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本发明提供一种湿式废气预处理装置，包括：本体，其上设有用于废气进出的进气口和排气口，进水口和排水口；喷淋组件，其设于本体内；本体内通过隔板形成第一处理室、第二处理室和第三处理室，它们之间相互连通；所述进气口位于第一处理室，气体依次通过上述三...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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