本申请公开了一种水平化锡装置及太阳能电池的制备设备，属于太阳能电池领域

本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，该用于磁控溅射的阴极装置包括靶筒组件

本实用新型公开了一种靶材模组及用于磁控溅射的阴极装置，靶材模组包括靶筒组件

本实用新型涉及测量装置技术领域，尤其涉及一种辊系平行度的测量装置

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种腔体传输阀及多腔体镀膜设备，旨在解决射频功率进入相邻腔体导致功率损耗的问题。本实用新型提供的腔体传输阀用于封堵两个腔体之间的通道，包括密封板、屏蔽环和密封圈；屏蔽环和密封圈安装于密封板；屏蔽环...

本申请公开了一种异质结太阳能电池，属于太阳能电池技术领域。一种异质结太阳能电池，包括硅衬底，依次层叠设置于所述硅衬底第一表面侧的第一钝化层、第一掺杂层、第一透明导电层，及第一电极；依次层叠设置于硅衬底第二表面侧的第二钝化层、掺杂类型与第...

本实用新型公开了真空镀膜用载板和真空镀膜设备，真空镀膜用载板包括框架和托盘，托盘通过卡扣结构固设于框架的顶端，卡扣结构包括第一卡扣件和第二卡扣件，第一卡扣件设置在托盘的底端面，第二卡扣件设置在框架上，第一卡扣件和第二卡扣件卡接配合。托盘...

本申请公开了一种丝网印刷设备，涉及光伏太阳能电池生产技术领域

本申请公开了一种射频馈入结构及具有其的PECVD设备，属于化学气相沉积领域。一种射频馈入结构，用于PECVD设备，所述射频馈入结构包括：至少一个第一连接件，所述第一连接件的第一端与射频电源系统连接；安装盘，所述安装盘设有安装孔，所述安装...

本发明实施例公开了一种激光分光装置及太阳能电池划线机。激光分光装置包括：分束模块和光束调整模块，分束模块包括至少两个分光单元，光束调整模块包括至少两个光路调节单元；输入激光入射至分光单元，经过分光单元分束后将部分输入激光传输至光路调节单...

本实用新型属于溅射靶材技术领域，公开了一种旋转靶。该旋转靶包括靶管、填充层和圆柱型的管状靶材，所述靶管的轴向两端的外侧壁上均设置有环形凹槽，所述环形凹槽绕所述靶管的轴向设置；填充层填充于所述环形凹槽内；管状靶材套设于所述靶管上，且所述管...

本发明涉及真空溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种提高靶材利用率的溅射方法、溅射阴极装置及溅射设备。将靶材的表面的刻蚀跑道的线性区域划分为相对排布的第一侧跑道和第二侧跑道，提高靶材利用率的溅射方法包括如下步骤：获取相应的靶材进行镀膜的镀膜基片...

本发明涉及溅射镀膜工艺技术领域，尤其涉及一种磁控溅射装置。包括支撑座和磁铁组件。支撑座上设置有调节组件。磁铁组件包括磁轭、第一类磁铁块、第二类磁铁块和第三类磁铁块，调节组件与磁轭连接，调节组件被配置为调节磁铁组件与靶材之间的距离。第一类...

本申请涉及一种张力控制方法和装置。所述方法包括：获取距离收放卷机构预设范围内的基材的第一张力；在所述第一张力超出目标第一区间的情况下，迭代调整所述收放卷机构的角速度，直到所述第一张力位于所述目标第一区间以内，得到初始角速度；控制所述收放...

本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种磁感应强度测量装置。该磁感应强度测量装置包括安装机构及测量机构，安装机构用于转动支撑待测量件，测量机构包括连接组件、横向探头及轴向探头，连接组件沿待测量件的轴向方向滑动连接于安装机构，...

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种激光划线装置及太阳能电池加工设备。该激光划线装置包括底座、传送带、激光划线模组和气浮模组。其中，底座上沿第一方向设置有传送带，底座上沿第二方向设置有滑轨，传送带用于驱动太阳能电池；且沿第...

本实用新型涉及自动化技术领域，尤其是涉及一种XY插补机构及硅片搬运系统，旨在解决现有的分选机成本高、占用空间、结构多，导致维护不方便的问题。本实用新型提供了一种XY插补机构，包括传动部件、执行部件、Y1动力部件和Y2动力部件；传动部件包...

本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，具体公开了一种硅片印刷机。本实用新型提供的硅片印刷机，印刷转台上设置四个工作台，缩小了印刷转台的直径，占用空间小，降低了印刷转台的转动惯量，可以提高印刷转台的转速，进而可以提高整个印刷设备的生产效...

本实用新型涉及真空内磁场约束技术领域，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，旨在缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置在永...

本申请公开了一种旋转搬运装置及太阳能电池生产设备，属于光伏产品制造设备领域。一种旋转搬运装置，包括：第一传输机构、第二传输机构和旋转搬运机构，第一传输机构与第二传输机构在多个方向上分别间隔布置，旋转搬运机构位于第一传输机构和第二传输机构...