湿式废气预处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种湿式废气预处理装置，包括：本体，其上设有用于废气进出的进气口和排气口，进水口和排水口；喷淋组件，其设于本体内；本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室，它们之间相互连通；所述进气口位于第一处理室，气体依次通过上述三个处理室；水通过喷淋组件在上述各处理室喷出以处理气体。该装置使废气的处理效率大幅提高，废气消除率在９０％以上，同时降低了处理废气用水的消耗量，使维修周期加长，从而节省了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种湿式废气预处理装置，更具体地说，涉及在湿环境下对来自半导体器件制造工艺过程中的废气进行预处理的装置。
技术介绍
在半导体器件制造工艺过程中，如在低压化学蒸气沉积法、等离子蚀刻法中产生的废气可能含有有毒的、腐蚀性的气体，如硅烷SiH4、氯气CL2、六氟化硫SF6等。因此，在这些制造过程中产生的废气被排放大气之前必须经过适当的处理。然而，这些废气在被送入废气处理系统时，所述废气中包含的细粉会被逐渐吸附到处理系统地壁面或排放管上，经常发生粉末阻塞，从而导致需要对废气处理系统经常维修。此外，废气中包含的腐蚀性气体如F等容易粘着在排放管地壁面上并腐蚀壁面，这样会缩短废气处理系统的使用寿命。因此，以上两方面的不利直接影响着半导体器件的制造成本。为此，引入一种湿式预处理系统，在所述废气进入废气处理系统之前预先除去废气中包含的腐蚀性气体和细粉。图1和图2公开了现有技术中的两种湿式废气预处理装置。如图1所示的湿式废气预处理装置包括一个气体洗涤塔本体100，本体100上设有进气口1001、出气口1002。进水管200通入本体100内，并在水管末端处安装有喷头300，从喷头300喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿式废气预处理装置，包括：本体，其上设有用于废气进出的进气口和排气口，进水口和排水口；喷淋组件，其设于本体内；其特征在于，本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室，它们之间相互连通；所述进气口位于第一 处理室，气体依次通过上述三个处理室；水通过喷淋组件在上述各处理室喷出以处理气体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，邓觉为，陈卓明，陈瑛祥，陈海鸿，蓝仁隆，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]