用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统制造方法及图纸

一种外接于真空系统的用于收聚和处理半导体制造过程中产生的有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统。现有的有毒粉尘收聚和处理方法容易对厂房环境造成污染，并对人体健康造成危害。本发明专利技术的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，其中，所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，且主体前端与所述的过滤头相连接，所述过滤网支架的底面设有穿孔，使所述的过滤装置内部形成一空气流通通道。利用本发明专利技术的过滤装置及过滤系统，可快速、方便地将有毒有害粉尘收聚于专用的过滤网中，既避免了粉尘的飞扬扩散，也保证了真空系统不受污染。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，它包括一主体、一过滤网支架和一过滤头，其特征在于：所述的主体具有一腔室，用于容置所述的过滤网支架，所述主体的两端分别开口，且主体前端与所述的过滤头相连接，所述过滤网支架的底面设有穿孔，使所述的过滤装置内部形成一空气流通通道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴根兴，李雨庭，黄志良，龚伟平，关业群，张龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]