一种磁感应强度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种磁感应强度测量装置。该磁感应强度测量装置包括安装机构及测量机构，安装机构用于转动支撑待测量件，测量机构包括连接组件、横向探头及轴向探头，连接组件沿待测量件的轴向方向滑动连接于安装机构，横向探头和轴向探头均设置在连接组件上，横向探头的延伸方向与待测量件外表面磁力线的方向垂直，轴向探头的延伸方向与待测量件外表面磁力线的方向平行，横向探头和轴向探头均用于测量待测量件外表面的磁感应强度。磁感应强度测量装置能高效、精准地测量待测量件表面各个位置的磁感应强度。通过设置横向探头和轴向探头，能够对横向探头和轴向探头的测量值进行比对验证，保证了测量的精确度。证了测量的精确度。证了测量的精确度。

【技术实现步骤摘要】
一种磁感应强度测量装置


[0001]本技术涉及真空磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种磁感应强度测量装置。

技术介绍

[0002]真空磁控溅射镀膜是指将镀膜材料作为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射沉积到基片上形成沉积层的一种镀膜技术。在真空磁控溅射镀膜过程中，通常将磁棒设置在靶材筒内，磁棒用于产生溅射用磁场，使得靶材筒产生阴极溅射，将靶材原子溅射到基片上，磁棒和靶材筒表面的磁感应强度直接影响镀膜的质量，因此需要精确测量磁棒或靶材筒表面的磁感应强度，从而寻找镀膜出现问题的原因，从而及时调整磁场。
[0003]目前，对磁棒或靶材筒表面进行磁感应强度测量时均是通过人工手持高斯仪对待测量件外表面的各个位置进行测量，手动测量误差较大，不仅降低了测量的精度，也降低了测量的工作效率。
[0004]因此，亟需专利技术一种磁感应强度测量装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种磁感应强度测量装置，以快速测量待测量件表面的磁感应强度，提高工作效率和测量的精确度。<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁感应强度测量装置，其特征在于，包括：安装机构(1)，所述安装机构(1)用于转动支撑待测量件；以及测量机构(2)，所述测量机构(2)包括连接组件(21)、横向探头(22)以及轴向探头(23)，所述连接组件(21)沿所述待测量件的轴向方向滑动连接于所述安装机构(1)，所述横向探头(22)和所述轴向探头(23)均设置在所述连接组件(21)上，所述横向探头(22)的延伸方向与所述待测量件外表面磁力线的方向垂直，所述轴向探头(23)的延伸方向与所述待测量件外表面磁力线的方向平行，所述横向探头(22)和所述轴向探头(23)均被配置为测量所述待测量件外表面的磁感应强度。2.根据权利要求1所述的磁感应强度测量装置，其特征在于，所述连接组件(21)包括：连接架(211)，滑动连接于所述安装机构(1)上；以及承载件(212)，所述承载件(212)位于所述待测量件的上方，所述承载件(212)上安装有所述横向探头(22)和所述轴向探头(23)，并且所述承载件(212)与所述连接架(211)沿竖直方向位置可调地固定连接。3.根据权利要求2所述的磁感应强度测量装置，其特征在于，所述连接架(211)上开设有第一调节孔(21111)，所述第一调节孔(21111)沿所述竖直方向延伸；所述连接组件(21)还包括紧固件(213)，所述紧固件(213)穿过所述第一调节孔(21111)与所述承载件(212)连接。4.根据权利要求2所述的磁感应强度测量装置，其特征在于，所述连接架(211)包括：固定滑座(2112)，滑动连接于所述安装机构(1)上；以及连接杆(2111)，所述承载件(212)与所述连接杆(2111)沿所述竖直方向位置可调地固定连接，所述连接杆(2111)位于所述待测量件的一侧，并且所述连接杆(2111)与所述固定滑座(2112)沿靠近或远离所述待测量件的方向位置可调地固定连接。5.根据权利要求4所述的磁感应...

【专利技术属性】
技术研发人员：王星辰，陆黎华，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：