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一种外接于真空系统的用于收聚和处理半导体制造过程中产生的有毒有害粉尘的过滤装置及过滤系统。现有的有毒粉尘收聚和处理方法容易对厂房环境造成污染，并对人体健康造成危害。本发明的用于收聚和处理有毒有害粉尘的过滤装置，包括一主体、一过滤网支架和一过...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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