过滤层的撑凸、在腔体内部形成滤液通道的滤凸、腔体表面供外界洗涤水或空气进入的预留孔、腔体内部供滤液流出的出液孔以及连通出液孔...
具有磁场、电场的杂质过滤器制造技术
本发明涉及一种具有磁场及/或电场的杂质过滤器,包含:一弯曲的小直径管道,管道外的磁场及/或电场,管道的内管壁由多孔材料或纤维材料制成,用于吸收液体或气体中的杂质。其中弯曲的小直径管道置于磁场及/或电场中,当液体或气体流经弯曲的小直径管道...
湿式废气预处理装置制造方法及图纸
本发明提供一种湿式废气预处理装置,包括:本体,其上设有用于废气进出的进气口和排气口,进水口和排水口;喷淋组件,其设于本体内;本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室,它们之间相互连通;所述进气口位于第一处理室,气体依次通过上...
气体过滤装置制造方法及图纸
一种气体过滤装置,包括: 腔室(201)和位于所述腔室(201)中的复数个过滤网(206); 所述腔室(201)具有进气孔(202)和出气孔(204);所述复数个过滤网(206)沿进气孔(202)到出气孔(204)方向间隔排...
用于计量SDI15值的测试装置及其测试方法制造方法及图纸
本发明提供了用于计量SDI↓[15]值的测试装置及其测试方法,涉及半导体测试工艺。现有的测试仪器成本较高,且须通电使用,安全性较低。本发明的测试装置包括相连通的第一和第二压力容器,连接至第一压力容器的压力供给单元和压力释放单元,连接至第...
一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统和方法技术方案
本发明提供一种用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统和方法,涉及半导体制程中的废气处理。现有的工艺废气处理方法存在成本高、处理效率低、无法彻底清除含氟/氯气体,需经常更换吸附器等问题。本发明的用于处理多种有害气体混合产生的废气的系统,...
一种胸卡套制造技术
现有的胸卡套在使用过程中经常发生翻转,而且胸卡套的吊绳过于牢固,存在给佩带者带来损伤的问题,本实用新型提供了一种新型胸卡套,包括吊绳挂扣、胸卡套吊绳、可调节绳扣、防水密封袋扣和透明塑料卡袋袋体,本实用新型提供的胸卡套在吊绳受拉的情况下,...
具有可移除钢脚趾罩的净室安全鞋物件和处理该鞋的方法技术
一种洁净室鞋物件,例如,鞋、靴、安全鞋、安全靴。所述物件具有鞋底区。所述物件具有上部无微尘聚合物材料,该上部无微尘聚合物材料具有脚趾区和脚踝区。上部无微尘聚合物材料耦合到鞋底区。上部无微尘聚合物材料能够装入人类用户的脚。脚趾区罩住所述人...
一种可避免气密防护服使用时面罩雾化的方法技术
本发明提供了一种可避免气密防护服使用时面罩雾化的方法。现有技术中的气密防护服在使用时会因使用者呼出的水蒸气在气密防护服的面罩上雾化从而影响救援或抢险的顺利进行。本发明的可避免气密防护服使用时面罩雾化的方法是在面罩内侧涂敷一防雾化涂层,其...
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